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1. 发明专利

TW201530279A 氣體分流供應裝置以及氣體分流供應方法审中-公开
简体标题：气体分流供应设备以及气体分流供应方法
公开(公告)号：TW201530279A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103128436
申请日：2014-08-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：髙橋栄治 , TAKAHASHI, EIJI , 佐佐木則和 , SASAKI, NORIKAZU , 澤地淳 , SAWACHI, ATSUSHI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/455
CPC分类号： G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：在使來自壓力式流量控制裝置的氣流通過複數個分流路進行分流供應的氣體分流供應裝置中，防止氣體導入時分流路中的氣體產生過衝，並且提升分流量控制的應答性、穩定性及控制精度。本發明之氣體分流供應裝置，具備：流量控制裝置，係控制來自氣體供應源的氣體之流量；複數個分流路(L1~Ln)，係並列連接而使來自流量控制裝置的氣體分流到氣體使用部位；熱式流量感測器，係介設在各分流路(L1~Ln)；電動閥28a~28n，係設置在熱式流量感測器(29a~29n)的下游側；控制器(16a~16n)，係控制各電動閥(28a~28n)的開閉；以及流量比設定運算器(RSC)，係從外部輸入流量比指令值並且依據各熱式流量感測器(29a~29n)的流量來運算總流量，且根據該運算後的總流量和前述流量比指令值來運算各分流路(L1~Ln)的流量值，將該運算流量值作為設定流量而輸入到各控制器(16a~16n)；首先，將從前述流量比設定運算器 (RSC)輸入的設定流量值成為最大的任一分流路(L1~Ln)之開啟度保持於一定值而作為非控制狀態，並且將其他分流路的開啟度控制在設定開啟度，然後，藉由各控制器(16a~16n)反饋控制各分流路(L1~Ln)的分流量。
简体摘要：在使来自压力式流量控制设备的气流通过复数个分流路进行分流供应的气体分流供应设备中，防止气体导入时分流路中的气体产生过冲，并且提升分流量控制的应答性、稳定性及控制精度。本发明之气体分流供应设备，具备：流量控制设备，系控制来自气体供应源的气体之流量；复数个分流路(L1~Ln)，系并列连接而使来自流量控制设备的气体分流到气体使用部位；热式流量传感器，系介设在各分流路(L1~Ln)；电动阀28a~28n，系设置在热式流量传感器(29a~29n)的下游侧；控制器(16a~16n)，系控制各电动阀(28a~28n)的开闭；以及流量比设置运算器(RSC)，系从外部输入流量比指令值并且依据各热式流量传感器(29a~29n)的流量来运算总流量，且根据该运算后的总流量和前述流量比指令值来运算各分流路(L1~Ln)的流量值，将该运算流量值作为设置流量而输入到各控制器(16a~16n)；首先，将从前述流量比设置运算器 (RSC)输入的设置流量值成为最大的任一分流路(L1~Ln)之打开度保持于一定值而作为非控制状态，并且将其他分流路的打开度控制在设置打开度，然后，借由各控制器(16a~16n)反馈控制各分流路(L1~Ln)的分流量。

2. 发明专利

TWI483089B 流體控制裝置有权
简体标题：流体控制设备
公开(公告)号：TWI483089B
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW099105894
申请日：2010-03-02
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀨潤 , HIROSE, JUN , 手塚一幸 , TEZUKA, KAZUYUKI , 內田陽平 , UCHIDA, YOHEI , 小艾睦典 , KOYOMOGI, MUTSUNORI , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396

3. 发明专利

TWI534576B 氣體分流供應裝置以及氣體分流供應方法有权
简体标题：气体分流供应设备以及气体分流供应方法
公开(公告)号：TWI534576B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW103128436
申请日：2014-08-19
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：髙橋栄治 , TAKAHASHI, EIJI , 佐佐木則和 , SASAKI, NORIKAZU , 澤地淳 , SAWACHI, ATSUSHI , 澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06 , C23C16/455
CPC分类号： G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0363 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761

5. 发明专利

TW200712814A 流量範圍可變型流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量范围可变型流量控制设备
公开(公告)号：TW200712814A
公开(公告)日：2007-04-01
申请号：TW095123000
申请日：2006-06-26
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 國立大學法人東北大學 TOHOKU UNIVERSITY
发明人：大見忠弘 HOMI TADAHIRO , 齋藤雅仁 , 日野昭一 , 津强 , 三浦和幸 , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI , 杉田勝幸 SUGITA, KATSUYUKI , 平田薰 HIRATA, KAORU , 土肥亮介 , 廣瀨隆 , 篠原努 SHINOHARA, TSUTOMU , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
摘要：本發明係可藉由1台流量控制裝置進行流量域更廣之流體的高精度流量控制,藉此達成流量控制裝置小型化及設備費用削減之目的。本發明係於使用孔口上游側壓力P1及孔口下游側壓力P2,將流通於孔口8之流體流量設為Qc=KP1(K為比例常數)或Qc=KP2^m(P1–P2)^n(K為比例常數,m與n為常數)進行運算之壓力式流量控制裝置中,將該壓力式流量控制裝置之控制閥的下游側與流體供給用管路之間的流體通路設為至少2個以上並聯狀流體通路,同時分別使朝向前述各並聯狀流體通路之流體流量特性不同的孔口介於其中,在小流量域之流體的流量控制方面係使前述小流量域之流體朝一方之孔口流通,此外在大流量域之流體的流量控制方面係使前述大流量域之流體切換而朝另一方之孔口流通。
简体摘要：本发明系可借由1台流量控制设备进行流量域更广之流体的高精度流量控制,借此达成流量控制设备小型化及设备费用削减之目的。本发明系于使用孔口上游侧压力P1及孔口下游侧压力P2,将流通于孔口8之流体流量设为Qc=KP1(K为比例常数)或Qc=KP2^m(P1–P2)^n(K为比例常数,m与n为常数)进行运算之压力式流量控制设备中,将该压力式流量控制设备之控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设为至少2个以上并联状流体通路,同时分别使朝向前述各并联状流体通路之流体流量特性不同的孔口介于其中,在小流量域之流体的流量控制方面系使前述小流量域之流体朝一方之孔口流通,此外在大流量域之流体的流量控制方面系使前述大流量域之流体切换而朝另一方之孔口流通。

6. 发明专利

TW200301414A 改良型壓力式流量控制裝置有权
简体标题：改良型压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW200301414A
公开(公告)日：2003-07-01
申请号：TW091135458
申请日：2002-12-06
申请人：富士金股份有限公司株式會社 , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 大見忠弘 TADAHIRO OHMI
发明人：大見忠弘 TADAHIRO OHMI , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山將宜 , 杉山一彥 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本薦諮
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明之技術課題為開發非臨界領域中確立高精度匹配壓縮性流體的實際流量的實驗流量式，使用此流量式高精度進行流量控制的改良型壓力式流量控制裝置。本發明之解決手段在於提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其以Qc=KP2^m(P1-P2)^n表示非臨界領域(非音速域)中壓縮性流體的實驗流量式，以此Qc=KP2^m(P1-P2)^n(K為比例常數，m及n為常數)計算通過孔口4的流體流量，可正確且高速地將流量控制於指定流量。又提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其經常將上游側壓力P1及下游側壓力P2所得壓力比P2/P1=r與臨界值rc比較，在臨界條件(r≦rc)下以 Qc=KP1，在非臨界條件(r>rc)下以Qc=KP2^m(P1-P2)^n運算流量，可一面對應流體的所有條件，一面正確且高速地將流量控制於指定流量。
简体摘要：本发明之技术课题为开发非临界领域中确立高精度匹配压缩性流体的实际流量的实验流量式，使用此流量式高精度进行流量控制的改良型压力式流量控制设备。本发明之解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制设备，其以Qc=KP2^m(P1-P2)^n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此Qc=KP2^m(P1-P2)^n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，可正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制设备，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1=r与临界值rc比较，在临界条件(r≦rc)下以 Qc=KP1，在非临界条件(r>rc)下以Qc=KP2^m(P1-P2)^n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。

7. 发明专利

TW200301350A 壓力感測器、壓力控制裝置及壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置有权
简体标题：压力传感器、压力控制设备及压力式流量控制设备之温度偏移修正设备
公开(公告)号：TW200301350A
公开(公告)日：2003-07-01
申请号：TW091135190
申请日：2002-12-04
申请人：富士金股份有限公司株式會社 , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 大見忠弘 TADAHIRO OHMI
发明人：大見忠弘 TADAHIRO OHMI , 杉山一彥 , 西野功二 , 宇野富雄 , 中村修 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要：本發明之技術課題在於開發自動修正壓力感測器的溫度偏移，不管溫度變動如何，均可正確檢測壓力的壓力感測器、壓力控制裝置及流量控制裝置。本發明之解決手段在於，本發明壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置在孔板4與控制閥22之間設置檢測上游側壓力P1的上游側壓力感測器10，一面以上游側壓力P1運算孔板通過流量，一面藉由控制閥22的啟開控制孔板通過流量的壓方式流量控制裝置中，包括溫度感測器14，其測定流體溫度；記憶手段64，其儲存流體溫度T與上游側壓力感測器10的輸出偏移的關係；以及溫度偏移修正手段，其在流體溫度T變化情形下，根據記憶手段64的資料，運算上游側壓力感測器10的輸出偏移量，以此運算輸出偏移量消去並修正上游側壓力感測器10的輸出偏移。藉此構造，自動修正壓力感測器的溫度偏移，可作正確的流量控制。
简体摘要：本发明之技术课题在于开发自动修正压力传感器的温度偏移，不管温度变动如何，均可正确检测压力的压力传感器、压力控制设备及流量控制设备。本发明之解决手段在于，本发明压力式流量控制设备之温度偏移修正设备在孔板4与控制阀22之间设置检测上游侧压力P1的上游侧压力传感器10，一面以上游侧压力P1运算孔板通过流量，一面借由控制阀22的启开控制孔板通过流量的压方式流量控制设备中，包括温度传感器14，其测定流体温度；记忆手段64，其存储流体温度T与上游侧压力传感器10的输出偏移的关系；以及温度偏移修正手段，其在流体温度T变化情形下，根据记忆手段64的数据，运算上游侧压力传感器10的输出偏移量，以此运算输出偏移量消去并修正上游侧压力传感器10的输出偏移。借此构造，自动修正压力传感器的温度偏移，可作正确的流量控制。

8. 发明专利

TW201009527A 使用壓力式流量控制裝置之流體的非連續式流量切換控制方法审中-公开
简体标题：使用压力式流量控制设备之流体的非连续式流量切换控制方法
公开(公告)号：TW201009527A
公开(公告)日：2010-03-01
申请号：TW098113498
申请日：2009-04-23
申请人：富士金股份有限公司 , 國立大學法人東北大學 , 東京威力科創股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 永瀨正明 , 杉田勝幸 , 平田薰 , 廣瀨隆 , 篠原努 , 池田信一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D , G01F
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
摘要：以切換成第2流量區與第1流量區來進行流體的流量控制之使用壓力式流量控制裝置之流量控制方法中，擴大在特定的誤差範圍內能夠控制的流量範圍，並更為縮小可控制的最小流量。本發明為使用流量範圍可變型壓力式流量控制裝置之流體的流量控制方法，係將壓力式流量控制裝置之控制閥的下游側與流體供應用管路之間之流體通路，構成為至少2個以上的並聯狀流體通路，並且將流體流量特性為不同的孔口分別中介存在於通往前述各並聯狀流體通路，在第1流量區之流體的流量控制時，使前述第1流量區的流體往一方的孔口流通，且在第2流量區之流體的流量控制時，使前述第2流量區的流體往至少另一方的孔口流通，其係以使前述小流量的第1流量區之流體的最大控制流量較前述大流量的第2流量區之最大控制流量的10%還小之方式來選擇前述各孔口的流量特性，將在特定的流量控制誤差內能夠進行流量控制之第1流量區的最小流量予以降低。
简体摘要：以切换成第2流量区与第1流量区来进行流体的流量控制之使用压力式流量控制设备之流量控制方法中，扩大在特定的误差范围内能够控制的流量范围，并更为缩小可控制的最小流量。本发明为使用流量范围可变型压力式流量控制设备之流体的流量控制方法，系将压力式流量控制设备之控制阀的下游侧与流体供应用管路之间之流体通路，构成为至少2个以上的并联状流体通路，并且将流体流量特性为不同的孔口分别中介存在于通往前述各并联状流体通路，在第1流量区之流体的流量控制时，使前述第1流量区的流体往一方的孔口流通，且在第2流量区之流体的流量控制时，使前述第2流量区的流体往至少另一方的孔口流通，其系以使前述小流量的第1流量区之流体的最大控制流量较前述大流量的第2流量区之最大控制流量的10%还小之方式来选择前述各孔口的流量特性，将在特定的流量控制误差内能够进行流量控制之第1流量区的最小流量予以降低。

9. 发明专利

TW552491B 改良型壓力式流量控制裝置有权
简体标题：改良型压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW552491B
公开(公告)日：2003-09-11
申请号：TW091135458
申请日：2002-12-06
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山將宜 , 杉山一彥 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本薦諮
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明之技術課題為開發非臨界領域中確立高精度匹配壓縮性流體的實際流量的實驗流量式，使用此流量式高精度進行流量控制的改良型壓力式流量控制裝置。
本發明之解決手段在於提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其以QC=KP2m(P1-P2)n表示非臨界領域(非音速域)中壓縮性流體的實驗流量式，以此QC=KP2m(P1-P2)n(K為比例常數，m及n為常數)計算通過孔口4的流體流量，同正確且高速地將流量控制於指定流量。又提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其經常將上游側壓力P1及下游側壓力P2所得壓力比P2/P1=r與臨界值rc比較，在臨界條件(r≦rc)下以QC=KP1，在非臨界條件(r>rc)下以 Qc=KP2m(P1-P2)n運算流量，可一面對應流體的所有條件，一面正確且高速地將流量控制於指定流量。
简体摘要：本发明之技术课题为开发非临界领域中确立高精度匹配压缩性流体的实际流量的实验流量式，使用此流量式高精度进行流量控制的改良型压力式流量控制设备。本发明之解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制设备，其以QC=KP2m(P1-P2)n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此QC=KP2m(P1-P2)n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，同正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制设备，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1=r与临界值rc比较，在临界条件(r≦rc)下以QC=KP1，在非临界条件(r>rc)下以 Qc=KP2m(P1-P2)n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。

10. 发明专利

TW201139901A 調整閥裝置失效
简体标题：调整阀设备
公开(公告)号：TW201139901A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：TW099138276
申请日：2010-11-08
申请人：東京威力科創股份有限公司 , 富士金股份有限公司 , 國立大學法人東北大學
发明人：金子裕是 , 八木靖司 , 小野裕司 , 谷川毅 , 池田信一 , 大見忠弘 , 白井泰雪 , 山路道雄
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K31/126 , F16K1/34 , F16K25/005 , Y10T137/776
摘要：本發明係提供一種可提高閥之開閉精度之調整閥裝置。該調整閥裝置係具有:閥體,係具有閥體頭部;動力傳遞構件,係對閥體傳遞動力;閥箱,係將閥體以可滑動之方式內設之;第1波紋管,係相對於動力傳遞構件而在與閥體呈相反側之位置形成有第1空間;第2波紋管,係相對於動力傳遞構件而在閥體側之位置形成有第2空間;第1配管,係與第1空間連通著;以及第2配管,係與第2空間連通著。依照被供給至第1空間與第2空間之工作流體的壓力比率而從動力傳遞構件對閥體傳遞動力,以利用閥體頭部來將形成於閥箱之搬運流路加以開閉。閥體頭部係比該閥體頭部所相接之搬運流路的閥座面之維氏硬度為硬,其硬度差為約200~300Hv。
简体摘要：本发明系提供一种可提高阀之开闭精度之调整阀设备。该调整阀设备系具有:阀体,系具有阀体头部;动力传递构件,系对阀体传递动力;阀箱,系将阀体以可滑动之方式内设之;第1波纹管,系相对于动力传递构件而在与阀体呈相反侧之位置形成有第1空间;第2波纹管,系相对于动力传递构件而在阀体侧之位置形成有第2空间;第1配管,系与第1空间连通着;以及第2配管,系与第2空间连通着。依照被供给至第1空间与第2空间之工作流体的压力比率而从动力传递构件对阀体传递动力,以利用阀体头部来将形成于阀箱之搬运流路加以开闭。阀体头部系比该阀体头部所相接之搬运流路的阀座面之维氏硬度为硬,其硬度差为约200~300Hv。

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