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11. 发明专利

TW201810741A 包含磁電轉換器之發電機及相關製造方法审中-公开
简体标题：包含磁电转换器之发电机及相关制造方法
公开(公告)号：TW201810741A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106112745
申请日：2017-04-17
申请人：安能比公司 , ENERBEE
发明人：德拉馬爾杰羅姆 , DELAMARE, JEROME , 里卡爾提博 , RICART, THIBAULT , 吉倫傑瑞米 , GUILLEN, JEREMIE
IPC分类号： H01L41/06 , H01L41/47
CPC分类号： H01L41/00 , H01L41/113 , H01L41/12 , H01L41/16 , H01L41/47 , H02N2/18
摘要：本發明涉及一發電裝置，其包括：一轉換器(200)，其設有兩個電端子，能夠將一磁場(B)之變化轉換成該兩個電端子間之電位差，該轉換器包含一第一層及一第二層之一堆疊，該第一層由定義出一參考平面之一各向異性磁致伸縮材料製成，且該第二層由一壓電材料製成；該第一層在該參考平面中具有至少一形變主軸(4,5)，且該第二層在平行於該參考平面而由該第二層所定義之平面中具有一極化軸；且該第一層之形變主軸(4,5)與該第二層之極化軸對齊在15°以內。在該參考平面中產生所述磁場(B)之一來源(300)，所述磁場(B)之強度不足以使該第一層之材料磁性飽和。該磁場源(300)及該轉換器(200)可相對於彼此旋轉，使得所述磁場(B)之定向在該參考平面中有所變化。
简体摘要：本发明涉及一发电设备，其包括：一转换器(200)，其设有两个电端子，能够将一磁场(B)之变化转换成该两个电端子间之电位差，该转换器包含一第一层及一第二层之一堆栈，该第一层由定义出一参考平面之一各向异性磁致伸缩材料制成，且该第二层由一压电材料制成；该第一层在该参考平面中具有至少一形变主轴(4,5)，且该第二层在平行于该参考平面而由该第二层所定义之平面中具有一极化轴；且该第一层之形变主轴(4,5)与该第二层之极化轴对齐在15°以内。在该参考平面中产生所述磁场(B)之一来源(300)，所述磁场(B)之强度不足以使该第一层之材料磁性饱和。该磁场源(300)及该转换器(200)可相对于彼此旋转，使得所述磁场(B)之定向在该参考平面中有所变化。

12. 发明专利

TWI612654B 壓力陣列感測模組及其製造方法及應用其之監測系統及方法有权
简体标题：压力数组传感模块及其制造方法及应用其之监测系统及方法
公开(公告)号：TWI612654B
公开(公告)日：2018-01-21
申请号：TW104122718
申请日：2015-07-14
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：蘇瑞堯 , SU, JUI YIAO , 劉彥辰 , LIU, YAN CHEN , 陳昌毅 , CHEN, CHANG YI , 陳慶順 , CHEN, CHING SHUN , 柯文清 , KO, WEN CHING
IPC分类号： H01L27/20 , H01L41/47
CPC分类号： G01L1/205 , A61B5/1036 , A61B5/6807 , A61B5/6892 , A61B2562/0247 , A61B2562/046

13. 发明专利

TW201709573A 乾電漿蝕刻方法以使磁性隨機存取記憶體堆疊圖案化审中-公开
简体标题：干电浆蚀刻方法以使磁性随机存取内存堆栈图案化
公开(公告)号：TW201709573A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105111956
申请日：2016-04-18
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：陳暹華 , TAN, SAMANTHA , 金台昇 , KIM, TAESEUNG , 楊文兵 , YANG, WENBING , 馬克思傑弗瑞 , MARKS, JEFFREY , 立爾托爾斯滕 , LILL, THORSTEN
IPC分类号： H01L41/47 , H01L27/22
CPC分类号： H01L41/47 , C23F1/12 , C23F4/00 , H01J37/32082 , H01J37/32422 , H01J37/32651 , H01L27/222 , H01L43/12
摘要：提供蝕刻金屬的方法，其係藉由沉積與待蝕刻之金屬及鹵素反應的材料以形成揮發性物種，及將基板曝露於含鹵素的氣體及活化氣體以蝕刻基板。沉積的材料可包含矽、鍺、鈦、碳、錫、及其組合。方法係適合用於製造MRAM結構且可包含整合的ALD及ALE製程而不破壞真空。
简体摘要：提供蚀刻金属的方法，其系借由沉积与待蚀刻之金属及卤素反应的材料以形成挥发性物种，及将基板曝露于含卤素的气体及活化气体以蚀刻基板。沉积的材料可包含硅、锗、钛、碳、锡、及其组合。方法系适合用于制造MRAM结构且可包含集成的ALD及ALE制程而不破坏真空。

14. 发明专利

TWI501435B 壓電複合材料的製程及壓電發電裝置有权
简体标题：压电复合材料的制程及压电发电设备
公开(公告)号：TWI501435B
公开(公告)日：2015-09-21
申请号：TW101102274
申请日：2012-01-19
申请人：鋇泰電子陶瓷股份有限公司 , BETACERA INC.
发明人：莊武松 , CHUANG, WU SUNG , 魏志漳 , WEI, CHIH CHANG , 謝慧霖 , HSIEH, HUEY LIN , 余承聖 , YU, CHENG SHENG
IPC分类号： H01L41/47 , H01L41/187 , H02N2/18

15. 发明专利

TW201503434A 壓電器件及壓電器件的製造方法审中-公开
简体标题：压电器件及压电器件的制造方法
公开(公告)号：TW201503434A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103123548
申请日：2014-07-09
申请人：日本電波工業股份有限公司 , NIHON DEMPA KOGYO CO., LTD.
发明人：上條敦 , KAMIJO, ATSUSHI
IPC分类号： H01L41/08 , H01L41/47 , H03H9/10
CPC分类号： H03H9/1021 , H03H2003/022 , H03H2003/0428 , Y10T29/42
摘要：本發明提供一種抑制壓電振動片的諧振頻率變動，製造良率高的壓電器件及其製造方法。該壓電器件包括：壓電振動片(140)，形成著振盪電極(141a)；基底(130)，保持壓電振動片(140)；第一蓋板(120)，在將壓電振動片(140)收容於空腔(150)的狀態下接合於基底(130)，且包含將空腔(150)開口的開口部(122)；及第二蓋板(110)，以將開口部(122)阻塞的方式接合於第一蓋板(120)的表面側；開口部(122)是形成於俯視下包含壓電振動片(140)的除振盪電極(141a)以外的區域(S1)、或除壓電振動片(140)以外的區域(S2)且重疊的位置。
简体摘要：本发明提供一种抑制压电振动片的谐振频率变动，制造良率高的压电器件及其制造方法。该压电器件包括：压电振动片(140)，形成着振荡电极(141a)；基底(130)，保持压电振动片(140)；第一盖板(120)，在将压电振动片(140)收容于空腔(150)的状态下接合于基底(130)，且包含将空腔(150)开口的开口部(122)；及第二盖板(110)，以将开口部(122)阻塞的方式接合于第一盖板(120)的表面侧；开口部(122)是形成于俯视下包含压电振动片(140)的除振荡电极(141a)以外的区域(S1)、或除压电振动片(140)以外的区域(S2)且重叠的位置。

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