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1. 发明公开

KR1020220108726A 이온주입방법 및 이온주입장치 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220108726A
公开(公告)日：2022-08-03
申请号：KR1020220007569
申请日：2022-01-19
IPC分类号： H01J37/317 , H05H9/00 , H01J37/12 , H01L21/265
摘要： 빔에너지의조정을신속화한다. 이온주입방법은, 고에너지다단선형가속유닛으로부터출력되는이온빔(IB)의빔에너지를제1 출력값으로하기위한제1 데이터세트에근거하여, 빔에너지를제2 출력값으로하기위한제2 데이터세트를결정하는것을구비한다. 고에너지다단선형가속유닛은, 복수단의고주파가속부(101 내지 115)를갖는다. 상기복수단의각각의고주파가속부(101 내지 115)의가속위상은, 복수단의고주파가속부(101 내지 115) 전부에있어서, 제1 데이터세트와제2 데이터세트의사이에서동일하다. 상기복수단 중적어도 1단에있어서의고주파가속부(101 내지 115)의전압진폭은, 제1 데이터세트와제2 데이터세트의사이에서상이하다.

2. 发明授权

KR102375499B1 멀티 전자 빔 검사 장치 有权
公开(公告)号：KR102375499B1
公开(公告)日：2022-03-17
申请号：KR1020190154483
申请日：2019-11-27
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/12 , H01J37/141
摘要： 실시형태의멀티전자빔 검사장치는, 기판에멀티전자빔을조사하는조사원과, 기판을재치하는스테이지와, 조사원과스테이지의사이에설치되어, 멀티전자빔이통과가능한렌즈자기장을발생하는전자기렌즈와, 렌즈자기장중에설치되어, 멀티전자빔의각각이통과가능한복수의관통홀과, 복수의관통홀의벽면에각각설치된복수의전극을가지고, 멀티전자빔의궤도중심축으로부터이간하여설치된관통홀의배치는나선형상을가지는정전렌즈와, 복수의전극에접속된전원을구비한다.

3. 发明授权

KR102368876B1 멀티-전극 전자 광학 有权
公开(公告)号：KR102368876B1
公开(公告)日：2022-03-03
申请号：KR1020167015702
申请日：2014-11-14
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/30 , H01J37/317 , G21K1/02 , G21K5/04
摘要： 본발명은콜리메이터전극스택(70)에관한것으로, 이콜리메이터전극스택(70)은, 광학축(A)을따라하전입자빔을콜리메이팅하기위한적어도 3개의콜리메이터전극들(71-80) ―각각의콜리메이터전극은, 하전입자빔에대한통과를허용하기위한전극어퍼처를갖는전극바디를포함하며, 전극바디들은광학축과실질적으로평행한축 방향(Z)을따라이격되며, 전극어퍼처들은광학축을따라동축으로정렬됨―; 축방향을따라미리결정된거리들에콜리메이터전극들을포지셔닝시키기위해, 각각의쌍의인접한콜리메이터전극들사이에제공되며전기적으로절연성인물질로만들어진복수의스페이싱구조물들(89)을포함한다. 콜리메이터전극들(71-80) 각각은개별전압출력(151-160)에전기적으로연결된다. 본발명은추가로, 하전입자빔 생성기를동작시키는방법에관한것이다.

4. 发明授权

KR102139654B1 고 및 저 빔 전류 둘 다에 의한 고분해능 이미징을 위한 듀얼 렌즈 총 전자 빔 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102139654B1
公开(公告)日：2020-07-30
申请号：KR1020157009422
申请日：2013-09-13
申请人： 케이엘에이 코포레이션
发明人： 지앙신롱 , 한리췬
IPC分类号： H01J37/063 , H01J37/12 , H01J37/14 , H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/28 , H01J3/08 , H01J3/02

5. 发明授权

KR102122474B1 전극 냉각 어레인지먼트 有权
公开(公告)号：KR102122474B1
公开(公告)日：2020-06-15
申请号：KR1020177008485
申请日：2014-11-14
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 어바누스,윌리엄헨크 , 위랜드,마르코잔-자코
IPC分类号： H01J37/317 , G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/02 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/30

6. 发明授权

KR101967238B1 이온 주입기내 ＳｉＣ 코팅 有权
公开(公告)号：KR101967238B1
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：KR1020167010646
申请日：2014-09-24
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 마손,로버트제이. , 파텔,샤르둘 , 베텐코우트,로버트에이치. , 밀러,티모씨제이.
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/12 , H01J37/08

7. 发明授权

KR101815850B1 모노크로미터 및 이를 구비한 하전입자선 장치 有权
标题翻译：单色器和充电器充电器
公开(公告)号：KR101815850B1
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：KR1020160034683
申请日：2016-03-23
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 오가와타카시 , 김주황 , 박인용
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/12 , H01J49/44 , G01N23/225 , H01J37/21
CPC分类号： H01J37/3007 , H01J29/62 , H01J29/70 , H01J31/24 , H01J37/05 , H01J37/3005 , H01J37/3053 , H01J2237/03 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/103 , H01J2237/12 , H01J2237/2802
摘要： 본발명은하전입자선의진로를편향시키는원통형정전렌즈를대칭으로배열하고그 사이에에너지선택조리개(aperture)를배치하여중심에너지범위의하전입자선을선택하는것이가능한하전입자선장치에관한것으로, 모노크로미터중앙전극및 상기중앙전극을중심으로전방부와후방부에배열되는복수개의전극이절연을통해서로고정되는일체화구조를취하기때문에, 전방부와후방부에각각의렌즈를별도로마련하는경우에비해광축에대해오프셋을조정하는기구가간소해지는장점을가지며, 광학계의대칭성에의해출사면에서이차수차가상쇄된다.
摘要翻译：涉及能够布置的圆柱形静电透镜用于偏转发明当然银河的该带电粒子射线装置的带电粒子线对称和设置在所述选择的带电粒子束之间的能量选择孔（开口）中的能量范围内，单声道的中心因为色度米中心电极，并采取集成结构，其被固定到所述多个经由绝缘，其被布置在所述前部和相对于所述中心电极的背面部电极，在提供的情况下，各透镜分开的前部和后部用于调节相对于光轴的偏移的机构被简化，并且二阶差被发射表面上的光学系统的对称性抵消。

8. 发明公开

KR1020170113491A 모노크로미터 및 이를 구비한 전자선 손실분광 장치 无效
标题翻译：包括它的单色器和电子束损耗光谱仪
公开(公告)号：KR1020170113491A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020170076420
申请日：2017-06-16
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 오가와타카시 , 김주황 , 박인용
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/12 , H01J49/44 , G01N23/225 , H01J37/21
摘要： 본발명은하전입자선의진로를편향시키는원통형정전렌즈를대칭으로배열하고그 사이에에너지선택조리개(aperture)를배치하여중심에너지범위의하전입자선을선택하는것이가능한하전입자선장치에관한것으로, 모노크로미터중앙전극및 상기중앙전극을중심으로전방부와후방부에배열되는복수개의전극이절연을통해서로고정되는일체화구조를취하기때문에, 전방부와후방부에각각의렌즈를별도로마련하는경우에비해광축에대해오프셋을조정하는기구가간소해지는장점을가지며, 광학계의대칭성에의해출사면에서이차수차가상쇄된다.
摘要翻译：涉及能够布置的圆柱形静电透镜用于偏转发明当然银河的该带电粒子射线装置的带电粒子线对称和设置在所述选择的带电粒子束之间的能量选择孔（开口）中的能量范围内，单声道的中心因为色度米中心电极，并采取集成结构，其被固定到所述多个经由绝缘，其被布置在所述前部和相对于所述中心电极的背面部电极，在提供的情况下，各透镜分开的前部和后部用于调节相对于光轴的偏移的机构被简化，并且二阶差被发射表面上的光学系统的对称性抵消。

9. 发明公开

KR1020170101884A 이온 주입을 위해 결합된 정전 렌즈 시스템 审中-实审
标题翻译：静电透镜组合用于离子注入
公开(公告)号：KR1020170101884A
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：KR1020177009574
申请日：2015-12-28
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 아이즈너,에드워드,씨 , 밴더버그,보
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/30 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/05 , H01J37/1472 , H01J37/20 , H01J37/30 , H01J37/3171 , H01J2237/31705
摘要： 저에너지로이온을공작물에주입하기위한시스템및 방법이제공된다. 이온빔을생성하도록형성된이온소스가제공되며, 질량분석자석은이온빔을질량분석하도록형성된다. 상기이온빔은리본빔또는스캔된스폿이온빔일수 있다. 질량분석자석의하류에위치한질량분석조리개는상기이온빔으로부터원하지않는종을여과한다. 결합정전렌즈시스템은질량분석기의하류에위치되며, 상기이온빔의경로는편향되고, 오염물은일반적으로이온빔으로부터필터링되어상기이온빔을동시에감속및 평행하게한다. 공작물스캐닝시스템은결합정전렌즈시스템의하류에위치되며, 상기이온빔을통해하나이상의방향으로공작물을선택적으로병진시키고이온을공작물에주입한다.
摘要翻译：提供了一种用于以低能量将离子注入工件的系统和方法。配置成产生离子束的离子源被提供，并且质量分析磁体被配置为对离子束进行质谱分析。离子束可以是带状束或扫描点式离子束。质谱仪位于质量分析磁体的下游，用于过滤来自离子束的不需要的物质。耦合静电透镜系统位于质量分析仪的下游，离子束的路径偏转，并且通常从离子束中过滤污染物以同时减速和平行离子束。工件扫描系统位于组合静电透镜系统的下游，并通过离子束在一个或多个方向上选择性地平移工件并将离子注入工件。

10. 发明公开

KR1020160064147A 이온 주입기내 ＳｉＣ 코팅 审中-实审
标题翻译： SIC涂料在离子植绒
公开(公告)号：KR1020160064147A
公开(公告)日：2016-06-07
申请号：KR1020167010646
申请日：2014-09-24
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 마손,로버트제이. , 파텔,샤르둘 , 베텐코우트,로버트에이치. , 밀러,티모씨제이.
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/12 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/08 , H01J37/12 , H01J37/3171 , H01J2237/022 , H01J2237/061 , H01J2237/083
摘要： 이온주입기는이온들에노출되는하나이상의전도성표면들상에저 저항률실리콘카바이드의코팅을갖는다. 예를들어, 이온들이이온소스챔버내에서생성되고, 벽들의내부표면들은저 저항률실리콘카바이드로코팅된다. 실리콘카바이드는경질이고스퍼터링에내성이있기때문에, 이것은이온소스챔버로부터추출되는이온빔으로도입되는오염물질이온들의양을줄일수 있다. 일부실시예들에서, 추출전극들이이들컴포넌트들에의해도입된오염물질이온들을줄이기위해실리콘카바이드로또한코팅된다.

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