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1. 发明专利

TWI652866B 光源裝置以及光照射方法有权
简体标题：光源设备以及光照射方法
公开(公告)号：TWI652866B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：TW104108975
申请日：2015-03-20
申请人：東芝照明技術股份有限公司 , TOSHIBA LIGHTING & TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：日野弘喜 , HINO, KOKI , 藤岡純 , FUJIOKA, ATSUSHI , 加藤剛雄 , KATO, TAKEO , 前田祥平 , MAEDA, SYOHEI
IPC分类号： H01S3/09 , G02B27/28 , G02B27/09 , H01S3/04 , H01S3/00

2. 发明专利

TWI639850B 光瞳組合反射鏡、照明光學單元、照明系統、投射曝光設備、用於產生一微結構或奈米結構元件之方法以及微結構或奈米結構元件有权
简体标题：光瞳组合反射镜、照明光学单元、照明系统、投射曝光设备、用于产生一微结构或奈米结构组件之方法以及微结构或奈米结构组件
公开(公告)号：TWI639850B
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW102117653
申请日：2013-05-17
申请人：德商卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：貝林史汀 , BIELING, STIG , 狄君特馬庫斯 , 威格勒喬漢尼斯 , WANGLER, JOHANNES
IPC分类号： G02B17/00 , G02B19/00 , G02B27/09 , G02B27/14 , G03F7/20

3. 发明专利

TWI622782B 藉繞射光學元件產生雷射圖案之路徑偵測系統及其方法有权
简体标题：藉绕射光学组件产生激光图案之路径侦测系统及其方法
公开(公告)号：TWI622782B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW105141827
申请日：2016-12-16
申请人：異奇科技股份有限公司
发明人：胡迪生
IPC分类号： G01S17/93 , G02B27/09 , G02B5/18

4. 发明专利

TWI620958B 雷射處理裝置中用於減少光斑的設備與方法有权
简体标题：激光处理设备中用于减少光斑的设备与方法
公开(公告)号：TWI620958B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW105126122
申请日：2012-09-26
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：莫非特史帝夫 , MOFFATT, STEPHEN
IPC分类号： G02B27/09 , G02B27/48
CPC分类号： G02B27/48 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0626 , B23K26/0648 , F21V5/002 , F21V5/004 , F21V5/007 , G02B3/0056 , G02B5/021 , G02B5/0278 , G02B5/04 , G02B27/10 , H01L21/67115 , H01S3/0057

5. 发明专利

TWI618948B 具有分光擴散結構之雙側薄膜有权
简体标题：具有分光扩散结构之双侧薄膜
公开(公告)号：TWI618948B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW103110921
申请日：2014-03-24
申请人： 3M新設資產公司 , 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
发明人：強森尼可拉斯艾倫 , JOHNSON, NICHOLAS ALLEN , 拉特斯麥可艾德華 , LAUTERS, MICHAEL EDWARD , 西可拉麥克喬瑟夫 , SYKORA, MICHAEL JOSEPH , 惠特力約翰艾倫 , WHEATLEY, JOHN ALLEN
IPC分类号： G02B27/09 , G02F1/1335 , G02F1/13357
CPC分类号： G02B6/0053 , F21V5/02 , G02B3/005 , G02B3/0068 , G02B5/021 , G02B5/0278 , G02B5/045

6. 发明专利

TWI612395B 曝光裝置及方法有权
简体标题：曝光设备及方法
公开(公告)号：TWI612395B
公开(公告)日：2018-01-21
申请号：TW105122378
申请日：2016-07-15
申请人：上海微電子裝備(集團)股份有限公司
发明人：謝仁飆 , XIE, RENBIAO , 楊志勇 , YANG, ZHIYONG , 白昂力 , BAI, ANGLI , 王健 , WANG, JIAN
IPC分类号： G03F7/20 , G02B27/09
CPC分类号： G03F7/2008 , G02B27/09 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/67069 , H01L21/682 , H01L33/00

7. 发明专利

TWI588621B 照明光學裝置、曝光設備以及製造物品的方法有权
简体标题：照明光学设备、曝光设备以及制造物品的方法
公开(公告)号：TWI588621B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW104127332
申请日：2015-08-21
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：須田広美 , SUDA, HIROMI
IPC分类号： G03F7/20 , G02B27/09 , G02B19/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70075

8. 发明专利

TW201716829A 光束成形模組及用於該光束成形模組的控制系統审中-公开
简体标题：光束成形模块及用于该光束成形模块的控制系统
公开(公告)号：TW201716829A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW106103140
申请日：2013-06-27
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD.
发明人：克利薛爾賓亞 , KIRSHNER,BINYAMIN , 艾達爾漢姆 , EDER,HAIM
IPC分类号： G02B27/09
CPC分类号： G02B27/0927 , G01J1/4257 , G02B7/003 , G02B27/0025 , G06T7/001 , G06T7/32
摘要：一種光束成形系統，該系統包括：第一光學模組及第二光學模組，該等光學模組以距離隔開的關係安置在光通過系統之光學路徑中以對入射在該等光學模組上之光順序地應用光束成形。光束成形系統包括第一對準模組及第二對準模組，該等對準模組分別攜帶第一光學模組及第二光學模組且可操作用於相對於光學路徑側向定位光學模組。光束成形系統之校正模組可連接至第一對準模組及第二對準模組且可操作以順序地校正且對準第一光學模組及第二光學模組相對於光學路徑之各個側向位置。因此，系統使得給定預定波前及側向強度分佈之入射光束之成形成為可能，以形成具有期望波前及期望側向強度分佈之輸出光束。
简体摘要：一种光束成形系统，该系统包括：第一光学模块及第二光学模块，该等光学模块以距离隔开的关系安置在光通过系统之光学路径中以对入射在该等光学模块上之光顺序地应用光束成形。光束成形系统包括第一对准模块及第二对准模块，该等对准模块分别携带第一光学模块及第二光学模块且可操作用于相对于光学路径侧向定位光学模块。光束成形系统之校正模块可连接至第一对准模块及第二对准模块且可操作以顺序地校正且对准第一光学模块及第二光学模块相对于光学路径之各个侧向位置。因此，系统使得给定预定波前及侧向强度分布之入射光束之成形成为可能，以形成具有期望波前及期望侧向强度分布之输出光束。

9. 发明专利

TW201710727A 包含光學基體之多孔徑成像裝置审中-公开
简体标题：包含光学基体之多孔径成像设备
公开(公告)号：TW201710727A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：TW105126363
申请日：2016-08-18
申请人：弗勞恩霍夫爾協會 , FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人：懷柏曼法蘭克 , WIPPERMANN, FRANK , 布魯克納安德列斯 , BRUECKNER, ANDREAS , 布勞爾安德列斯 , BRAEUER, ANDREAS , 奧伯多斯特亞歷山大 , OBERDOERSTER, ALEXANDER
IPC分类号： G02B7/02 , G02B27/64 , G02B27/22 , G02B27/09 , G02B26/08 , G03B5/00
CPC分类号： H04N5/23287 , G02B1/041 , G02B7/021 , G02B13/001 , G02B13/0065 , G02B17/002 , G02B26/0816 , G02B27/1066 , G02B27/646 , H04N5/2254 , H04N5/2258 , H04N5/2259
摘要：為了達成具有鄰近地配置之光學通道之一單列陣列的一多孔徑成像裝置之一相對較小安設高度，該等光學通道之光學件之透鏡由一或多個透鏡固持器附接至一基體之一主側且經由該基體以機械方式連接，該基體經定位以使得該多個光學通道之光徑穿過該基體。
简体摘要：为了达成具有邻近地配置之光学信道之一单列数组的一多孔径成像设备之一相对较小安设高度，该等光学信道之光学件之透镜由一或多个透镜固持器附接至一基体之一主侧且经由该基体以机械方式连接，该基体经定位以使得该多个光学信道之光径穿过该基体。

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