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1. 发明专利

TWI566067B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI566067B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW103141600
申请日：2014-12-01
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀬 , HIROSE, TAKASHI , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 松本篤諮 , MATSUMOTO, ATSUSHI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/007 , H01L21/67069 , H01L21/67253

2. 发明专利

TW201701095A 壓力式流量控制裝置审中-公开
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW201701095A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105118225
申请日：2014-12-01
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀬 , HIROSE, TAKASHI , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 松本篤諮 , MATSUMOTO, ATSUSHI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/007 , H01L21/67069 , H01L21/67253
摘要：本發明提供一種壓力式流量控制裝置，在流體流量控制中，可謀求流量切換時之下降反應時間的縮短，並可提升下降反應特性。本發明的壓力式流量控制裝置具備：主體(5)，設置連通流體入口(2)與流體出口(3)之間的流體通路(4)；壓力控制用控制閥(CV)，使固定於主體(5)的流體通路(4)開關；流孔(OL)，介於壓力控制用控制閥(CV)下游側的流體通路(4)；及壓力感測器(P1)，固定在主體(5)檢測壓力控制用控制閥(CV)與流孔(OL)之間的流體通路(4)的內壓，流體通路(4)具備：第1通路部(4a)，連接壓力控制用控制閥(CV)與壓力感測器(P1)之壓力檢測面(P1a)上的壓力檢測室(4b)，及第2通路部(4c)，與第1通路部(4a)分離連接壓力檢測室(4b)與流孔(OL)，藉此構成經由壓力檢測室(4b)。
简体摘要：本发明提供一种压力式流量控制设备，在流体流量控制中，可谋求流量切换时之下降反应时间的缩短，并可提升下降反应特性。本发明的压力式流量控制设备具备：主体(5)，设置连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，使固定于主体(5)的流体通路(4)开关；流孔(OL)，介于压力控制用控制阀(CV)下游侧的流体通路(4)；及压力传感器(P1)，固定在主体(5)检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第1通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)之压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第2通路部(4c)，与第1通路部(4a)分离连接压力检测室(4b)与流孔(OL)，借此构成经由压力检测室(4b)。

3. 发明专利

TWI682430B 流體供給裝置及該裝置的液體排出方法有权
简体标题：流体供给设备及该设备的液体排出方法
公开(公告)号：TWI682430B
公开(公告)日：2020-01-11
申请号：TW107127538
申请日：2018-08-08
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 皆見幸男 , MINAMI, YUKIO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/304 , F26B9/06

4. 发明专利

TW201833461A 閥裝置、使用此閥裝置的流量控制方法及半導體製造方法审中-公开
简体标题：阀设备、使用此阀设备的流量控制方法及半导体制造方法
公开(公告)号：TW201833461A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106138713
申请日：2017-11-09
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 稲田敏之 , INADA, TOSHIYUKI , 船越高志 , FUNAKOSHI, TAKASHI , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU , 湯原知子 , YUHARA, TOMOKO
IPC分类号： F16K1/00 , F16K31/122 , F16K7/14 , H01L21/205
摘要：本發明的課題係在於提供流量控制範圍擴大，泛用性提升之閥裝置。　　用以解決課題之手段為，一種閥裝置，係具有：用來劃定流路(12、13)的閥主體(10)；對閥主體(10)，可將流路(12、13)進行開閉地設置的隔膜(20)；可朝操作隔膜(20)使流路(12、13)開閉的開閉方向(A1、A2)移動地設置的操作構件(40)；對操作構件(40)，賦予驅動力的主致動器(60)，該驅動力是因應朝開閉方向的打開方向(A1)或關閉方向所賦予的操作壓；切換機構，該切換機構是可因應操作壓的大小，將限定流路的開度之操作構件(40)的位置選擇性地切換成相互不同的第1打開位置(P1)或第2打開位置(P2)；及可分別獨立地調節第1打開位置(P1)及第2打開位置(P2)之調節機構(70、80)。
简体摘要：本发明的课题系在于提供流量控制范围扩大，泛用性提升之阀设备。　　用以解决课题之手段为，一种阀设备，系具有：用来划定流路(12、13)的阀主体(10)；对阀主体(10)，可将流路(12、13)进行开闭地设置的隔膜(20)；可朝操作隔膜(20)使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)移动地设置的操作构件(40)；对操作构件(40)，赋予驱动力的主致动器(60)，该驱动力是因应朝开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向所赋予的操作压；切换机构，该切换机构是可因应操作压的大小，将限定流路的开度之操作构件(40)的位置选择性地切换成相互不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；及可分别独立地调节第1打开位置(P1)及第2打开位置(P2)之调节机构(70、80)。

5. 发明专利

TWI442027B 墊圈型流孔及使用該流孔之壓力式流量控制裝置有权
简体标题：垫圈型流孔及使用该流孔之压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI442027B
公开(公告)日：2014-06-21
申请号：TW098134133
申请日：2009-10-08
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀨隆 , HIROSE, TAKASHI , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 執行耕平 , SHIGYOU, KOHEI , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： G01F1/42 , G05D7/00
CPC分类号： F16L23/20 , F15D1/025 , G01F1/40 , G01F1/42 , G05D7/0635

6. 发明专利

TW200710623A 墊片型流孔組件及使用該墊片型流孔組件的壓力式流量控制裝置审中-公开
简体标题：垫片型流孔组件及使用该垫片型流孔组件的压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW200710623A
公开(公告)日：2007-03-16
申请号：TW095118127
申请日：2006-05-22
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED , 國立大學法人東北大學 TOHOKU UNIVERSITY
发明人：大見忠弘 HOMI TADAHIRO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI , 平田薰 HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 SUGITA, KATSUYUKI , 篠原努 SHINOHARA, TSUTOMU , 廣瀨隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D , F16K
CPC分类号： F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：本發明的目的在於:在不必分解、組裝壓力式流量控制裝置的狀況下,藉由簡單地更換其流孔組件,而可輕易地執行控制流量的切換。為達成上述目的,本發明是在具備流體供給用配管之連接部的入口側安裝用塊體(39)、與具備流體取出用配管之連接部的出口側安裝用塊體(43)之間,配設壓力式流量控制裝置(A)之控制閥(2)的閥體(23),藉由可各自分解地將該閥體(23)的流體入口側、與上述入口側安裝用塊體(39)的流體出口側;及上述閥體(23)的流體出口側、與上述出口側安裝用塊體(43)的流體入口側連結成氣密狀,而形成可供通過上述控制閥(2)之氣體流通的流路,並可自由裝卸地將壓力式流量控制裝置(A)的墊片型流孔組件(38)插入固定於設在上述閥體(23)之出口側的墊片型流孔組件插入孔(42c)、與設在出口側安裝用塊體(43)之流體入口側的墊片型流孔組件插入孔(43b)之間的構造。
简体摘要：本发明的目的在于:在不必分解、组装压力式流量控制设备的状况下,借由简单地更换其流孔组件,而可轻易地运行控制流量的切换。为达成上述目的,本发明是在具备流体供给用配管之连接部的入口侧安装用块体(39)、与具备流体取出用配管之连接部的出口侧安装用块体(43)之间,配设压力式流量控制设备(A)之控制阀(2)的阀体(23),借由可各自分解地将该阀体(23)的流体入口侧、与上述入口侧安装用块体(39)的流体出口侧;及上述阀体(23)的流体出口侧、与上述出口侧安装用块体(43)的流体入口侧链接成气密状,而形成可供通过上述控制阀(2)之气体流通的流路,并可自由装卸地将压力式流量控制设备(A)的垫片型流孔组件(38)插入固定于设在上述阀体(23)之出口侧的垫片型流孔组件插入孔(42c)、与设在出口侧安装用块体(43)之流体入口侧的垫片型流孔组件插入孔(43b)之间的构造。

7. 发明专利

TWI701403B 閥裝置、使用此閥裝置的流量控制方法及半導體製造方法有权
简体标题：阀设备、使用此阀设备的流量控制方法及半导体制造方法
公开(公告)号：TWI701403B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：TW106138713
申请日：2017-11-09
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 稲田敏之 , INADA, TOSHIYUKI , 船越高志 , FUNAKOSHI, TAKASHI , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU , 湯原知子 , YUHARA, TOMOKO
IPC分类号： F16K1/00 , F16K31/122 , F16K7/14 , H01L21/205

8. 发明专利

TWI695945B 閥裝置有权
简体标题：阀设备
公开(公告)号：TWI695945B
公开(公告)日：2020-06-11
申请号：TW107110467
申请日：2018-03-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：近藤研太 , KONDO, KENTA , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 滝本昌彥 , TAKIMOTO, MASAHIKO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 三浦尊 , MIURA, TAKERU , 中澤正彥 , NAKAZAWA, MASAHIKO
IPC分类号： F16K1/32 , F16K31/122 , F16J3/02 , H01L21/205

9. 发明专利

TW201921425A 流體供給裝置及該裝置的液體排出方法审中-公开
简体标题：流体供给设备及该设备的液体排出方法
公开(公告)号：TW201921425A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107127538
申请日：2018-08-08
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 皆見幸男 , MINAMI, YUKIO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/304 , F26B9/06
摘要： [課題]提供一種流體供給裝置及適合此裝置的液體排出方法，可防止由被設置在主配管的各種機器的凍結所產生的故障。　　[技術內容]具有：電容器(130)、及將流體貯留的槽桶(140)、及將流體朝向處理室(500)壓送的泵(160)、及使用被貯留在將槽桶(140)及泵(160)連結的槽桶(140)的液體的自重將該液體朝泵(160)移送用的主配管(2)、及主配管(2)及一端是由該主配管(2)的最低位置(MB)被連接且另一端部是朝大氣被開放並將槽桶(140)及主配管(2)內的液體氣化並朝外部排出用的排出用配管(5)，排出用配管(5)，是在槽桶(140)及主配管(2)內的液體全部被排出之後，使將排出用配管(5)的大氣側的空間及主配管(2)側的空間隔出的積水，在排出用配管(5)內暫時地發生地形成。
简体摘要： [课题]提供一种流体供给设备及适合此设备的液体排出方法，可防止由被设置在主配管的各种机器的冻结所产生的故障。　　[技术内容]具有：电容器(130)、及将流体贮留的槽桶(140)、及将流体朝向处理室(500)压送的泵(160)、及使用被贮留在将槽桶(140)及泵(160)链接的槽桶(140)的液体的自重将该液体朝泵(160)移送用的主配管(2)、及主配管(2)及一端是由该主配管(2)的最低位置(MB)被连接且另一端部是朝大气被开放并将槽桶(140)及主配管(2)内的液体气化并朝外部排出用的排出用配管(5)，排出用配管(5)，是在槽桶(140)及主配管(2)内的液体全部被排出之后，使将排出用配管(5)的大气侧的空间及主配管(2)侧的空间隔出的积水，在排出用配管(5)内暂时地发生地形成。

10. 发明专利

TW201921209A 流體供給裝置及流體供給方法审中-公开
简体标题：流体供给设备及流体供给方法
公开(公告)号：TW201921209A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107127576
申请日：2018-08-08
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 皆見幸男 , MINAMI, YUKIO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： G05D7/00 , H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/67 , F26B7/00 , B81C1/00
摘要： [課題]提供可將超臨界流體穩定地供給的流體供給裝置及流體供給方法。　　[技術內容]一種流體供給裝置(1)，是將朝超臨界流體變化之前的液體狀態的流體朝向處理室(500)供給，具有：將氣體狀態的二氧化碳凝縮液化的電容器(130)、及將藉由電容器(130)被凝縮液化的流體貯留的槽桶(140)、及將被貯留在槽桶(140)的被液化的二氧化碳朝向處理室(500)壓送的泵(150)、及設於與泵(150)的吐出側連通的流路(2)且抑制從泵(150)被吐出的液體的周期壓力變動的阻尼部(10)，阻尼部(10)，是具有：兩端部被固定於規定的位置，且，從泵(150)被吐出的液體是流通的形成螺旋狀的螺旋管(20)。
简体摘要： [课题]提供可将超临界流体稳定地供给的流体供给设备及流体供给方法。　　[技术内容]一种流体供给设备(1)，是将朝超临界流体变化之前的液体状态的流体朝向处理室(500)供给，具有：将气体状态的二氧化碳凝缩液化的电容器(130)、及将借由电容器(130)被凝缩液化的流体贮留的槽桶(140)、及将被贮留在槽桶(140)的被液化的二氧化碳朝向处理室(500)压送的泵(150)、及设于与泵(150)的吐出侧连通的流路(2)且抑制从泵(150)被吐出的液体的周期压力变动的阻尼部(10)，阻尼部(10)，是具有：两端部被固定于规定的位置，且，从泵(150)被吐出的液体是流通的形成螺旋状的螺旋管(20)。

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