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热词
    • 8. 发明专利
    • 半導體裝置的製造方法
    • 半导体设备的制造方法
    • TW201802925A
    • 2018-01-16
    • TW106110090
    • 2017-03-27
    • 三井化學東賽璐股份有限公司MITSUI CHEMICALS TOHCELLO, INC.
    • 栗原宏嘉KURIHARA, HIROYOSHI福本英樹FUKUMOTO, HIDEKI
    • H01L21/304
    • H01L21/304
    • 本發明的半導體裝置的製造方法至少包括以下的3個步驟。(A)準備包括具有電路形成面的半導體晶圓、貼合於所述半導體晶圓的所述電路形成面側的黏著性膜(100)的結構體的步驟;(B)對所述半導體晶圓的與所述電路形成面側為相反側的面進行背面研磨的步驟;(C)對黏著性膜(100)照射紫外線後從所述半導體晶圓上去除黏著性膜(100)的步驟。作為黏著性膜(100),使用包括基材層(10)、設置於基材層(10)的其中一面側的紫外線硬化型的黏著性樹脂層(20)的黏著性膜。而且,於黏著性膜(100)中,黏著性樹脂層(20)包含紫外線硬化型黏著性樹脂,利用特定的方法來測定的紫外線硬化後的黏著性樹脂層(20)的表面的飽和區域電壓V1為2.0 kV以下。
    • 本发明的半导体设备的制造方法至少包括以下的3个步骤。(A)准备包括具有电路形成面的半导体晶圆、贴合于所述半导体晶圆的所述电路形成面侧的黏着性膜(100)的结构体的步骤;(B)对所述半导体晶圆的与所述电路形成面侧为相反侧的面进行背面研磨的步骤;(C)对黏着性膜(100)照射紫外线后从所述半导体晶圆上去除黏着性膜(100)的步骤。作为黏着性膜(100),使用包括基材层(10)、设置于基材层(10)的其中一面侧的紫外线硬化型的黏着性树脂层(20)的黏着性膜。而且,于黏着性膜(100)中,黏着性树脂层(20)包含紫外线硬化型黏着性树脂,利用特定的方法来测定的紫外线硬化后的黏着性树脂层(20)的表面的饱和区域电压V1为2.0 kV以下。
    • 9. 发明专利
    • 外觀性能佳的製程用離型薄膜,其用途,及使用其的樹脂封裝半導體的製造方法
    • 外观性能佳的制程用离型薄膜,其用途,及使用其的树脂封装半导体的制造方法
    • TW201739619A
    • 2017-11-16
    • TW105139941
    • 2016-12-02
    • 三井化學東賽璐股份有限公司MITSUI CHEMICALS TOHCELLO, INC.
    • 清水勝SHIMIZU, MASARU志摩健二SHIMA, KENJI
    • B32B27/30B29C33/68B29C45/02B29C45/14B29C45/17B29C70/70H01L21/56
    • 提供一種製程用離型薄膜,係能將樹脂封裝後的成形品,不會因金屬模構造或離型劑量的影響而能夠容易離型,且能夠得到沒有皺折或缺陷等的外觀不良的成形品。 上述課題藉由:一種製程用離型薄膜,係包含離型層1A、耐熱樹脂層1B、適其需要的離型層1A’的層積薄膜,其中,前述離型層1A(及存在時的離型層1A’)相對於水的接觸角為90°到130°;前述層積薄膜的在120℃的拉伸彈性率為75MPa到500MPa,或者,前述層積薄膜的在170℃的拉伸彈性率為75MPa到500MPa。一種製程用離型薄膜,係包含上述製程用離型薄膜、或離型層2A、耐熱樹脂層2B、適其需要的離型層2A’的層積薄膜,其中,前述離型層2A(及存在時的離型層2A’)的相對於水的接觸角為90°到130°,前述耐熱樹脂層2B,包含含有高分子系抗靜電劑的層2B1,前述層積薄膜的在120℃的拉伸彈性率為75MPa到500MPa,或者,前述層積薄膜的在170℃的拉伸彈性率為75MPa到500MPa來解決。
    • 提供一种制程用离型薄膜,系能将树脂封装后的成形品,不会因金属模构造或离型剂量的影响而能够容易离型,且能够得到没有皱折或缺陷等的外观不良的成形品。 上述课题借由:一种制程用离型薄膜,系包含离型层1A、耐热树脂层1B、适其需要的离型层1A’的层积薄膜,其中,前述离型层1A(及存在时的离型层1A’)相对于水的接触角为90°到130°;前述层积薄膜的在120℃的拉伸弹性率为75MPa到500MPa,或者,前述层积薄膜的在170℃的拉伸弹性率为75MPa到500MPa。一种制程用离型薄膜,系包含上述制程用离型薄膜、或离型层2A、耐热树脂层2B、适其需要的离型层2A’的层积薄膜,其中,前述离型层2A(及存在时的离型层2A’)的相对于水的接触角为90°到130°,前述耐热树脂层2B,包含含有高分子系抗静电剂的层2B1,前述层积薄膜的在120℃的拉伸弹性率为75MPa到500MPa,或者,前述层积薄膜的在170℃的拉伸弹性率为75MPa到500MPa来解决。