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2. 发明专利

TWI555063B 激光退火裝置有权
简体标题：激光退火设备
公开(公告)号：TWI555063B
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：TW104121647
申请日：2015-07-03
申请人：上海微電子裝備有限公司
发明人：宋春峰 , 張鵬黎 , 陸海亮
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/324 , H01L21/67
CPC分类号： B23K26/064 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/0608 , B23K26/704 , B23K2201/40 , B23K2203/56 , H01L21/268

3. 发明专利

TW201632950A 極化控制的雷射線投影機审中-公开
简体标题：极化控制的激光线投影机
公开(公告)号：TW201632950A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW105103289
申请日：2016-02-02
申请人：科希倫激光有限兩合公司 , COHERENT LASERSYSTEMS GMBH & CO. KG
发明人：西蒙法蘭克 , SIMON, FRANK , 溫索湯瑪斯 , WENZEL, THOMAS , 史溫格路得韋格 , SCHWENGER, LUDWIG
IPC分类号： G02B27/28 , G02B27/09
CPC分类号： G02B27/285 , B23K26/0604 , B23K26/0608 , B23K26/0648 , B23K26/067 , B23K26/0738 , B23K2203/56 , G02B27/0905 , G02B27/286 , H01L21/02532 , H01L21/02678 , H01L21/02686 , H01L27/1285
摘要：在雷射線投影設備中，藉由薄膜極化器、反射器及兩個極化旋轉器之組合來以低損耗將六個隔開的非極化雷射光束平面極化。在三個極化取向中之每一者中將兩個光束極化。該等極化取向中之兩者在P取向及S取向中彼此正交地對準。另一個極化取向在中間取向中非正交地對準。該等光束經強度均質化且投影成輻射線。該輻射線上之任何點由具有極化取向之角分佈的射線形成，該極化取向經由該中間取向自S至P，且經由該中間取向回到S。
简体摘要：在激光线投影设备中，借由薄膜极化器、反射器及两个极化旋转器之组合来以低损耗将六个隔开的非极化激光光束平面极化。在三个极化取向中之每一者中将两个光束极化。该等极化取向中之两者在P取向及S取向中彼此正交地对准。另一个极化取向在中间取向中非正交地对准。该等光束经强度均质化且投影成辐射线。该辐射在线之任何点由具有极化取向之角分布的射线形成，该极化取向经由该中间取向自S至P，且经由该中间取向回到S。

4. 发明专利

TWI547978B 用於熱處理基材之設備與系統以及用於組合電磁能脈衝之設備有权
简体标题：用于热处理基材之设备与系统以及用于组合电磁能脉冲之设备
公开(公告)号：TWI547978B
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW101120494
申请日：2012-06-07
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：莫非特史帝夫 , MOFFATT, STEPHEN , 霍姆葛倫道格拉斯E , HOLMGREN, DOUGLAS E. , 赫威爾斯山謬C , HOWELLS, SAMUEL C. , 童艾德瑞克 , TONG, EDRIC , 亞當布魯斯E , ADAMS, BRUCE E. , 李吉平 , LI, JIPING , 杭特亞倫穆爾 , HUNTER, AARON MUIR
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/477 , B23K26/0006 , B23K26/0081 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/0608 , B23K26/0622 , B23K26/08 , B23K26/127 , B23K2201/40 , B23K2203/56 , F27B5/14 , H01L21/268 , H01S3/0057

5. 发明专利

TWI543833B 將半導體基板輻射開槽之方法有权
简体标题：将半导体基板辐射开槽之方法
公开(公告)号：TWI543833B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW103102518
申请日：2014-01-23
申请人：先進科技新加坡有限公司 , ASM TECHNOLOGY SINGAPORE PTE. LTD.
发明人：凡德史丹凱瑞爾梅克爾瑞查德 , VAN DER STAM, KAREL MAYKEL RICHARD
IPC分类号： B23K26/38 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/78 , B23K26/0006 , B23K26/0087 , B23K26/0608 , B23K26/0676 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2203/50 , B23K2203/56

6. 发明专利

TWI510318B 用於工件之雷射加工的裝置及使用此裝置之方法有权
简体标题：用于工件之激光加工的设备及使用此设备之方法
公开(公告)号：TWI510318B
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW102101884
申请日：2013-01-18
申请人：羅芬激光技術股份有限公司 , ROFIN-BAASEL LASERTECH GMBH & CO. KG
发明人：蓋格史帝芬 , GEIGER, STEPHAN , 戴格佛雷德華特 , DEEG, FRED-WALTER , 包普班傑明 , BOPP, BENJAMIN , 華根胡伯克勞斯 , WAGENHUBER, KLAUS
IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0608 , B23K26/03

7. 发明专利

TWI494983B 利用具有電漿蝕刻之混合式多步驟雷射劃線製程的晶圓切割有权
简体标题：利用具有等离子蚀刻之混合式多步骤激光划线制程的晶圆切割
公开(公告)号：TWI494983B
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103117342
申请日：2013-04-03
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：雷偉生 , LEI, WEI-SHENG , 伊頓貝德 , EATON, BRAD , 亞拉曼奇里麥德哈瓦饒 , YALAMANCHILI, MADHAVA RAO , 辛沙拉傑特 , SINGH, SARAVJEET , 庫默亞傑 , KUMAR, AJAY
IPC分类号： H01L21/304 , B23K26/06 , B23K26/36
CPC分类号： H01L21/78 , B23K26/0608 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2203/172 , H01L21/3086

8. 发明专利

TWI459458B 利用具有電漿蝕刻之混合式多步驟雷射劃線製程的晶圓切割有权
简体标题：利用具有等离子蚀刻之混合式多步骤激光划线制程的晶圆切割
公开(公告)号：TWI459458B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW102112108
申请日：2013-04-03
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：雷偉生 , LEI, WEI-SHENG , 伊頓貝德 , EATON, BRAD , 亞拉曼奇里麥德哈瓦饒 , YALAMANCHILI, MADHAVA RAO , 辛沙拉傑特 , SINGH, SARAVJEET , 庫默亞傑 , KUMAR, AJAY
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/78 , B23K26/0608 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2203/172 , H01L21/3086

9. 发明专利

TW201341096A 用於工件之雷射加工的裝置审中-公开
简体标题：用于工件之激光加工的设备
公开(公告)号：TW201341096A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW102101884
申请日：2013-01-18
申请人：羅芬激光技術股份有限公司 , ROFIN-BAASEL LASERTECH GMBH & CO. KG
发明人：蓋格史帝芬 , GEIGER, STEPHAN , 戴格佛雷德華特 , DEEG, FRED-WALTER , 包普班傑明 , BOPP, BENJAMIN , 華根胡伯克勞斯 , WAGENHUBER, KLAUS
IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0608 , B23K26/03
摘要：一種用於工件(14)之雷射加工的裝置，具有一個能夠產生彼此夾一角度(α)的第一雷射束(L1)及第二雷射束(L2)的裝置(6)，以及一個將雷射束(L1、L2)導引及聚焦到工件上方及/或工件上的偏轉及聚焦單元(10)，其中雷射束(L1、L2)在彼此垂直的方向上被線性偏振。
简体摘要：一种用于工件(14)之激光加工的设备，具有一个能够产生彼此夹一角度(α)的第一激光束(L1)及第二激光束(L2)的设备(6)，以及一个将激光束(L1、L2)导引及聚焦到工件上方及/或工件上的偏转及聚焦单元(10)，其中激光束(L1、L2)在彼此垂直的方向上被线性偏振。

10. 发明专利

TW201328810A 玻璃板之切斷方法、及玻璃板之切斷裝置审中-公开
简体标题：玻璃板之切断方法、及玻璃板之切断设备
公开(公告)号：TW201328810A
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：TW101141791
申请日：2012-11-09
申请人：旭硝子股份有限公司 , ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED
发明人：齋藤勳 , SAITO, ISAO
IPC分类号： B23K26/36
CPC分类号： B23K26/0608 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2203/50 , C03B33/04 , C03B33/091
摘要：本發明係提供一種玻璃板切斷方法，係可減少切斷時產生之切屑或玻璃熔融粉的產生且獲得傾斜的切斷面。該玻璃板切斷方法係在玻璃板表面上使照射第1加熱光之第1區域以及照射第2加熱光之第2區域移動，並利用熱應力將玻璃板切斷，其特徵在於：使前述第1區域與前述第2區域一起沿著表面之切斷預定線的至少一部分移動時，前述第1區域中與移動方向(箭頭方向)正交之方向上的寬度，比與先行於前述第1區域之前述第2區域中與移動方向正交之方向上的寬度窄；第1加熱光具有250~5000nm之波長，並在前述第1區域之移動方向視角下傾斜地入射於前述表面。
简体摘要：本发明系提供一种玻璃板切断方法，系可减少切断时产生之切屑或玻璃熔融粉的产生且获得倾斜的切断面。该玻璃板切断方法系在玻璃板表面上使照射第1加热光之第1区域以及照射第2加热光之第2区域移动，并利用热应力将玻璃板切断，其特征在于：使前述第1区域与前述第2区域一起沿着表面之切断预定线的至少一部分移动时，前述第1区域中与移动方向(箭头方向)正交之方向上的宽度，比与先行于前述第1区域之前述第2区域中与移动方向正交之方向上的宽度窄；第1加热光具有250~5000nm之波长，并在前述第1区域之移动方向视角下倾斜地入射于前述表面。

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