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1. 发明专利

TW201539004A 用於電子裝置之晶圓上動態測試的系統及方法审中-公开
简体标题：用于电子设备之晶圆上动态测试的系统及方法
公开(公告)号：TW201539004A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104105962
申请日：2015-02-25
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI , 希爾艾瑞克 , HILL, ERIC
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R31/2889
摘要：用於電子裝置之晶圓上動態測試的系統及方法該等系統包含一探針頭組件(probe head assembly)、一探針端接觸結構、一卡盤(chuck)以及一卡盤端接觸結構。該探針頭組件包含一探針，被組構成用以電性接觸一待測裝置(device under test；DUT)之一第一側。該探針端接觸結構包含一探針端接觸區域。該卡盤包含一導電支承表面，被組構成用以支承一包含該DUT之基板以及用以電性接觸該DUT之一第二側。該探針頭組件與該卡盤被組構成相對於彼此平移，以選擇性地建立該探針與該DUT之間的電性接觸。該卡盤端接觸結構包含一卡盤端接觸區域，電性通連該導電支承表面，並位於該探針端接觸結構之對側。該等方法可以包含操作該等一或多個系統的方法。
简体摘要：用于电子设备之晶圆上动态测试的系统及方法该等系统包含一探针头组件(probe head assembly)、一探针端接触结构、一卡盘(chuck)以及一卡盘端接触结构。该探针头组件包含一探针，被组构成用以电性接触一待测设备(device under test；DUT)之一第一侧。该探针端接触结构包含一探针端接触区域。该卡盘包含一导电支承表面，被组构成用以支承一包含该DUT之基板以及用以电性接触该DUT之一第二侧。该探针头组件与该卡盘被组构成相对于彼此平移，以选择性地创建该探针与该DUT之间的电性接触。该卡盘端接触结构包含一卡盘端接触区域，电性通连该导电支承表面，并位于该探针端接触结构之对侧。该等方法可以包含操作该等一或多个系统的方法。

2. 发明专利

TW201725393A 屏蔽式探針系統审中-公开
简体标题：屏蔽式探针系统
公开(公告)号：TW201725393A
公开(公告)日：2017-07-16
申请号：TW105108953
申请日：2016-03-23
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：賽門斯麥克E , SIMMONS, MICHAEL E. , 波爾特布萊恩康瑞德 , BOLT, BRYAN CONRAD , 史壯姆克里斯多弗安東尼 , STORM, CHRISTOPHER ANTHONY , 根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI , 佛蘭克爾約瑟夫喬治 , FRANKEL, JOSEPH GEORGE , 英格蘭古柏羅比 , INGRAM-GOBLE, ROBBIE
IPC分类号： G01R1/067
CPC分类号： G01R1/18 , G01R1/06705 , G01R31/2849
摘要：本文揭示屏蔽式探針系統。所述探針系統被組構成用以測試一待測裝置(device under test；DUT)並包含至少局部地界限一封閉體積的一測量室、由該測量室界定之一開孔、一探測組件、以及一屏蔽結構。該探測組件包含一探針、一探針臂、和一操縱器，該探針在該封閉體積之內被調設方位，該探針臂被可操作地附接至該探針，而該操縱器被可操作地附接至該探針臂。該探測組件的至少一部分延伸通過該開孔。該屏蔽結構延伸於該測量室與該探測組件之間，且被組構成用以約束流體流動通過該開孔並針對圍繞該測量室的一周遭環境蔽護該封閉體積，同時在一探針臂移動區間之內維持與該探針臂相距至少一臨限分隔距離。
简体摘要：本文揭示屏蔽式探针系统。所述探针系统被组构成用以测试一待测设备(device under test；DUT)并包含至少局部地界限一封闭体积的一测量室、由该测量室界定之一开孔、一探测组件、以及一屏蔽结构。该探测组件包含一探针、一探针臂、和一操纵器，该探针在该封闭体积之内被调设方位，该探针臂被可操作地附接至该探针，而该操纵器被可操作地附接至该探针臂。该探测组件的至少一部分延伸通过该开孔。该屏蔽结构延伸于该测量室与该探测组件之间，且被组构成用以约束流体流动通过该开孔并针对围绕该测量室的一周遭环境蔽护该封闭体积，同时在一探针臂移动区间之内维持与该探针臂相距至少一临限分隔距离。

3. 发明专利

TWI465710B 用於複數個受測裝置的同時光學測試之系統和方法有权
简体标题：用于复数个受测设备的同时光学测试之系统和方法
公开(公告)号：TWI465710B
公开(公告)日：2014-12-21
申请号：TW100138059
申请日：2011-10-20
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：波爾特布萊恩 , BOLT, BRYAN , 史特里德艾瑞克W , STRID, ERIC W. , 根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI , 哈里斯史帝夫 , HARRIS, STEVE
IPC分类号： G01N21/66 , G01R31/28
CPC分类号： G01J1/32 , G01J1/0242 , G01J1/0425 , G01J2001/0481 , G01J2001/4247 , G01R31/2635

4. 发明专利

TW201903414A 包含電接觸檢測的探針系統和方法审中-公开
简体标题：包含电接触检测的探针系统和方法
公开(公告)号：TW201903414A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107111006
申请日：2018-03-29
申请人：美商加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：謝春明 , SIA, CHOON BENG , 根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI
IPC分类号： G01R1/067
摘要：探針系統及方法係包含電接觸檢測。該探針系統係包含一探針組件以及一夾頭。該探針系統亦包含一平移結構，其係被配置以在操作上平移該探針組件及/或該夾頭、以及一儀器封裝，其係被配置以檢測在該探針系統以及一受測裝置(DUT)之間的接觸，並且測試該DUT的操作。該儀器封裝係包含一連續性檢測電路、一測試電路、以及一平移結構控制電路。該連續性檢測電路係被配置以檢測在一第一探針電性導體以及一第二探針電性導體之間的電連續性。該測試電路係被配置以電性地測試該DUT。該平移結構控制電路係被配置以控制該平移結構的操作。該些方法係包含監測在一第一探針以及一第二探針之間的連續性、以及根據該監測來控制一探針系統的操作。
简体摘要：探针系统及方法系包含电接触检测。该探针系统系包含一探针组件以及一夹头。该探针系统亦包含一平移结构，其系被配置以在操作上平移该探针组件及/或该夹头、以及一仪器封装，其系被配置以检测在该探针系统以及一受测设备(DUT)之间的接触，并且测试该DUT的操作。该仪器封装系包含一连续性检测电路、一测试电路、以及一平移结构控制电路。该连续性检测电路系被配置以检测在一第一探针电性导体以及一第二探针电性导体之间的电连续性。该测试电路系被配置以电性地测试该DUT。该平移结构控制电路系被配置以控制该平移结构的操作。该些方法系包含监测在一第一探针以及一第二探针之间的连续性、以及根据该监测来控制一探针系统的操作。

5. 发明专利

TWI688773B 包含電接觸檢測的探針系統和方法有权
简体标题：包含电接触检测的探针系统和方法
公开(公告)号：TWI688773B
公开(公告)日：2020-03-21
申请号：TW107111006
申请日：2018-03-29
申请人：美商加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：謝春明 , SIA, CHOON BENG , 根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI
IPC分类号： G01R1/067

6. 发明专利

TWI597502B 屏蔽式探針系統有权
简体标题：屏蔽式探针系统
公开(公告)号：TWI597502B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW105108953
申请日：2016-03-23
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：賽門斯麥克E , SIMMONS, MICHAEL E. , 波爾特布萊恩康瑞德 , BOLT, BRYAN CONRAD , 史壯姆克里斯多弗安東尼 , STORM, CHRISTOPHER ANTHONY , 根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI , 佛蘭克爾約瑟夫喬治 , FRANKEL, JOSEPH GEORGE , 英格蘭古柏羅比 , INGRAM-GOBLE, ROBBIE
IPC分类号： G01R1/067
CPC分类号： G01R1/18 , G01R1/06705 , G01R31/2849

7. 发明专利

TWI575243B 用於電子裝置之晶圓上動態測試的系統及方法有权
简体标题：用于电子设备之晶圆上动态测试的系统及方法
公开(公告)号：TWI575243B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW104105962
申请日：2015-02-25
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI , 希爾艾瑞克 , HILL, ERIC
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R31/2889

8. 发明专利

TW201229497A 用於複數個受測裝置的同時光學測試之系統和方法 SYSTEMS AND METHODS FOR SIMULTANEOUS OPTICAL TESTING OF A PLURALITY OF DEVICES UNDER TEST 审中-公开
简体标题：用于复数个受测设备的同时光学测试之系统和方法 SYSTEMS AND METHODS FOR SIMULTANEOUS OPTICAL TESTING OF A PLURALITY OF DEVICES UNDER TEST
公开(公告)号：TW201229497A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：TW100138059
申请日：2011-10-20
申请人：加斯凱德微科技公司
发明人：波爾特布萊恩 , 史特里德艾瑞克W , 根岸一樹 , 哈里斯史帝夫
IPC分类号： G01N , G01R
CPC分类号： G01J1/32 , G01J1/0242 , G01J1/0425 , G01J2001/0481 , G01J2001/4247 , G01R31/2635
摘要：用於複數個受測裝置的同時光學測試之系統和方法。這些系統和方法可包含一光學探針組件的使用，該光學探針組件係包含一被配置以提供一電流至複數個受測裝置(DUT)的電源供應結構、以及一被配置以同時收集可能是由該複數個DUT產生的電磁輻射並且提供該收集到的電磁輻射至一或多個光學偵測裝置的光學收集結構。該系統和方法亦可包含該光學探針組件在一光學探針系統中的使用，以評估該複數個DUT的每個DUT的一或多個效能參數。
简体摘要：用于复数个受测设备的同时光学测试之系统和方法。这些系统和方法可包含一光学探针组件的使用，该光学探针组件系包含一被配置以提供一电流至复数个受测设备(DUT)的电源供应结构、以及一被配置以同时收集可能是由该复数个DUT产生的电磁辐射并且提供该收集到的电磁辐射至一或多个光学侦测设备的光学收集结构。该系统和方法亦可包含该光学探针组件在一光学探针系统中的使用，以评估该复数个DUT的每个DUT的一或多个性能参数。

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