专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI679715B 氣化用容器、氣化器及氣化裝置有权
简体标题：气化用容器、气化器及气化设备
公开(公告)号：TWI679715B
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：TW104139142
申请日：2015-11-25
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06

2. 发明专利

TW201918813A 氣化系統和氣化系統用程式审中-公开
简体标题：气化系统和气化系统用进程
公开(公告)号：TW201918813A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107138622
申请日：2018-10-31
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 薑山亮一 , KYOYAMA, RYOICHI
IPC分类号： G05D16/20 , G01F15/04
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/24 , C23C14/246 , C23C14/543 , C23C16/4485
摘要：本發明提供氣化系統和氣化系統用程式，不使用壓力感測器就能適當控制液體材料的供給。氣化系統（100）包括：氣化器（21），使液體材料氣化；供給量控制設備（22），控制向氣化器（21）供給的液體材料的供給量；流量調整閥（32），調整氣化器（21）生成的氣化氣體的流量；流量感測器，測定氣化氣體的流量；閥控制部（43），向流量調整閥（32）輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量。還包括：驅動訊號值取得部（44），取得作為驅動訊號所表示的值的驅動訊號值；供給控制部（45），基於驅動訊號值向供給量控制設備（22）輸出控制訊號，控制液體材料的供給。
简体摘要：本发明提供气化系统和气化系统用进程，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统（100）包括：气化器（21），使液体材料气化；供给量控制设备（22），控制向气化器（21）供给的液体材料的供给量；流量调整阀（32），调整气化器（21）生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部（43），向流量调整阀（32）输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设置的设置流量。还包括：驱动信号值取得部（44），取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部（45），基于驱动信号值向供给量控制设备（22）输出控制信号，控制液体材料的供给。

3. 发明专利

TWI672756B 流體加熱器、加熱塊及氣化系統有权
简体标题：流体加热器、加热块及气化系统
公开(公告)号：TWI672756B
公开(公告)日：2019-09-21
申请号：TW104139893
申请日：2015-11-30
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 濱田昌資 , HAMADA, MASASHI , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/67

4. 发明专利

TWI684204B 氣化系統有权
简体标题：气化系统
公开(公告)号：TWI684204B
公开(公告)日：2020-02-01
申请号：TW104139637
申请日：2015-11-27
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 濱田昌資 , HAMADA, MASASHI , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448

5. 发明专利

TW201624591A 流體加熱器、加熱塊及氣化系統审中-公开
简体标题：流体加热器、加热块及气化系统
公开(公告)号：TW201624591A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104139893
申请日：2015-11-30
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 濱田昌資 , HAMADA, MASASHI , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： F24H1/142
摘要：本發明提供一種流體加熱器、加熱塊及氣化系統，容易小型化且能以低價格製造，此外能得到穩定的加熱性能。流體加熱器(23)藉由預熱加熱器(232)加熱流體，具備加熱塊(231)，其形成有內部流道(231R)，所述內部流道(231R)具有導入所述流體的導入口(231a)及導出所述流體的導出口(231b)，並且在所述加熱塊(231)中形成有沿規定的軸向延伸的加熱器插入部(231H)，所述內部流道(231R)具有在所述規定的軸向上延伸的複數個主流道部(231R1)以及連接所述複數個主流道部(231R1)的一個或複數個連接流道部(231R2)
简体摘要：本发明提供一种流体加热器、加热块及气化系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)借由预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)及导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的复数个主流道部(231R1)以及连接所述复数个主流道部(231R1)的一个或复数个连接流道部(231R2)

6. 发明专利

TW201624590A 氣化用容器、氣化器及氣化裝置审中-公开
简体标题：气化用容器、气化器及气化设备
公开(公告)号：TW201624590A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104139142
申请日：2015-11-25
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/67 , G05D7/06
CPC分类号： F22B15/00 , F22B1/282 , F22B1/30
摘要：本發明提供一種氣化用容器、氣化器及氣化裝置，在維持緊湊性的同時，能穩定且大流量地輸出材料氣體。氣化用容器(11)具有氣化室(11a)，使導入所述氣化室(11a)的液體材料氣化並將生成的材料氣體導出，所述氣化用容器包括分隔壁(6)，所述分隔壁(6)將所述氣化室(11a)的下方空間分隔成最初導入液體材料的第一下方空間(11e)及導入從所述第一下方空間(11e)溢出的液體材料的第二下方空間(11f)。
简体摘要：本发明提供一种气化用容器、气化器及气化设备，在维持紧凑性的同时，能稳定且大流量地输出材料气体。气化用容器(11)具有气化室(11a)，使导入所述气化室(11a)的液体材料气化并将生成的材料气体导出，所述气化用容器包括分隔壁(6)，所述分隔壁(6)将所述气化室(11a)的下方空间分隔成最初导入液体材料的第一下方空间(11e)及导入从所述第一下方空间(11e)溢出的液体材料的第二下方空间(11f)。

7. 发明专利

TW201630054A 氣化系統审中-公开
简体标题：气化系统
公开(公告)号：TW201630054A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：TW104139637
申请日：2015-11-27
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 濱田昌資 , HAMADA, MASASHI , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448
CPC分类号： F22D5/30 , F22B1/285 , F22D5/34
摘要：本發明提供一種小型化的氣化系統，不必在氣化器的內部形成用於安裝流量控制設備的流道，並取消了氣化系統中的配管。所述氣化系統包括：使液體材料氣化的氣化器(21)；控制向所述氣化器(21)的液體材料供給量的供給量控制設備(22)；以及歧管塊(B)，其內部形成有流道，並且具有安裝所述氣化器(21)和所述供給量控制設備(22)的設備安裝面(B1x)，所述氣化器(21)和所述供給量控制設備(22)通過安裝到所述設備安裝面(B1x)上、藉助所述流道R1~R4彼此連接。
简体摘要：本发明提供一种小型化的气化系统，不必在气化器的内部形成用于安装流量控制设备的流道，并取消了气化系统中的配管。所述气化系统包括：使液体材料气化的气化器(21)；控制向所述气化器(21)的液体材料供给量的供给量控制设备(22)；以及歧管块(B)，其内部形成有流道，并且具有安装所述气化器(21)和所述供给量控制设备(22)的设备安装面(B1x)，所述气化器(21)和所述供给量控制设备(22)通过安装到所述设备安装面(B1x)上、借助所述流道R1~R4彼此连接。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式