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    • 9. 发明专利
    • 柱狀微發光二極體及其製造方法
    • 柱状微发光二极管及其制造方法
    • TW201837248A
    • 2018-10-16
    • TW106112153
    • 2017-04-12
    • 光鋐科技股份有限公司EPILEDS TECHNOLOGIES, INC.
    • 黃德利HUANG, TE-LEE許明森HSU, MING-SEN
    • C30B29/38H01L33/00H01L33/32
    • 一種柱狀微發光二極體,其包括第一透明基板、氮化鎵層、複數個遮罩、第二透明基板及複數個金屬電極。氮化鎵層設置於第一透明基板之上,複數個遮罩設置於氮化鎵層之上,各遮罩彼此間隔設置並在其間具有間隙。通入三甲基鎵在氮化鎵層一段時間,停止通入三甲基鎵,再通入氨氣在氮化鎵層一段時間,停止通入氨氣,上述循環為成長週期,氮化鎵層經過多次成長週期而在各間隙成長複數個氮化鎵柱,接著複數個金屬電極設置於第二透明基板之下,第二透明基板黏附複數個氮化鎵柱,且第一透明基板和第二透明基板皆為透明,各氮化鎵柱往其上或其下發光。
    • 一种柱状微发光二极管,其包括第一透明基板、氮化镓层、复数个遮罩、第二透明基板及复数个金属电极。氮化镓层设置于第一透明基板之上,复数个遮罩设置于氮化镓层之上,各遮罩彼此间隔设置并在其间具有间隙。通入三甲基镓在氮化镓层一段时间,停止通入三甲基镓,再通入氨气在氮化镓层一段时间,停止通入氨气,上述循环为成长周期,氮化镓层经过多次成长周期而在各间隙成长复数个氮化镓柱,接着复数个金属电极设置于第二透明基板之下,第二透明基板黏附复数个氮化镓柱,且第一透明基板和第二透明基板皆为透明,各氮化镓柱往其上或其下发光。