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    • 66. 发明专利
    • 將半導體基板輻射開槽之方法
    • 将半导体基板辐射开槽之方法
    • TW201436917A
    • 2014-10-01
    • TW103102518
    • 2014-01-23
    • 先進雷射分離技術國際公司ADVANCED LASER SEPARATION INTERNATIONAL (ALSI) N. V.
    • 凡 德 史丹 凱瑞爾 梅克爾 瑞查德VAN DER STAM, KAREL MAYKEL RICHARD
    • B23K26/38H01L21/304
    • H01L21/78B23K26/0006B23K26/0087B23K26/0608B23K26/0676B23K26/364B23K26/40B23K2203/50B23K2203/56
    • 本發明係關於一種使用一雷射劃線設備輻射劃線一實質上平面半導體基板之方法,藉此沿著在該基板之一目標表面上之半導體裝置之相對列之間延伸之一劃線形成一非穿透性凹槽,藉此可定義一笛卡爾座標系統XYZ,其中:-該目標表面位於該XY平面中;-該凹槽平行於該Y方向延伸,其之一寬度在該X方向上;在該方法中:-該基板夾鉗在一可移動基板固持器上,以便將該目標表面呈現至一雷射劃線頭;-在該基板固持器與該劃線頭之間實現相對運動,以便使來自該頭之雷射輻射沿著該劃線之一路線平移,其中,當在該XY平面中觀看時,該雷射劃線頭產生一二維陣列之雷射光束點。在一特殊實施例中,該陣列中之該等點實質上平行於該Y及該X方向之兩者延伸。在此方法之一可能改良中;-在該陣列之至少一第一部分中,當平行於該X方向觀看時,該陣列之末端處之雷射光束具有低於該陣列之一中心部分中之雷射光束之強度之一強度。在一進一步可能改良中:-在該陣列之至少一第二部分中,當平行於該Y方向觀看時,該陣列之一末端處之至少一雷射光束具有低於該第二部分中之該雷射光束之平均強度之一強度。
    • 本发明系关于一种使用一激光划线设备辐射划线一实质上平面半导体基板之方法,借此沿着在该基板之一目标表面上之半导体设备之相对列之间延伸之一划线形成一非穿透性凹槽,借此可定义一笛卡尔座标系统XYZ,其中:-该目标表面位于该XY平面中;-该凹槽平行于该Y方向延伸,其之一宽度在该X方向上;在该方法中:-该基板夹钳在一可移动基板固持器上,以便将该目标表面呈现至一激光划线头;-在该基板固持器与该划线头之间实现相对运动,以便使来自该头之激光辐射沿着该划线之一路线平移,其中,当在该XY平面中观看时,该激光划线头产生一二维数组之激光光束点。在一特殊实施例中,该数组中之该等点实质上平行于该Y及该X方向之两者延伸。在此方法之一可能改良中;-在该数组之至少一第一部分中,当平行于该X方向观看时,该数组之末端处之激光光束具有低于该数组之一中心部分中之激光光束之强度之一强度。在一进一步可能改良中:-在该数组之至少一第二部分中,当平行于该Y方向观看时,该数组之一末端处之至少一激光光束具有低于该第二部分中之该激光光束之平均强度之一强度。
    • 68. 发明专利
    • 切割積層強化玻璃基板之方法
    • 切割积层强化玻璃基板之方法
    • TW201425244A
    • 2014-07-01
    • TW102142293
    • 2013-11-20
    • 康寧公司CORNING INCORPORATED
    • 彭高柱PENG, GAOZHU李興華LI, XINGHUA張銳ZHANG, RUI
    • C03B33/02B23K26/38
    • C03B33/076B32B17/06C03B33/07C03B33/093C03B33/0955C03C3/087C03C3/089C03C3/091C03C3/093Y02P40/57Y10T225/12
    • 揭示切割積層強化玻璃基板之方法。揭示一種方法,該方法包括提供積層強化玻璃基板,該積層強化玻璃基板具有:玻璃核心層,該玻璃核心層具有第一表面部分及第二表面部分;及至少一個玻璃包覆層,該玻璃包覆層熔融至玻璃核心層之第一表面部分或第二表面部分。玻璃核心層具核心熱膨脹係數,該核心熱膨脹係數小於覆層熱膨脹係數。該方法進一步包括:在積層強化玻璃基板上形成邊緣缺口,加熱至少一個玻璃包覆層上的積層強化玻璃基板之第一區域及第二區域。第一區域及第二區域分別從所需分割線之第一側及第二側偏移。該方法進一步包括使在邊緣缺口處仿造之裂縫在第一區域與第二區域之間蔓延。
    • 揭示切割积层强化玻璃基板之方法。揭示一种方法,该方法包括提供积层强化玻璃基板,该积层强化玻璃基板具有:玻璃内核层,该玻璃内核层具有第一表面部分及第二表面部分;及至少一个玻璃包覆层,该玻璃包覆层熔融至玻璃内核层之第一表面部分或第二表面部分。玻璃内核层具内核热膨胀系数,该内核热膨胀系数小于覆层热膨胀系数。该方法进一步包括:在积层强化玻璃基板上形成边缘缺口,加热至少一个玻璃包覆层上的积层强化玻璃基板之第一区域及第二区域。第一区域及第二区域分别从所需分割线之第一侧及第二侧偏移。该方法进一步包括使在边缘缺口处仿造之裂缝在第一区域与第二区域之间蔓延。