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    • 5. 实用新型
    • 氧化物晶圓的長晶裝置
    • 氧化物晶圆的长晶设备
    • TWM265757U
    • 2005-05-21
    • TW093214410
    • 2004-09-10
    • 國立中山大學 NATIONAL SUN YAT-SEN UNIVERSITY中美矽晶製品股份有限公司
    • 周明奇徐文慶
    • H01L
    • 本創作係一種氧化物晶圓的長晶裝置,其包括:一第一腔體係為氧化鋁管,而內壁係設置有氧化鋯毯;一設置於第一腔體內之第二腔體,係以多數氧化鋯磚繞設為一環體,並將各環體加以堆疊至適當而成,而該各相鄰之氧化鋯磚之間係具有間隙;多數設置於第一、二腔體間之氧化鋯空心球;一設置於第二腔體內之坩堝,其底部係設置有氧化鋯板,並於氧化鋯板下方設置有多數氧化鋯空心球;一繞設於第一腔體外部之感應式加熱線圈。藉此,可使該氧化物於長晶時提供穩定之製程與溫度,且可達到降低製造成本之功效。
    • 本创作系一种氧化物晶圆的长晶设备,其包括:一第一腔体系为氧化铝管,而内壁系设置有氧化锆毯;一设置于第一腔体内之第二腔体,系以多数氧化锆砖绕设为一环体,并将各环体加以堆栈至适当而成,而该各相邻之氧化锆砖之间系具有间隙;多数设置于第一、二腔体间之氧化锆空心球;一设置于第二腔体内之坩埚,其底部系设置有氧化锆板,并于氧化锆板下方设置有多数氧化锆空心球;一绕设于第一腔体外部之感应式加热线圈。借此,可使该氧化物于长晶时提供稳定之制程与温度,且可达到降低制造成本之功效。