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1. 发明专利

TW202030357A 氣化裝置、成膜裝置、程序記錄介質及濃度控制方法审中-公开
简体标题：气化设备、成膜设备、进程记录介质及浓度控制方法
公开(公告)号：TW202030357A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109104112
申请日：2020-02-10
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：志水徹 , SHIMIZU, TORU , 南雅和 , MINAMI, MASAKAZU
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/52 , G05D21/02 , G05D7/06 , H01L21/02
摘要：本發明提供氣化裝置、成膜裝置、程序記錄介質及濃度控制方法，其中在氣化裝置中的濃度控制機構具備：濃度計算部，基於來自濃度監測器的輸出信號計算材料氣體的實際濃度；濃度控制部，在供給材料氣體的供給期間，進行以使構成濃度控制機構的流體控制設備的控制值成為預先設定的初始設定值的方式進行控制的第一控制後，進行以通過控制流體控制設備而使實際濃度接近預先設定的目標值的方式進行反饋控制的第二控制；及控制切換部，基於濃度控制部開始第一控制後的實際濃度的經時變化，將濃度控制部的控制狀態從第一控制切換到第二控制。
简体摘要：本发明提供气化设备、成膜设备、进程记录介质及浓度控制方法，其中在气化设备中的浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自浓度监测器的输出信号计算材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给材料气体的供给期间，进行以使构成浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设置的初始设置值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制流体控制设备而使实际浓度接近预先设置的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；及控制切换部，基于浓度控制部开始第一控制后的实际浓度的经时变化，将浓度控制部的控制状态从第一控制切换到第二控制。

2. 发明专利

TW201910955A 流量控制裝置、流量控制方法和程式存儲介質审中-公开
简体标题：流量控制设备、流量控制方法和进程存储介质
公开(公告)号：TW201910955A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107125734
申请日：2018-07-25
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：安田忠弘 , YASUDA, TADAHIRO , 懷特比爾 , WHITE, BILL , 洛厄裏帕特裏克 , LOWERY, PATRICK , 岡德拉赫麥斯米蘭 , GUNDLACH, MAXIMILIAN , 歐文斯瑞安 , OWENS, RYAN
IPC分类号： G05D7/06
摘要：本發明提供流量控制裝置、流量控制方法和程式存儲介質，以比以往小的時間延遲得到作為控制點的閥中的實際流量，使測定點與控制點一致而大幅提高回應速度。流量控制裝置包括：流體阻力件，設置於流路；下游側閥，設置在流體阻力件的下游側；下游側壓力感測器，測定流體阻力件與下游側閥之間流路的容積部中的壓力；第一流量算出部，計算流過流體阻力件的第一流量；第二流量算出部，基於第一流量和由下游側壓力感測器測定的下游側壓力的時間變化量，計算出從下游側閥流出的第二流量；以及流量控制部，基於設定流量和第二流量來控制下游側閥。
简体摘要：本发明提供流量控制设备、流量控制方法和进程存储介质，以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，使测定点与控制点一致而大幅提高回应速度。流量控制设备包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定流体阻力件与下游侧阀之间流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算流过流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设置流量和第二流量来控制下游侧阀。

3. 发明专利

TW201841088A 診斷系統、診斷方法、存儲介質和流量控制裝置审中-公开
简体标题：诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制设备
公开(公告)号：TW201841088A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107108460
申请日：2018-03-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：赤土和也 , SHAKUDO, KAZUYA , 長井健太郎 , NAGAI, KENTARO , 松浦和宏 , MATSUURA, KAZUHIRO
IPC分类号： G05D7/00 , G01N7/04
摘要：本發明提供診斷系統、診斷方法、存儲介質和流量控制裝置，儘管測定周邊條件變動，也能夠更準確地診斷流量感測器的功能。診斷系統包括流量感測器，測定流體的流量；修正部，測定流量感測器的輸出值或與流量感測器的輸出值相關的值（以下將它們統稱為「輸出關聯值」），並使測定的輸出關聯值與測定周邊條件相關聯，根據所述輸出關聯值的測定周邊條件，對所述輸出關聯值或者為了判斷所述輸出關聯值是否正常而預先設定的基準值進行修正；診斷部，根據所述修正部的修正結果對所述輸出關聯值和所述基準值進行比較，來診斷所述流量感測器的功能。
简体摘要：本发明提供诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制设备，尽管测定周边条件变动，也能够更准确地诊断流量传感器的功能。诊断系统包括流量传感器，测定流体的流量；修正部，测定流量传感器的输出值或与流量传感器的输出值相关的值（以下将它们统称为“输出关联值”），并使测定的输出关联值与测定周边条件相关联，根据所述输出关联值的测定周边条件，对所述输出关联值或者为了判断所述输出关联值是否正常而预先设置的基准值进行修正；诊断部，根据所述修正部的修正结果对所述输出关联值和所述基准值进行比较，来诊断所述流量传感器的功能。

4. 发明专利

TW201816532A 流體控制閥用診斷裝置、流體控制裝置以及流體控制閥用診斷程式產品审中-公开
简体标题：流体控制阀用诊断设备、流体控制设备以及流体控制阀用诊断进程产品
公开(公告)号：TW201816532A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106134105
申请日：2017-10-03
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：西川正巳 , NISHIKAWA, MASAMI
IPC分类号： G05B19/43 , G05B19/406
摘要：為了能夠獲得與流體控制裝置正常時的流體控制閥的動作相關的資訊，使閥體22移位而控制流體的流體控制閥20的診斷裝置40包括：閥體關聯值接受部41，其接受與閥體22的移位相關聯地輸入輸出的閥體關聯值；移位偵測部42，其基於閥體關聯值而偵測閥體22的移位；以及移位次數記憶部43，其記憶移位偵測部41所偵測出的移位的次數。
简体摘要：为了能够获得与流体控制设备正常时的流体控制阀的动作相关的信息，使阀体22移位而控制流体的流体控制阀20的诊断设备40包括：阀体关联值接受部41，其接受与阀体22的移位相关联地输入输出的阀体关联值；移位侦测部42，其基于阀体关联值而侦测阀体22的移位；以及移位次数记忆部43，其记忆移位侦测部41所侦测出的移位的次数。

5. 发明专利

TW201814253A 流體感測器、具備該流體感測器的流體控制裝置以及調整方法审中-公开
简体标题：流体传感器、具备该流体传感器的流体控制设备以及调整方法
公开(公告)号：TW201814253A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106134479
申请日：2017-10-06
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：岡野浩之 , OKANO, HIROYUKI
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/69 , G01F1/00
CPC分类号： G01D3/028 , G01F1/696
摘要：為了能夠使調整作業容易，且提供精度較以往更高的流體感測器以及具備該流體感測器的流體控制裝置，該流體感測器包括：感測器體，其設置於流體所流經的流路，且輸出會根據流體的物理量而發生變化；轉換電路，其輸入有所述感測器體的輸出，且將該輸出轉換為流體的物理量而加以輸出；以及引出部，其介於所述感測器體與所述轉換電路之間，將所述感測器體的輸出橋接至所述轉換電路，所述引出部具備：第1端部，其連接所述感測器體7；第2端部，其連接所述轉換電路；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部，所述調整作業用以對於流體的物理量，抑制來自感測器體的輸出的不均一。
简体摘要：为了能够使调整作业容易，且提供精度较以往更高的流体传感器以及具备该流体传感器的流体控制设备，该流体传感器包括：传感器体，其设置于流体所流经的流路，且输出会根据流体的物理量而发生变化；转换电路，其输入有所述传感器体的输出，且将该输出转换为流体的物理量而加以输出；以及引出部，其介于所述传感器体与所述转换电路之间，将所述传感器体的输出桥接至所述转换电路，所述引出部具备：第1端部，其连接所述传感器体7；第2端部，其连接所述转换电路；以及图案，其形成于所述第1端部与所述第2端部之间，且包含电流所流经的导通部与多个缺损部，所述调整作业用以对于流体的物理量，抑制来自传感器体的输出的不均一。

6. 发明专利

TW201713889A 流體控制閥及內儲有控制程式的電腦可讀取記錄媒體审中-公开
简体标题：流体控制阀及内储有控制进程的电脑可读取记录媒体
公开(公告)号：TW201713889A
公开(公告)日：2017-04-16
申请号：TW105132618
申请日：2016-10-07
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：國田大地 , KUNITA, DAICHI , 家城篤史 , IEKI, ATSUSHI
IPC分类号： F16K31/02 , F16K1/00 , G05B23/02
CPC分类号： F16K37/0083 , F16K1/12 , F16K31/007 , F16K37/0041 , F16K37/0091 , G05D7/0635
摘要：本發明提供流體控制閥及內儲有控制程式的電腦可讀取記錄媒體，用於消除用戶的誤解，改善使用便利性，所述流體控制閥包括一閥座。閥體以相對於閥座能夠接近或遠離的方式設置。驅動器使閥體在接近或遠離的方向上移動。位置資訊檢測部。檢測與閥體相對於閥座的相對位置對應的值。位置輸出部與在閥體的開始打開的位置通過位置資訊檢測部得到的位置資訊無關地將所述開始打開的位置作為零位置。
简体摘要：本发明提供流体控制阀及内储有控制进程的电脑可读取记录媒体，用于消除用户的误解，改善使用便利性，所述流体控制阀包括一阀座。阀体以相对于阀座能够接近或远离的方式设置。驱动器使阀体在接近或远离的方向上移动。位置信息检测部。检测与阀体相对于阀座的相对位置对应的值。位置输出部与在阀体的开始打开的位置通过位置信息检测部得到的位置信息无关地将所述开始打开的位置作为零位置。

7. 发明专利

TW201624591A 流體加熱器、加熱塊及氣化系統审中-公开
简体标题：流体加热器、加热块及气化系统
公开(公告)号：TW201624591A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104139893
申请日：2015-11-30
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 濱田昌資 , HAMADA, MASASHI , 矢田秀貴 , YADA, HIDETAKA
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： F24H1/142
摘要：本發明提供一種流體加熱器、加熱塊及氣化系統，容易小型化且能以低價格製造，此外能得到穩定的加熱性能。流體加熱器(23)藉由預熱加熱器(232)加熱流體，具備加熱塊(231)，其形成有內部流道(231R)，所述內部流道(231R)具有導入所述流體的導入口(231a)及導出所述流體的導出口(231b)，並且在所述加熱塊(231)中形成有沿規定的軸向延伸的加熱器插入部(231H)，所述內部流道(231R)具有在所述規定的軸向上延伸的複數個主流道部(231R1)以及連接所述複數個主流道部(231R1)的一個或複數個連接流道部(231R2)
简体摘要：本发明提供一种流体加热器、加热块及气化系统，容易小型化且能以低价格制造，此外能得到稳定的加热性能。流体加热器(23)借由预热加热器(232)加热流体，具备加热块(231)，其形成有内部流道(231R)，所述内部流道(231R)具有导入所述流体的导入口(231a)及导出所述流体的导出口(231b)，并且在所述加热块(231)中形成有沿规定的轴向延伸的加热器插入部(231H)，所述内部流道(231R)具有在所述规定的轴向上延伸的复数个主流道部(231R1)以及连接所述复数个主流道部(231R1)的一个或复数个连接流道部(231R2)

8. 发明专利

TWI495851B 流量測量機構、質流控制器以及壓力感測器有权
简体标题：流量测量机构、质流控制器以及压力传感器
公开(公告)号：TWI495851B
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：TW099132624
申请日：2010-09-27
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：林繁之 , HAYASHI, SHIGEYUKI , 桒原朗 , KUWAHARA, AKIRA
IPC分类号： G01F1/36 , G01L19/00
CPC分类号： G01F1/36 , G01F1/88 , G05D7/0635 , Y10T137/7759

9. 发明专利

TWI470388B 質量流量控制器有权
简体标题：质量流量控制器
公开(公告)号：TWI470388B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：TW098137627
申请日：2009-11-05
申请人：堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：高橋明人 , TAKAHASHI, AKITO , 古川幸正 , FURUKAWA, YUKIMASA , 田中祐紀 , TANAKA, YUKI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635

10. 发明专利

TW200938979A 流量比率控制裝置 FLOW RATE RATIO CONTROL DEVICE 审中-公开
简体标题：流量比率控制设备 FLOW RATE RATIO CONTROL DEVICE
公开(公告)号：TW200938979A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：TW097149698
申请日：2008-12-19
申请人：堀場STEC股份有限公司 HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：安田忠弘 YASUDA, TADAHIRO
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D11/132 , Y10T137/2521 , Y10T137/2524 , Y10T137/2529 , Y10T137/7762
摘要：本發明之目的在提供一種流量比率控制裝置,其無須複數種類的機構,而可達成減少零件種類,降低成本。本發明之流量比率控制裝置並具備同一種類的差壓式流量控制裝置MFC1、MFC2,以及給予該流量控制裝置MFC1、MFC2指令並對其進行控制的控制處理機構C,此一流量比率控制裝置的特徵為:在從主流路ML的終端該使分岐的分岐流路BL1、BL2上,以互相逆向的方式設置該流量控制裝置MFC1、MFC2,讓設置在其中一條分岐流路BL1上的流量控制裝置MFC1運作,使其檢測壓力符合預定目標壓力,另一方面,對設置在另一條分岐流路BL2上的流量控制裝置MFC2而言,根據測定流量的總量與預先設定好的流量比率,設定應該流過該流量控制裝置MFC2的目標流量,並讓該流量控制裝置MFC2運作,使其符合該目標流量。
简体摘要：本发明之目的在提供一种流量比率控制设备,其无须复数种类的机构,而可达成减少零件种类,降低成本。本发明之流量比率控制设备并具备同一种类的差压式流量控制设备MFC1、MFC2,以及给予该流量控制设备MFC1、MFC2指令并对其进行控制的控制处理机构C,此一流量比率控制设备的特征为:在从主流路ML的终端该使分岐的分岐流路BL1、BL2上,以互相逆向的方式设置该流量控制设备MFC1、MFC2,让设置在其中一条分岐流路BL1上的流量控制设备MFC1运作,使其检测压力符合预定目标压力,另一方面,对设置在另一条分岐流路BL2上的流量控制设备MFC2而言,根据测定流量的总量与预先设置好的流量比率,设置应该流过该流量控制设备MFC2的目标流量,并让该流量控制设备MFC2运作,使其符合该目标流量。

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