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1. 发明专利

TWI643048B 流量訊號修正方法及使用其之流量控制裝置有权
简体标题：流量信号修正方法及使用其之流量控制设备
公开(公告)号：TWI643048B
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW105135098
申请日：2016-10-28
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO , 河嶋将慈 , KAWASHIMA, MASAYOSHI , 今井嵩浩 , IMAI, TAKAHIRO
IPC分类号： G05D7/06 , G05D7/03 , G06G5/00 , G01F1/34

2. 发明专利

TWI632609B 氣化供給裝置有权
简体标题：气化供给设备
公开(公告)号：TWI632609B
公开(公告)日：2018-08-11
申请号：TW105112439
申请日：2016-04-21
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 中谷貴紀 , NAKATANI, TAKATOSHI , 山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 平尾圭志 , HIRAO, KEIJI
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/205 , C23C16/448

3. 发明专利

TW201732479A 流量訊號修正方法及使用其之流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量信号修正方法及使用其之流量控制设备
公开(公告)号：TW201732479A
公开(公告)日：2017-09-16
申请号：TW105135098
申请日：2016-10-28
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO , 河嶋将慈 , KAWASHIMA, MASAYOSHI , 今井嵩浩 , IMAI, TAKAHIRO
IPC分类号： G05D7/06 , G05D7/03 , G06G5/00 , G01F1/34
CPC分类号： G05D7/06
摘要：適用於藉由控制節流部之上游側的壓力來控制流量的壓力式流量控制裝置的流量訊號修正方法，係包含依據設置於節流部之上游側的壓力感測器的輸出，產生表示流量的1次訊號的步驟，與以使用1次訊號的現在值與包含1次訊號的單數或複數過去值的資訊之值，藉由所定關係式導出修正過的現在值之方式，產生作為1次訊號之修正訊號的2次訊號的步驟；並於流量穩定期間中將2次訊號作為流量訊號輸出，於過渡變化期間中不將2次訊號作為流量訊號輸出。
简体摘要：适用于借由控制节流部之上游侧的压力来控制流量的压力式流量控制设备的流量信号修正方法，系包含依据设置于节流部之上游侧的压力传感器的输出，产生表示流量的1次信号的步骤，与以使用1次信号的现在值与包含1次信号的单数或复数过去值的信息之值，借由所定关系式导出修正过的现在值之方式，产生作为1次信号之修正信号的2次信号的步骤；并于流量稳定期间中将2次信号作为流量信号输出，于过渡变化期间中不将2次信号作为流量信号输出。

4. 发明专利

TW201705279A 氣化供給裝置审中-公开
简体标题：气化供给设备
公开(公告)号：TW201705279A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW105112439
申请日：2016-04-21
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 中谷貴紀 , NAKATANI, TAKATOSHI , 山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 平尾圭志 , HIRAO, KEIJI
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/205 , C23C16/448
CPC分类号： B01J4/008 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/448 , C23C16/4485 , C23C16/52 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/32135 , H01L21/6708
摘要：本發明的課題是在於提供一種可解除從氣化器內通往流量控制裝置的氣體流路內被液體充滿的狀態不佳的氣化供給裝置。其解決手段是具備：氣化器(2)，其係將液體(L)加熱而使氣化；流量控制裝置(3)，其係控制從氣化器送出的氣體的流量；第1控制閥(5)，其係在往氣化器(2)的液體的供給路(4)中介入；壓力檢測器(6)，其係用以檢測出在氣化器(2)被氣化送往流量控制裝置(3)的氣體的壓力；液體檢測部(7A)，其係測定超過氣化器(2)內的預定量的液體的參數；及控制裝置(8)，其係以能夠根據壓力檢測器(6)之檢測出的壓力值來對氣化器(2)供給預定量的液體(L)之方式控制第1控制閥(5)，且在液體檢測部(7)檢測到液體時，控制成關閉第1控制閥(5)。
简体摘要：本发明的课题是在于提供一种可解除从气化器内通往流量控制设备的气体流路内被液体充满的状态不佳的气化供给设备。其解决手段是具备：气化器(2)，其系将液体(L)加热而使气化；流量控制设备(3)，其系控制从气化器送出的气体的流量；第1控制阀(5)，其系在往气化器(2)的液体的供给路(4)中介入；压力检测器(6)，其系用以检测出在气化器(2)被气化送往流量控制设备(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其系测定超过气化器(2)内的预定量的液体的参数；及控制设备(8)，其系以能够根据压力检测器(6)之检测出的压力值来对气化器(2)供给预定量的液体(L)之方式控制第1控制阀(5)，且在液体检测部(7)检测到液体时，控制成关闭第1控制阀(5)。

5. 发明专利

TWI566067B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI566067B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW103141600
申请日：2014-12-01
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀬 , HIROSE, TAKASHI , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 松本篤諮 , MATSUMOTO, ATSUSHI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/007 , H01L21/67069 , H01L21/67253

6. 发明专利

TW201701095A 壓力式流量控制裝置审中-公开
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW201701095A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105118225
申请日：2014-12-01
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀬 , HIROSE, TAKASHI , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 松本篤諮 , MATSUMOTO, ATSUSHI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/007 , H01L21/67069 , H01L21/67253
摘要：本發明提供一種壓力式流量控制裝置，在流體流量控制中，可謀求流量切換時之下降反應時間的縮短，並可提升下降反應特性。本發明的壓力式流量控制裝置具備：主體(5)，設置連通流體入口(2)與流體出口(3)之間的流體通路(4)；壓力控制用控制閥(CV)，使固定於主體(5)的流體通路(4)開關；流孔(OL)，介於壓力控制用控制閥(CV)下游側的流體通路(4)；及壓力感測器(P1)，固定在主體(5)檢測壓力控制用控制閥(CV)與流孔(OL)之間的流體通路(4)的內壓，流體通路(4)具備：第1通路部(4a)，連接壓力控制用控制閥(CV)與壓力感測器(P1)之壓力檢測面(P1a)上的壓力檢測室(4b)，及第2通路部(4c)，與第1通路部(4a)分離連接壓力檢測室(4b)與流孔(OL)，藉此構成經由壓力檢測室(4b)。
简体摘要：本发明提供一种压力式流量控制设备，在流体流量控制中，可谋求流量切换时之下降反应时间的缩短，并可提升下降反应特性。本发明的压力式流量控制设备具备：主体(5)，设置连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，使固定于主体(5)的流体通路(4)开关；流孔(OL)，介于压力控制用控制阀(CV)下游侧的流体通路(4)；及压力传感器(P1)，固定在主体(5)检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第1通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)之压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第2通路部(4c)，与第1通路部(4a)分离连接压力检测室(4b)与流孔(OL)，借此构成经由压力检测室(4b)。

7. 发明专利

TW201537324A 壓力式流量控制裝置审中-公开
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW201537324A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW103136633
申请日：2014-10-23
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004
摘要：本發明係提供在壓力式流量控制裝置之流體流量控制下，可謀求大幅度縮短流量切換時之下降響應時間，並且提高下降響應特性之壓力式流量控制裝置。本發明係由下述構件構成壓力式流量控制裝置：本體，其設置有連通流體入口和流體出口間的流體通路及連通流體通路和排氣出口間的排氣通路；壓力控制用控制閥，其被固定在上述本體之流體入口側而開關上述流體通路之上游側；壓力感測器，其係檢測出其下游側之流體通路內壓；孔口，其設置在較上述排氣通路之分歧處下游的流體通路內；及排氣控制用控制閥，其係開關上述排氣通路，並且於藉由該壓力式流量控制裝置進行流體流量之變更時，藉由使壓力控制用控制閥和排氣控制用控制閥作動，並使壓力控制用控制閥和孔口間之流體通路空間內強制排氣，提高流量變更時之下降響應速度。
简体摘要：本发明系提供在压力式流量控制设备之流体流量控制下，可谋求大幅度缩短流量切换时之下降响应时间，并且提高下降响应特性之压力式流量控制设备。本发明系由下述构件构成压力式流量控制设备：本体，其设置有连通流体入口和流体出口间的流体通路及连通流体通路和排气出口间的排气通路；压力控制用控制阀，其被固定在上述本体之流体入口侧而开关上述流体通路之上游侧；压力传感器，其系检测出其下游侧之流体通路内压；孔口，其设置在较上述排气通路之分歧处下游的流体通路内；及排气控制用控制阀，其系开关上述排气通路，并且于借由该压力式流量控制设备进行流体流量之变更时，借由使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀作动，并使压力控制用控制阀和孔口间之流体通路空间内强制排气，提高流量变更时之下降响应速度。

8. 发明专利

TWI372220B 正常開啟型壓電元件驅動式金屬隔膜型控制閥有权
简体标题：正常打开型压电组件驱动式金属隔膜型控制阀
公开(公告)号：TWI372220B
公开(公告)日：2012-09-11
申请号：TW095143414
申请日：2006-11-23
申请人：富士金股份有限公司
发明人：松本篤諮 , 平田薰 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
摘要：本發明係提供一種正常開啟型壓電元件驅動式金屬隔膜型控制閥，係即使在高溫環境下，亦可進行高精確度的穩定流量控制，並且不須分解控制閥本體，而可調整施加於壓電元件之壓縮力。
該正常開啟型壓電元件驅動式金屬隔膜型控制閥係由：形成閥室7a’及閥座7c的主體7；配設於閥室7a’內，與閥座7c抵座分離的金屬隔膜8；固定於主體7側的致動器機箱10；配設於致動器機箱10內，藉由電壓的施加朝向下方伸長，經由金屬隔膜按押件12來按押金屬隔膜8的壓電元件13；在金屬隔膜8抵座於閥座7c時，吸收壓電元件13的伸長，並且對於由與閥座7c等施加特定的按押力的皿彈簧機構14；以及經常對於壓電元件13施加向上的壓縮力，並且可從外部調整施加於壓電元件13的壓縮力之預壓機構21所構成。
简体摘要：本发明系提供一种正常打开型压电组件驱动式金属隔膜型控制阀，系即使在高温环境下，亦可进行高精确度的稳定流量控制，并且不须分解控制阀本体，而可调整施加于压电组件之压缩力。该正常打开型压电组件驱动式金属隔膜型控制阀系由：形成阀室7a’及阀座7c的主体7；配设于阀室7a’内，与阀座7c抵座分离的金属隔膜8；固定于主体7侧的致动器机箱10；配设于致动器机箱10内，借由电压的施加朝向下方伸长，经由金属隔膜按押件12来按押金属隔膜8的压电组件13；在金属隔膜8抵座于阀座7c时，吸收压电组件13的伸长，并且对于由与阀座7c等施加特定的按押力的皿弹簧机构14；以及经常对于压电组件13施加向上的压缩力，并且可从外部调整施加于压电组件13的压缩力之预压机构21所构成。

9. 发明专利

TWI352886B 使用具有壓力感測器的流量控制裝置之流體供給系的異常檢測方法有权
简体标题：使用具有压力传感器的流量控制设备之流体供给系的异常检测方法
公开(公告)号：TWI352886B
公开(公告)日：2011-11-21
申请号：TW095132465
申请日：2006-09-01
申请人：富士金股份有限公司
发明人：永瀨正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薰 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
IPC分类号： G05D , G01F
摘要：可不必從流體供給系的配管路取下閥，利用具有壓力感測器的流量控制裝置的機能來簡單且迅速、正確地檢查使用流量控制裝置的流體供給系中所被裝入之複數個閥的動作不良或閥座洩漏等的異常。
具體而言，在具備流量控制裝置的流體供給系中，該流量控制裝置擁有具備流量的設定機構、流量及壓力的顯示機構及或流量自己診斷機構的壓力感測器，利用上述流量控制裝置之上述壓力的顯示值及或流量自己診斷機構的診斷值來檢測出上述流量控制裝置以及設置於其上流側或下流側之控制閥的異常。
简体摘要：可不必从流体供给系的配管路取下阀，利用具有压力传感器的流量控制设备的机能来简单且迅速、正确地检查使用流量控制设备的流体供给系中所被装入之复数个阀的动作不良或阀座泄漏等的异常。具体而言，在具备流量控制设备的流体供给系中，该流量控制设备拥有具备流量的设置机构、流量及压力的显示机构及或流量自己诊断机构的压力传感器，利用上述流量控制设备之上述压力的显示值及或流量自己诊断机构的诊断值来检测出上述流量控制设备以及设置于其上流侧或下流侧之控制阀的异常。

10. 发明专利

TWI261667B 耐蝕金屬製流體用感測器及使用該感測器的流體供給機器失效
简体标题：耐蚀金属制流体用传感器及使用该传感器的流体供给机器
公开(公告)号：TWI261667B
公开(公告)日：2006-09-11
申请号：TW094100158
申请日：2005-01-04
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , 池田信一 , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01L19/0023 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , Y10T137/7761
摘要：提供一種提高熱或質量流量感測器的耐蝕性，而且提高對於壓力變動的測定精度的穩定化，應答性，防止無粒子，製品品質的參差不齊及可進行壓力測定等的耐蝕金屬製流體用感測器及使用該感測器的流體供給機器
其解決手段為，一種耐蝕金屬製流體用感測器，其特徵為具備：
耐蝕性金屬基板2；形成設於該耐蝕性金屬基板2的接流體表面的背面側的溫度感測器3a與加熱用加熱器3b的薄膜所成的質量流量感測部3；以及形成設於耐蝕性金屬基板2的接流體表面的背面側的畸變感測元件4a的薄膜所成的壓力感測部4；作為計測流體的質量流量及壓力的構成。
简体摘要：提供一种提高热或质量流量传感器的耐蚀性，而且提高对于压力变动的测定精度的稳定化，应答性，防止无粒子，制品品质的参差不齐及可进行压力测定等的耐蚀金属制流体用传感器及使用该传感器的流体供给机器其解决手段为，一种耐蚀金属制流体用传感器，其特征为具备：耐蚀性金属基板2；形成设于该耐蚀性金属基板2的接流体表面的背面侧的温度传感器3a与加热用加热器3b的薄膜所成的质量流量传感部3；以及形成设于耐蚀性金属基板2的接流体表面的背面侧的畸变传感组件4a的薄膜所成的压力传感部4；作为计测流体的质量流量及压力的构成。

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