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    • 5. 发明专利
    • 壓力式流量控制裝置、其流量算出方法及流量控制方法
    • 压力式流量控制设备、其流量算出方法及流量控制方法
    • TW201809942A
    • 2018-03-16
    • TW106128767
    • 2017-08-24
    • 日商富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 永瀬正明NAGASE, MASAAKI平田薰HIRATA, KAORU西野功二NISHINO, KOUJI池田信一IKEDA, NOBUKAZU
    • G05D16/20G01F15/04
    • G01F1/50G05D7/06
    • [課題]提供一種精度佳地算出混合氣體的流量,且使用該算出值,將混合氣體的流量控制成所希望的值的壓力式流量控制裝置。   [解決手段]壓力式流量控制裝置(1)係在將孔口(5)的上游側壓力P1保持在下游側壓力P2的約2倍以上的狀態下,構成混合氣體的2種氣體的混合比為X:(1-X),使用將2種類氣體的密度、比熱比及氣體常數以混合比率進行加權所算出的混合氣體的平均密度ρ、平均比熱比κ及平均氣體常數R,將混合氣體的流量係數FF藉由FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2進行算出,且將通過孔口的混合氣體的流量Q,將孔口剖面積設為S、孔口的上游側的混合氣體的壓力設為P1、溫度設為T1,藉由Q=FF・S・P1(1/T1)1/2進行算出。
    • [课题]提供一种精度佳地算出混合气体的流量,且使用该算出值,将混合气体的流量控制成所希望的值的压力式流量控制设备。   [解决手段]压力式流量控制设备(1)系在将孔口(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约2倍以上的状态下,构成混合气体的2种气体的混合比为X:(1-X),使用将2种类气体的密度、比热比及气体常数以混合比率进行加权所算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ及平均气体常数R,将混合气体的流量系数FF借由FF=(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2进行算出,且将通过孔口的混合气体的流量Q,将孔口剖面积设为S、孔口的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1,借由Q=FF・S・P1(1/T1)1/2进行算出。
    • 6. 发明专利
    • 具流量監測器之流量控制裝置
    • 具流量监测器之流量控制设备
    • TW201506568A
    • 2015-02-16
    • TW103110886
    • 2014-03-24
    • 富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 永瀬正明NAGASE, MASAAKI日高敦志HIDAKA, ATSUSHI西野功二NISHINO, KOUJI池田信一IKEDA, NOBUKAZU
    • G05D7/06
    • G05D7/0635G01F1/42G01F1/50G01F15/005Y10T137/7761
    • 本發明在提供一種,有效利用具備壓力式流量控制部的高耐壓力變動特性,藉由將降低式流量監測部組合在壓力式流量控制部的上游側,進行接近同時處理的流量監測,並且可使用監測流量自動調整壓力式流量控制部的設定流量,而且,可達到裝置大幅的小型化及低成本化的具流量監測器的流量控制裝置。 本發明是由:設在上游側的降低式流量監測部(BDM);設在其下游側的壓力式流量控制部(FCS);連結降低式流量監測部(BDM)與壓力式流量控制部(FCS),將降低式流量監測部(BDM)的監測流量(Q)傳送到壓力式流量控制部(FCS)的訊號傳送電路(CT);以及被設在壓力式流量控制部(FCS),根據來自前述降低式流量監測部(BDM)的監測流量(Q)調整壓力式流量控制部(FCS)的設定流量(QS)的流量設定值調整機構(QSR)所構成。
    • 本发明在提供一种,有效利用具备压力式流量控制部的高耐压力变动特性,借由将降低式流量监测部组合在压力式流量控制部的上游侧,进行接近同时处理的流量监测,并且可使用监测流量自动调整压力式流量控制部的设置流量,而且,可达到设备大幅的小型化及低成本化的具流量监测器的流量控制设备。 本发明是由:设在上游侧的降低式流量监测部(BDM);设在其下游侧的压力式流量控制部(FCS);链接降低式流量监测部(BDM)与压力式流量控制部(FCS),将降低式流量监测部(BDM)的监测流量(Q)发送到压力式流量控制部(FCS)的信号发送电路(CT);以及被设在压力式流量控制部(FCS),根据来自前述降低式流量监测部(BDM)的监测流量(Q)调整压力式流量控制部(FCS)的设置流量(QS)的流量设置值调整机构(QSR)所构成。
    • 7. 发明专利
    • 氣體流量檢定裝置
    • 气体流量检定设备
    • TWI354096B
    • 2011-12-11
    • TW096106678
    • 2007-02-27
    • CKD股份有限公司
    • 小澤幸生伊藤稔土居廣樹中田明子
    • G01F
    • G01F1/383G01F1/50G01F15/005G01F25/0007Y10T137/0379Y10T137/87249
    • 本發明為了提供可提高對於流量檢定之可靠性的氣體流量檢定裝置,作成一種氣體流量檢定裝置,具有:第一關斷閥12,和流量控制器10連接,並輸入氣體;第二關斷閥13,輸出氣體;連通構件18,使第一關斷閥12和第二關斷閥13連通;壓力感測器14,檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之壓力;溫度檢測器15,檢測被供給第一關斷閥12和第二關斷閥13之間的氣體之溫度;以及控制手段16,使用壓力感測器14所檢測之壓力檢測結果和溫度檢測器15所檢測的溫度檢測結果,檢定在流量控制器10流動之氣體的流量,使由第一關斷閥12之閥座22至第二關斷閥13的閥座28為止之體積Vk小於由流量控制器10的出口至第一關斷閥12之閥座22為止的體積Ve。
    • 本发明为了提供可提高对于流量检定之可靠性的气体流量检定设备,作成一种气体流量检定设备,具有:第一关断阀12,和流量控制器10连接,并输入气体;第二关断阀13,输出气体;连通构件18,使第一关断阀12和第二关断阀13连通;压力传感器14,检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之压力;温度检测器15,检测被供给第一关断阀12和第二关断阀13之间的气体之温度;以及控制手段16,使用压力传感器14所检测之压力检测结果和温度检测器15所检测的温度检测结果,检定在流量控制器10流动之气体的流量,使由第一关断阀12之阀座22至第二关断阀13的阀座28为止之体积Vk小于由流量控制器10的出口至第一关断阀12之阀座22为止的体积Ve。
    • 9. 发明专利
    • 壓力感測器、壓力控制裝置及壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置
    • 压力传感器、压力控制设备及压力式流量控制设备之温度偏移修正设备
    • TW554164B
    • 2003-09-21
    • TW091135190
    • 2002-12-04
    • 富士金股份有限公司東京威力科創股份有限公司大見忠弘
    • 大見忠弘杉山一彥西野功二宇野富雄中村修松本篤諮土肥亮介池田信一
    • G01L
    • G05D7/0635G01D3/022G01F1/50G01F15/046G01L9/025
    • 本發明之技術課題在於開發自動修正壓力感測器的溫度偏移,不管溫度變動如何,均可正確檢測壓力的壓力感測器、壓力控制裝置及流量控制裝置。
      本發明之解決手段在於,本發明壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置在孔板4與控制閥22之間設置檢測上游側壓力P1的上游側壓力感測器10,一面以上游側壓力P1運算孔板通過流量,一面藉由控制閥22的啟開控制孔板通過流量的壓力式流量控制裝置中,包括溫度感測器14,其測定流體溫度;記憶手段64,其儲存流體溫度T與上游側壓力感測器10的輸出偏移的關係;以及溫度偏移修正手段,其在流體溫度T變化情形下,根據記憶手段64的資料,運算上游側壓力感測器10的輸出偏移量,以此運算輸出偏移量消去並修正上游側壓力感測器10的輸出偏移。藉此構造,自動修正壓力感測器的溫度偏移,可作正確的流量控制。
    • 本发明之技术课题在于开发自动修正压力传感器的温度偏移,不管温度变动如何,均可正确检测压力的压力传感器、压力控制设备及流量控制设备。 本发明之解决手段在于,本发明压力式流量控制设备之温度偏移修正设备在孔板4与控制阀22之间设置检测上游侧压力P1的上游侧压力传感器10,一面以上游侧压力P1运算孔板通过流量,一面借由控制阀22的启开控制孔板通过流量的压力式流量控制设备中,包括温度传感器14,其测定流体温度;记忆手段64,其存储流体温度T与上游侧压力传感器10的输出偏移的关系;以及温度偏移修正手段,其在流体温度T变化情形下,根据记忆手段64的数据,运算上游侧压力传感器10的输出偏移量,以此运算输出偏移量消去并修正上游侧压力传感器10的输出偏移。借此构造,自动修正压力传感器的温度偏移,可作正确的流量控制。