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1. 发明专利

TWI261667B 耐蝕金屬製流體用感測器及使用該感測器的流體供給機器失效
简体标题：耐蚀金属制流体用传感器及使用该传感器的流体供给机器
公开(公告)号：TWI261667B
公开(公告)日：2006-09-11
申请号：TW094100158
申请日：2005-01-04
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , 池田信一 , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01L19/0023 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , Y10T137/7761
摘要：提供一種提高熱或質量流量感測器的耐蝕性，而且提高對於壓力變動的測定精度的穩定化，應答性，防止無粒子，製品品質的參差不齊及可進行壓力測定等的耐蝕金屬製流體用感測器及使用該感測器的流體供給機器
其解決手段為，一種耐蝕金屬製流體用感測器，其特徵為具備：
耐蝕性金屬基板2；形成設於該耐蝕性金屬基板2的接流體表面的背面側的溫度感測器3a與加熱用加熱器3b的薄膜所成的質量流量感測部3；以及形成設於耐蝕性金屬基板2的接流體表面的背面側的畸變感測元件4a的薄膜所成的壓力感測部4；作為計測流體的質量流量及壓力的構成。
简体摘要：提供一种提高热或质量流量传感器的耐蚀性，而且提高对于压力变动的测定精度的稳定化，应答性，防止无粒子，制品品质的参差不齐及可进行压力测定等的耐蚀金属制流体用传感器及使用该传感器的流体供给机器其解决手段为，一种耐蚀金属制流体用传感器，其特征为具备：耐蚀性金属基板2；形成设于该耐蚀性金属基板2的接流体表面的背面侧的温度传感器3a与加热用加热器3b的薄膜所成的质量流量传感部3；以及形成设于耐蚀性金属基板2的接流体表面的背面侧的畸变传感组件4a的薄膜所成的压力传感部4；作为计测流体的质量流量及压力的构成。

2. 发明专利

TWI257475B 使用耐蝕金屬製熱式質量流量感測器的流體供給機器有权
简体标题：使用耐蚀金属制热式质量流量传感器的流体供给机器
公开(公告)号：TWI257475B
公开(公告)日：2006-07-01
申请号：TW093102956
申请日：2004-02-09
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED
发明人：池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 平田薰 , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE
IPC分类号： G01F , G05D
CPC分类号： G01F1/6845
摘要： [課題]
本發明目的在於提供一種提高熱式質量流量感測器之耐蝕性的同時，應答性提昇，且無塵粒以及能防止製品品質不均勻等的使用耐蝕金屬製熱式質量流量感測器的流體供給機器。[解決手段]
由：對著耐蝕性金屬材料W的背面側施行電解蝕刻並形成薄板之耐蝕性金屬基板2以及由設置在該耐蝕性金屬基板2的背面側的溫度感測器3與形成加熱用加熱器4之薄膜F所形成的感測部1、和將往安裝溝13a內嵌合的前述感測部1的耐蝕性金屬基板2的外周緣利用雷射銲接加以氣密狀固定的感測器基底13所構成。
简体摘要： [课题] 本发明目的在于提供一种提高热式质量流量传感器之耐蚀性的同时，应答性提升，且无尘粒以及能防止制品品质不均匀等的使用耐蚀金属制热式质量流量传感器的流体供给机器。[解决手段] 由：对着耐蚀性金属材料W的背面侧施行电解蚀刻并形成薄板之耐蚀性金属基板2以及由设置在该耐蚀性金属基板2的背面侧的温度传感器3与形成加热用加热器4之薄膜F所形成的传感部1、和将往安装沟13a内嵌合的前述传感部1的耐蚀性金属基板2的外周缘利用激光焊接加以气密状固定的传感器基底13所构成。

3. 发明专利

TW200533897A 耐蝕金屬製流體用感測器及使用該感測器的流體供給機器失效
简体标题：耐蚀金属制流体用传感器及使用该传感器的流体供给机器
公开(公告)号：TW200533897A
公开(公告)日：2005-10-16
申请号：TW094100158
申请日：2005-01-04
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , 池田信一 , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01L19/0023 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , Y10T137/7761
摘要：提供一種提高熱或質量流量感測器的耐蝕性，，而且提高對於壓力變動的測定精度的穩定化，應答性，防止無粒子，製品品質的參差不齊及可進行壓力測定等的耐蝕金屬金屬製流體用感測器及使用該感測器的流體供給機器。其解決手段為，一種耐蝕金屬製流體用感測器，其特徵為具備：耐蝕性金屬基板2；形成設於該耐蝕性金屬基板2的接流體表面的背面側的溫度感測器3a與加熱用加熱器3b的薄膜所成的質量流量感測部(3)；以及形成設於耐性金屬基板2的接流體表面的背面側的畸變感測元件4a的薄膜所成的壓力感測部4；作為計測流體的質量流量及壓力的構成。
简体摘要：提供一种提高热或质量流量传感器的耐蚀性，，而且提高对于压力变动的测定精度的稳定化，应答性，防止无粒子，制品品质的参差不齐及可进行压力测定等的耐蚀金属金属制流体用传感器及使用该传感器的流体供给机器。其解决手段为，一种耐蚀金属制流体用传感器，其特征为具备：耐蚀性金属基板2；形成设于该耐蚀性金属基板2的接流体表面的背面侧的温度传感器3a与加热用加热器3b的薄膜所成的质量流量传感部(3)；以及形成设于耐性金属基板2的接流体表面的背面侧的畸变传感组件4a的薄膜所成的压力传感部4；作为计测流体的质量流量及压力的构成。

4. 发明专利

TW200427970A 耐蝕金屬製熱式質量流量感測器及使用該感測器的流體供給機器审中-公开
简体标题：耐蚀金属制热式质量流量传感器及使用该传感器的流体供给机器
公开(公告)号：TW200427970A
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：TW093102956
申请日：2004-02-09
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED
发明人：池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 平田薰 , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE
IPC分类号： G01F , G05D
CPC分类号： G01F1/6845
摘要：【課題】本發明目的在於提供一種提高熱式質量流量感測器之耐蝕性的同時，應答性提昇，且無塵粒以及能防止製品品質不均勻等的耐蝕金屬製熱式質量流量感測器及使用該感測器的流體供給機器。【解決手段】由：對著耐蝕性金屬材料W的背面側施行電解蝕刻並形成薄板之耐蝕性金屬基板2以及由設置在該耐蝕性金屬基板2的背面側的溫度感測器3與形成加熱用加熱器4之薄膜F所形成的感測部1、和將往安裝溝13a內嵌合的前述感測部1的耐蝕性金屬基板2的外周緣利用雷射銲接加以氣密狀固定的感測器基底13所構成。
简体摘要：【课题】本发明目的在于提供一种提高热式质量流量传感器之耐蚀性的同时，应答性提升，且无尘粒以及能防止制品品质不均匀等的耐蚀金属制热式质量流量传感器及使用该传感器的流体供给机器。【解决手段】由：对着耐蚀性金属材料W的背面侧施行电解蚀刻并形成薄板之耐蚀性金属基板2以及由设置在该耐蚀性金属基板2的背面侧的温度传感器3与形成加热用加热器4之薄膜F所形成的传感部1、和将往安装沟13a内嵌合的前述传感部1的耐蚀性金属基板2的外周缘利用激光焊接加以气密状固定的传感器基底13所构成。

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