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1. 发明专利

TW202030357A 氣化裝置、成膜裝置、程序記錄介質及濃度控制方法审中-公开
简体标题：气化设备、成膜设备、进程记录介质及浓度控制方法
公开(公告)号：TW202030357A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109104112
申请日：2020-02-10
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：志水徹 , SHIMIZU, TORU , 南雅和 , MINAMI, MASAKAZU
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/52 , G05D21/02 , G05D7/06 , H01L21/02
摘要：本發明提供氣化裝置、成膜裝置、程序記錄介質及濃度控制方法，其中在氣化裝置中的濃度控制機構具備：濃度計算部，基於來自濃度監測器的輸出信號計算材料氣體的實際濃度；濃度控制部，在供給材料氣體的供給期間，進行以使構成濃度控制機構的流體控制設備的控制值成為預先設定的初始設定值的方式進行控制的第一控制後，進行以通過控制流體控制設備而使實際濃度接近預先設定的目標值的方式進行反饋控制的第二控制；及控制切換部，基於濃度控制部開始第一控制後的實際濃度的經時變化，將濃度控制部的控制狀態從第一控制切換到第二控制。
简体摘要：本发明提供气化设备、成膜设备、进程记录介质及浓度控制方法，其中在气化设备中的浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自浓度监测器的输出信号计算材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给材料气体的供给期间，进行以使构成浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设置的初始设置值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制流体控制设备而使实际浓度接近预先设置的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；及控制切换部，基于浓度控制部开始第一控制后的实际浓度的经时变化，将浓度控制部的控制状态从第一控制切换到第二控制。

2. 发明专利

TW201910955A 流量控制裝置、流量控制方法和程式存儲介質审中-公开
简体标题：流量控制设备、流量控制方法和进程存储介质
公开(公告)号：TW201910955A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107125734
申请日：2018-07-25
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：安田忠弘 , YASUDA, TADAHIRO , 懷特比爾 , WHITE, BILL , 洛厄裏帕特裏克 , LOWERY, PATRICK , 岡德拉赫麥斯米蘭 , GUNDLACH, MAXIMILIAN , 歐文斯瑞安 , OWENS, RYAN
IPC分类号： G05D7/06
摘要：本發明提供流量控制裝置、流量控制方法和程式存儲介質，以比以往小的時間延遲得到作為控制點的閥中的實際流量，使測定點與控制點一致而大幅提高回應速度。流量控制裝置包括：流體阻力件，設置於流路；下游側閥，設置在流體阻力件的下游側；下游側壓力感測器，測定流體阻力件與下游側閥之間流路的容積部中的壓力；第一流量算出部，計算流過流體阻力件的第一流量；第二流量算出部，基於第一流量和由下游側壓力感測器測定的下游側壓力的時間變化量，計算出從下游側閥流出的第二流量；以及流量控制部，基於設定流量和第二流量來控制下游側閥。
简体摘要：本发明提供流量控制设备、流量控制方法和进程存储介质，以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，使测定点与控制点一致而大幅提高回应速度。流量控制设备包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定流体阻力件与下游侧阀之间流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算流过流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设置流量和第二流量来控制下游侧阀。

3. 发明专利

TW201841088A 診斷系統、診斷方法、存儲介質和流量控制裝置审中-公开
简体标题：诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制设备
公开(公告)号：TW201841088A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107108460
申请日：2018-03-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：赤土和也 , SHAKUDO, KAZUYA , 長井健太郎 , NAGAI, KENTARO , 松浦和宏 , MATSUURA, KAZUHIRO
IPC分类号： G05D7/00 , G01N7/04
摘要：本發明提供診斷系統、診斷方法、存儲介質和流量控制裝置，儘管測定周邊條件變動，也能夠更準確地診斷流量感測器的功能。診斷系統包括流量感測器，測定流體的流量；修正部，測定流量感測器的輸出值或與流量感測器的輸出值相關的值（以下將它們統稱為「輸出關聯值」），並使測定的輸出關聯值與測定周邊條件相關聯，根據所述輸出關聯值的測定周邊條件，對所述輸出關聯值或者為了判斷所述輸出關聯值是否正常而預先設定的基準值進行修正；診斷部，根據所述修正部的修正結果對所述輸出關聯值和所述基準值進行比較，來診斷所述流量感測器的功能。
简体摘要：本发明提供诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制设备，尽管测定周边条件变动，也能够更准确地诊断流量传感器的功能。诊断系统包括流量传感器，测定流体的流量；修正部，测定流量传感器的输出值或与流量传感器的输出值相关的值（以下将它们统称为“输出关联值”），并使测定的输出关联值与测定周边条件相关联，根据所述输出关联值的测定周边条件，对所述输出关联值或者为了判断所述输出关联值是否正常而预先设置的基准值进行修正；诊断部，根据所述修正部的修正结果对所述输出关联值和所述基准值进行比较，来诊断所述流量传感器的功能。

4. 发明专利

TW201816532A 流體控制閥用診斷裝置、流體控制裝置以及流體控制閥用診斷程式產品审中-公开
简体标题：流体控制阀用诊断设备、流体控制设备以及流体控制阀用诊断进程产品
公开(公告)号：TW201816532A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106134105
申请日：2017-10-03
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：西川正巳 , NISHIKAWA, MASAMI
IPC分类号： G05B19/43 , G05B19/406
摘要：為了能夠獲得與流體控制裝置正常時的流體控制閥的動作相關的資訊，使閥體22移位而控制流體的流體控制閥20的診斷裝置40包括：閥體關聯值接受部41，其接受與閥體22的移位相關聯地輸入輸出的閥體關聯值；移位偵測部42，其基於閥體關聯值而偵測閥體22的移位；以及移位次數記憶部43，其記憶移位偵測部41所偵測出的移位的次數。
简体摘要：为了能够获得与流体控制设备正常时的流体控制阀的动作相关的信息，使阀体22移位而控制流体的流体控制阀20的诊断设备40包括：阀体关联值接受部41，其接受与阀体22的移位相关联地输入输出的阀体关联值；移位侦测部42，其基于阀体关联值而侦测阀体22的移位；以及移位次数记忆部43，其记忆移位侦测部41所侦测出的移位的次数。

5. 发明专利

TW201814253A 流體感測器、具備該流體感測器的流體控制裝置以及調整方法审中-公开
简体标题：流体传感器、具备该流体传感器的流体控制设备以及调整方法
公开(公告)号：TW201814253A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106134479
申请日：2017-10-06
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：岡野浩之 , OKANO, HIROYUKI
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/69 , G01F1/00
CPC分类号： G01D3/028 , G01F1/696
摘要：為了能夠使調整作業容易，且提供精度較以往更高的流體感測器以及具備該流體感測器的流體控制裝置，該流體感測器包括：感測器體，其設置於流體所流經的流路，且輸出會根據流體的物理量而發生變化；轉換電路，其輸入有所述感測器體的輸出，且將該輸出轉換為流體的物理量而加以輸出；以及引出部，其介於所述感測器體與所述轉換電路之間，將所述感測器體的輸出橋接至所述轉換電路，所述引出部具備：第1端部，其連接所述感測器體7；第2端部，其連接所述轉換電路；以及圖案，其形成於所述第1端部與所述第2端部之間，且包含電流所流經的導通部與多個缺損部，所述調整作業用以對於流體的物理量，抑制來自感測器體的輸出的不均一。
简体摘要：为了能够使调整作业容易，且提供精度较以往更高的流体传感器以及具备该流体传感器的流体控制设备，该流体传感器包括：传感器体，其设置于流体所流经的流路，且输出会根据流体的物理量而发生变化；转换电路，其输入有所述传感器体的输出，且将该输出转换为流体的物理量而加以输出；以及引出部，其介于所述传感器体与所述转换电路之间，将所述传感器体的输出桥接至所述转换电路，所述引出部具备：第1端部，其连接所述传感器体7；第2端部，其连接所述转换电路；以及图案，其形成于所述第1端部与所述第2端部之间，且包含电流所流经的导通部与多个缺损部，所述调整作业用以对于流体的物理量，抑制来自传感器体的输出的不均一。

6. 发明专利

TW202023172A 壓電致動器和流體控制閥审中-公开
简体标题：压电致动器和流体控制阀
公开(公告)号：TW202023172A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108143052
申请日：2019-11-27
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：林繁之 , HAYASHI, SHIGEYUKI , 安田忠弘 , YASUDA, TADAHIRO
IPC分类号： H02N2/02 , F16K31/02
摘要：本發明提供一種壓電致動器（100）和流體控制閥（200），例如與以往相比能夠效率良好地使液體材料氣化，為此壓電致動器（100）包括：壓電堆（1），交替層疊有壓電陶瓷層和電極層；直流電壓施加電路（2），向所述壓電堆（1）的至少一部分施加直流電壓而使其位移；以及振動電壓施加電路（3），向所述壓電堆（1）的至少一部分施加規定頻率以上的電壓而使其振動。
简体摘要：本发明提供一种压电致动器（100）和流体控制阀（200），例如与以往相比能够效率良好地使液体材料气化，为此压电致动器（100）包括：压电堆（1），交替层叠有压电陶瓷层和电极层；直流电压施加电路（2），向所述压电堆（1）的至少一部分施加直流电压而使其位移；以及振动电压施加电路（3），向所述压电堆（1）的至少一部分施加规定频率以上的电压而使其振动。

7. 发明专利

TW201918813A 氣化系統和氣化系統用程式审中-公开
简体标题：气化系统和气化系统用进程
公开(公告)号：TW201918813A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107138622
申请日：2018-10-31
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：田口明廣 , TAGUCHI, AKIHIRO , 薑山亮一 , KYOYAMA, RYOICHI
IPC分类号： G05D16/20 , G01F15/04
CPC分类号： C23C14/54 , C23C14/24 , C23C14/246 , C23C14/543 , C23C16/4485
摘要：本發明提供氣化系統和氣化系統用程式，不使用壓力感測器就能適當控制液體材料的供給。氣化系統（100）包括：氣化器（21），使液體材料氣化；供給量控制設備（22），控制向氣化器（21）供給的液體材料的供給量；流量調整閥（32），調整氣化器（21）生成的氣化氣體的流量；流量感測器，測定氣化氣體的流量；閥控制部（43），向流量調整閥（32）輸出驅動訊號來控制閥開度，以使由流量感測器測定的測定流量成為預先設定的設定流量。還包括：驅動訊號值取得部（44），取得作為驅動訊號所表示的值的驅動訊號值；供給控制部（45），基於驅動訊號值向供給量控制設備（22）輸出控制訊號，控制液體材料的供給。
简体摘要：本发明提供气化系统和气化系统用进程，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统（100）包括：气化器（21），使液体材料气化；供给量控制设备（22），控制向气化器（21）供给的液体材料的供给量；流量调整阀（32），调整气化器（21）生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部（43），向流量调整阀（32）输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设置的设置流量。还包括：驱动信号值取得部（44），取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部（45），基于驱动信号值向供给量控制设备（22）输出控制信号，控制液体材料的供给。

8. 发明专利

TW201835981A 氣體控制系統、成膜裝置、存儲介質和氣體控制方法审中-公开
简体标题：气体控制系统、成膜设备、存储介质和气体控制方法
公开(公告)号：TW201835981A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW107108102
申请日：2018-03-09
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：坂口有平 , SAKAGUCHI, YUHEI , 志水徹 , SHIMIZU, TORU , 南雅和 , MINAMI, MASAKAZU , 林大介 , HAYASHI, DAISUKE
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448
摘要：本發明涉及氣體控制系統、成膜裝置、存儲介質和氣體控制方法，容易控制從容器匯出的材料氣體的總量。氣體控制系統向收容有材料的容器(10)導入載氣，並且將材料氣化後的材料氣體與載氣一起從容器(10)匯出，氣體控制系統具有控制部(60)，控制部(60)控制載氣的流量，使濃度指標值接近預先確定的目標濃度指標值，濃度指標值直接或間接表示測量從容器(10)匯出的混合氣體而得到的混合氣體中的材料氣體濃度，控制部(60)在進行控制載氣的流量以規定變化率變化的第一控制後進行第二控制，第二控制基於濃度指標值和目標濃度指標值的偏差來控制載氣的流量。
简体摘要：本发明涉及气体控制系统、成膜设备、存储介质和气体控制方法，容易控制从容器导出的材料气体的总量。气体控制系统向收容有材料的容器(10)导入载气，并且将材料气化后的材料气体与载气一起从容器(10)导出，气体控制系统具有控制部(60)，控制部(60)控制载气的流量，使浓度指针值接近预先确定的目标浓度指针值，浓度指针值直接或间接表示测量从容器(10)导出的混合气体而得到的混合气体中的材料气体浓度，控制部(60)在进行控制载气的流量以规定变化率变化的第一控制后进行第二控制，第二控制基于浓度指针值和目标浓度指针值的偏差来控制载气的流量。

9. 发明专利

TW201823901A 流量控制裝置和程式存儲介質审中-公开
简体标题：流量控制设备和进程存储介质
公开(公告)号：TW201823901A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW106143733
申请日：2017-12-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：林繁之 , HAYASHI, SHIGEYUKI , 長井健太郎 , NAGAI, KENTARO , 山口正男 , YAMAGUCHI, MASAO
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/34 , G01F1/88 , G01F25/00
摘要：本發明提供流量控制裝置和程式存儲介質，特別是即使在目標流量下降這樣的過渡響應狀態下也能高速響應。流量控制裝置包括：閥，具備測量開度的位置感應器，設在流體流過的流道上；具備節流器的流量感應器，設置在所述閥的上游側；第一壓力感應器，設置在所述節流器的下游側，並且位於所述閥的上游側；設置在閥的下游側的第二壓力感應器；特性圖存儲部，存儲特性圖，該特性圖至少表示閥的開度、閥的前後的壓差以及流過流道的流體的流量之間的關係；以及閥控制部，控制閥的開度，以使流過流道的流體的流量成為接收到的目標流量。
简体摘要：本发明提供流量控制设备和进程存储介质，特别是即使在目标流量下降这样的过渡响应状态下也能高速响应。流量控制设备包括：阀，具备测量开度的位置感应器，设在流体流过的流道上；具备节流器的流量感应器，设置在所述阀的上游侧；第一压力感应器，设置在所述节流器的下游侧，并且位于所述阀的上游侧；设置在阀的下游侧的第二压力感应器；特性图存储部，存储特性图，该特性图至少表示阀的开度、阀的前后的压差以及流过流道的流体的流量之间的关系；以及阀控制部，控制阀的开度，以使流过流道的流体的流量成为接收到的目标流量。

10. 发明专利

TW201821770A 流體特性測量系統、程式存儲介質和流體特性測量方法审中-公开
简体标题：流体特性测量系统、进程存储介质和流体特性测量方法
公开(公告)号：TW201821770A
公开(公告)日：2018-06-16
申请号：TW106143729
申请日：2017-12-13
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：磯部泰弘 , ISOBE, YASUHIRO
IPC分类号： G01F1/00 , G01F25/00 , G01F15/02
摘要：本發明提供流體特性測量系統、存儲有流體特性測量系統用程式的程式存儲介質和流體特性測量方法，其能夠容易地求出作為流體的特性的壓縮係數，大幅度提高了基於ROR系統等的流量測量精度。流體特性測量系統包括：具有固定容量的容器（1）；流量控制器（2），連接成能夠以固定流量向該容器（1）導入流體；以及資訊處理裝置（5），在所述容器（1）內的壓力不同的兩種狀況下，基於由所述流量控制器（2）以相互相同的流量向該容器（1）導入流體時的該容器（1）內壓力的各時間變化，計算與該流體的壓力對應的壓縮係數。
简体摘要：本发明提供流体特性测量系统、存储有流体特性测量系统用进程的进程存储介质和流体特性测量方法，其能够容易地求出作为流体的特性的压缩系数，大幅度提高了基于ROR系统等的流量测量精度。流体特性测量系统包括：具有固定容量的容器（1）；流量控制器（2），连接成能够以固定流量向该容器（1）导入流体；以及信息处理设备（5），在所述容器（1）内的压力不同的两种状况下，基于由所述流量控制器（2）以相互相同的流量向该容器（1）导入流体时的该容器（1）内压力的各时间变化，计算与该流体的压力对应的压缩系数。

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