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    • 51. 发明专利
    • 具有多個用以儲存電荷之電荷儲存層的帶隙工程記憶體
    • 具有多个用以存储电荷之电荷存储层的带隙工程内存
    • TW201601258A
    • 2016-01-01
    • TW103132477
    • 2014-09-19
    • 旺宏電子股份有限公司MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD.
    • 呂函庭LUE, HANG-TING
    • H01L21/8247H01L27/115
    • H01L27/11563G11C16/10H01L27/1157H01L27/11582H01L29/4234H01L29/512H01L29/66833H01L29/792
    • 一種記憶體,包括一閘極、一通道材料、以及一介電堆疊。通道材料具有一通道表面以及一通道價帶邊緣。介電堆疊係位於閘極與通道表面之間。介電堆疊包括一多層穿隧結構、一第一電荷儲存氮化物層、一第一阻擋介電層、一第二電荷儲存氮化物層、以及一第二阻擋氧化物層。多層穿隧結構係位於通道表面上。第一電荷儲存氮化物層係位於該多層穿隧結構上。第一阻擋氧化物層係位於第一電荷儲存氮化物層上。第二電荷儲存氮化物層係位於該第一阻擋介電層上。第二阻擋氧化物層係位於第二電荷儲存氮化物層上。多層穿隧結構包括一第一穿隧氧化物層、一第一穿隧氮化物層、與一第二穿隧氧化物層。第一穿隧氮化物層係位於第一穿隧氧化物層上。第二穿隧氧化物層係位於第一穿隧氮化物層上。
    • 一种内存,包括一闸极、一信道材料、以及一介电堆栈。信道材料具有一信道表面以及一信道价带边缘。介电堆栈系位于闸极与信道表面之间。介电堆栈包括一多层穿隧结构、一第一电荷存储氮化物层、一第一阻挡介电层、一第二电荷存储氮化物层、以及一第二阻挡氧化物层。多层穿隧结构系位于信道表面上。第一电荷存储氮化物层系位于该多层穿隧结构上。第一阻挡氧化物层系位于第一电荷存储氮化物层上。第二电荷存储氮化物层系位于该第一阻挡介电层上。第二阻挡氧化物层系位于第二电荷存储氮化物层上。多层穿隧结构包括一第一穿隧氧化物层、一第一穿隧氮化物层、与一第二穿隧氧化物层。第一穿隧氮化物层系位于第一穿隧氧化物层上。第二穿隧氧化物层系位于第一穿隧氮化物层上。