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1. 发明专利

TW201539004A 用於電子裝置之晶圓上動態測試的系統及方法审中-公开
简体标题：用于电子设备之晶圆上动态测试的系统及方法
公开(公告)号：TW201539004A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104105962
申请日：2015-02-25
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI , 希爾艾瑞克 , HILL, ERIC
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R31/2889
摘要：用於電子裝置之晶圓上動態測試的系統及方法該等系統包含一探針頭組件(probe head assembly)、一探針端接觸結構、一卡盤(chuck)以及一卡盤端接觸結構。該探針頭組件包含一探針，被組構成用以電性接觸一待測裝置(device under test；DUT)之一第一側。該探針端接觸結構包含一探針端接觸區域。該卡盤包含一導電支承表面，被組構成用以支承一包含該DUT之基板以及用以電性接觸該DUT之一第二側。該探針頭組件與該卡盤被組構成相對於彼此平移，以選擇性地建立該探針與該DUT之間的電性接觸。該卡盤端接觸結構包含一卡盤端接觸區域，電性通連該導電支承表面，並位於該探針端接觸結構之對側。該等方法可以包含操作該等一或多個系統的方法。
简体摘要：用于电子设备之晶圆上动态测试的系统及方法该等系统包含一探针头组件(probe head assembly)、一探针端接触结构、一卡盘(chuck)以及一卡盘端接触结构。该探针头组件包含一探针，被组构成用以电性接触一待测设备(device under test；DUT)之一第一侧。该探针端接触结构包含一探针端接触区域。该卡盘包含一导电支承表面，被组构成用以支承一包含该DUT之基板以及用以电性接触该DUT之一第二侧。该探针头组件与该卡盘被组构成相对于彼此平移，以选择性地创建该探针与该DUT之间的电性接触。该卡盘端接触结构包含一卡盘端接触区域，电性通连该导电支承表面，并位于该探针端接触结构之对侧。该等方法可以包含操作该等一或多个系统的方法。

2. 发明专利

TWI575243B 用於電子裝置之晶圓上動態測試的系統及方法有权
简体标题：用于电子设备之晶圆上动态测试的系统及方法
公开(公告)号：TWI575243B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW104105962
申请日：2015-02-25
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：根岸一樹 , NEGISHI, KAZUKI , 希爾艾瑞克 , HILL, ERIC
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2601 , G01R31/2889

3. 发明专利

TW201321759A 包含複數個高長寬比的電氣管路之分隔件和系統及製造方法和用途审中-公开
简体标题：包含复数个高长宽比的电气管路之分隔件和系统及制造方法和用途
公开(公告)号：TW201321759A
公开(公告)日：2013-06-01
申请号：TW101133656
申请日：2012-09-14
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：達克沃斯寇比L , DUCKWORTH, KOBY L. , 希爾艾瑞克 , HILL, ERIC , 裘莉麥克 , JOLLEY, MIKE , 舒爾茲庫特 , SCHULTZ, KURT , 柯堤斯裘蒂 , CURTIS, JODY
IPC分类号： G01R1/073
CPC分类号： G01R1/07378 , G01R3/00 , H05K1/11 , H05K3/4046 , H05K2201/0379 , H05K2201/10378
摘要：茲揭示包含有複數個高長寬比的電氣管路之分隔件，以及製造及/或使用該等分隔件及/或該等高長寬比的電氣管路之系統和方法。該等系統和方法係可包含將該複數個高長寬比的電氣管路併入一個大致上平面的本體之內部，該本體係可包含一個固態介電材料及/或經形成自該固態介電材料。該複數個電氣管路係可經組態設定以在該本體的一個第一表面和該本體中大致上相對的一個第二表面之間傳導複數個電流。該等表面係可包含複數個接觸銲墊，其係經組態設定以提供一個強健及/或抗腐蝕表面，及/或以在該分隔件和另一元件之間改善電氣接觸。該等分隔件係亦可包含一個分層式結構，其中的各個層係循序地被形成，以增加該分隔件的一個厚度及/或該等電氣管路的長寬比。
简体摘要：兹揭示包含有复数个高长宽比的电气管路之分隔件，以及制造及/或使用该等分隔件及/或该等高长宽比的电气管路之系统和方法。该等系统和方法系可包含将该复数个高长宽比的电气管路并入一个大致上平面的本体之内部，该本体系可包含一个固态介电材料及/或经形成自该固态介电材料。该复数个电气管路系可经组态设置以在该本体的一个第一表面和该本体中大致上相对的一个第二表面之间传导复数个电流。该等表面系可包含复数个接触焊垫，其系经组态设置以提供一个强健及/或抗腐蚀表面，及/或以在该分隔件和另一组件之间改善电气接触。该等分隔件系亦可包含一个分层式结构，其中的各个层系循序地被形成，以增加该分隔件的一个厚度及/或该等电气管路的长宽比。

4. 发明专利

TW201303310A 探針頭組件、其之構件、包含其之測試系統及操作其之方法审中-公开
简体标题：探针头组件、其之构件、包含其之测试系统及操作其之方法
公开(公告)号：TW201303310A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW101116325
申请日：2012-05-08
申请人：加斯凱德微科技公司 , CASCADE MICROTECH, INC.
发明人：達克沃斯寇比 , DUCKWORTH, KOBY , 希爾艾瑞克 , HILL, ERIC
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/28
CPC分类号： G01R1/0735 , G01R1/06711 , G01R1/06738 , G01R1/07378 , G01R31/2889
摘要：本發明係關於探針頭組件、探針頭組件的構件、包含該等探針頭組件及/或其之構件的測試系統以及操作其之方法。該等探針頭組件會被配置成用以傳遞複數個測試訊號給一受測裝置及/或用以從一受測裝置處傳遞複數個測試訊號，並且包含：一空間轉換器；一接觸組件；以及一豎板，其會在空間上分離該空間轉換器與該接觸組件並且在該空間轉換器與該接觸組件之間傳遞該等複數個測試訊號。該接觸組件可能包含：一框架，其會定義一孔徑而且熱膨脹係數落在該受測裝置之熱膨脹係數的臨界差異值裡面；一撓性介電本體，其會被附接至該框架，藉由該框架來保持拉伸，並且會延伸跨越該孔徑；以及複數個導體探針。該等複數個導體探針可能包含一雙面探針尖端。
简体摘要：本发明系关于探针头组件、探针头组件的构件、包含该等探针头组件及/或其之构件的测试系统以及操作其之方法。该等探针头组件会被配置成用以传递复数个测试信号给一受测设备及/或用以从一受测设备处传递复数个测试信号，并且包含：一空间转换器；一接触组件；以及一竖板，其会在空间上分离该空间转换器与该接触组件并且在该空间转换器与该接触组件之间传递该等复数个测试信号。该接触组件可能包含：一框架，其会定义一孔径而且热膨胀系数落在该受测设备之热膨胀系数的临界差异值里面；一挠性介电本体，其会被附接至该框架，借由该框架来保持拉伸，并且会延伸跨越该孔径；以及复数个导体探针。该等复数个导体探针可能包含一双面探针尖端。

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