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    • 2. 发明专利
    • 雙摻雜閃爍晶體製作方法
    • 双掺杂闪烁晶体制作方法
    • TW201712170A
    • 2017-04-01
    • TW104132027
    • 2015-09-25
    • 國立中山大學NATIONAL SUN YAT-SEN UNIVERSITY
    • 周明奇
    • C30B29/34C30B15/00C30B33/02
    • C30B33/02C30B15/04C30B29/34G01T1/2023
    • 一種雙摻雜閃爍晶體製作方法,係利用柴式提拉法(Czochralski,Cz)生長一雙摻雜鈰與一鈣或一鎂元素稀土矽酸鹽單晶棒,利用摻雜鈣或鎂元素產生電荷補償效應(Charge Compensation),使其中之鈣或鎂與鈰正四價(Ce+4)發生電荷補償,以產生鈰正三價(Ce+3),形成一鈣鈰雙摻稀土矽酸鹽單晶棒或一鎂鈰雙摻稀土矽酸鹽單晶棒,再將其放置於一高溫設備中進行熱退火(thermal annealing)處理,將該鈣鈰雙摻稀土矽酸鹽單晶棒或該鎂鈰雙摻稀土矽酸鹽單晶棒從室溫加熱至1400~1600℃之間後持溫一反應時間,之後進行降溫步驟。藉此,本發明在大氣下進行熱退火處理,利用熱退火可大量減少晶體在加工時所產生之碎裂,並能提高晶體切磨拋之後,像素(pixel)樣品之良率,具有製程成本低、良率高、晶體碎裂少、放光強度高及衰減時間(decaying time)短等優點。
    • 一种双掺杂闪烁晶体制作方法,系利用柴式提拉法(Czochralski,Cz)生长一双掺杂铈与一钙或一镁元素稀土硅酸盐单晶棒,利用掺杂钙或镁元素产生电荷补偿效应(Charge Compensation),使其中之钙或镁与铈正四价(Ce+4)发生电荷补偿,以产生铈正三价(Ce+3),形成一钙铈双掺稀土硅酸盐单晶棒或一镁铈双掺稀土硅酸盐单晶棒,再将其放置于一高温设备中进行热退火(thermal annealing)处理,将该钙铈双掺稀土硅酸盐单晶棒或该镁铈双掺稀土硅酸盐单晶棒从室温加热至1400~1600℃之间后持温一反应时间,之后进行降温步骤。借此,本发明在大气下进行热退火处理,利用热退火可大量减少晶体在加工时所产生之碎裂,并能提高晶体切磨抛之后,像素(pixel)样品之良率,具有制程成本低、良率高、晶体碎裂少、放光强度高及衰减时间(decaying time)短等优点。