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    • 48. 发明专利
    • 基板處理裝置及基板處理方法
    • 基板处理设备及基板处理方法
    • TW201720737A
    • 2017-06-16
    • TW105122451
    • 2016-07-15
    • 思可林集團股份有限公司SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
    • 池田文彥IKEDA, FUMIHIKO
    • B65G49/06H01L21/677B65G49/07B05D3/00B05C13/00
    • 本發明於一面自使基板上浮之上浮載台搬送基板一面對搬送中之基板實施處理之基板處理裝置中,藉由使基板之排列處理及基板向上浮載台之移載處理適切化而縮短基板處理裝置之工作時間。 本發明之基板處理裝置具備:上浮載台,其使基板上浮;搬送機構,其自上浮載台接收基板並搬送;處理機構,其對由搬送機構搬送之基板實施處理;及移載機構,其將基板移載至上浮載台;且移載機構具備:接納上浮部,其使搬送而來之基板上浮並予以接納;排列部,其使藉由接納上浮部而上浮之基板排列;保持部,其保持藉由排列部而排列之基板;及驅動部,其使保持部移動至上浮載台。
    • 本发明于一面自使基板上浮之上浮载台搬送基板一面对搬送中之基板实施处理之基板处理设备中,借由使基板之排列处理及基板向上浮载台之移载处理适切化而缩短基板处理设备之工作时间。 本发明之基板处理设备具备:上浮载台,其使基板上浮;搬送机构,其自上浮载台接收基板并搬送;处理机构,其对由搬送机构搬送之基板实施处理;及移载机构,其将基板移载至上浮载台;且移载机构具备:接纳上浮部,其使搬送而来之基板上浮并予以接纳;排列部,其使借由接纳上浮部而上浮之基板排列;保持部,其保持借由排列部而排列之基板;及驱动部,其使保持部移动至上浮载台。
    • 49. 发明专利
    • 作業裝置
    • 作业设备
    • TW201622833A
    • 2016-07-01
    • TW105102056
    • 2010-08-31
    • 武藏工業股份有限公司MUSASHI ENGINEERING, INC.
    • 生島和正IKUSHIMA, KAZUMASA
    • B05C13/00B23Q7/16
    • B23Q7/00B23P19/00B23Q7/14
    • 本發明提供一種作業裝置,係可作為具有工件搬送機構的全自動型作業用裝置使用,亦可作為依手動進行工件裝卸的半自動型裝置(桌上型機器人)使用,而可有彈性地因應生產量。 本發明的作業裝置,係具備有配設有用以搬送工件之搬送單元之台架;與可裝卸自如地配設於台架之桌上型作業裝置單元的全自動型作業裝置者;其特徵在於:該桌上型作業裝置單元係具備有:用以保持工件的工件保持部、作業頭、以及使工件保持部與作業頭進行相對移動之相對移動機構;且,可單獨地對由工件保持部所保持的工件進行預定作業,以及工件保持部係具有:與搬送單元連接的搬送位置、及離開搬送單元並對工件施行所需作業的作業位置。
    • 本发明提供一种作业设备,系可作为具有工件搬送机构的全自动型作业用设备使用,亦可作为依手动进行工件装卸的半自动型设备(桌面型机器人)使用,而可有弹性地因应生产量。 本发明的作业设备,系具备有配设有用以搬送工件之搬送单元之台架;与可装卸自如地配设于台架之桌面型作业设备单元的全自动型作业设备者;其特征在于:该桌面型作业设备单元系具备有:用以保持工件的工件保持部、作业头、以及使工件保持部与作业头进行相对移动之相对移动机构;且,可单独地对由工件保持部所保持的工件进行预定作业,以及工件保持部系具有:与搬送单元连接的搬送位置、及离开搬送单元并对工件施行所需作业的作业位置。