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1. 发明授权

KR101310782B1 레이저 빔 스캔 장치의 자동 초점 조절 시스템 有权
标题翻译：激光束扫描仪自动聚焦系统
公开(公告)号：KR101310782B1
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020120045123
申请日：2012-04-30
申请人： (주)하드램
发明人： 민성욱 , 송치영
IPC分类号： G03F9/02 , G03F7/20 , H01L21/027 , G02B27/16
CPC分类号： G03F7/70025 , B23K26/046 , G02B27/16 , G03F7/70641 , H01L21/0274
摘要： PURPOSE: An auto focusing system of a laser beam scanner is provided to maintain the uniform focus height on the total field, and to improve the quality of laser processing. CONSTITUTION: An auto focusing system of a laser beam scanner comprises: a laser light source unit (100) outputting laser light; a focus control unit (200) focusing the laser light outputted from the laser light source unit, from the rear side of the laser light source unit; a scanner unit (300) reflecting the laser light into a pattern form by controlling the vertical and horizontal displacements of the laser light, from the rear side of the focus control unit; an optical path sensing unit (500) sensing the path of the laser light outputted from the scanner unit, and transferring the detected result to a control unit; an optical unit (400) emitting the laser light outputted from the scanner unit to a substrate by being installed in between the scanner unit and the substrate; and a focus varying lens unit controlling the movement of the focus control unit based on the optical path information, controlling the focus distance of the laser light from the focus control unit, and performing the focus controlling by the curvature change of a lens.
摘要翻译：目的：提供激光束扫描仪的自动聚焦系统，以保持总场均匀的聚焦高度，并提高激光加工的质量。构成：激光束扫描器的自动聚焦系统包括：激光源单元（100），输出激光; 聚焦控制单元，从激光光源单元的后侧聚焦从激光光源单元输出的激光; 通过从聚焦控制单元的后侧控制激光的垂直和水平位移来将激光反射成图案形式的扫描器单元（300）; 光路检测单元（500），感测从扫描器单元输出的激光的路径，并将检测结果传送到控制单元; 光学单元（400），其通过安装在所述扫描仪单元和所述基板之间而将从所述扫描单元输出的激光发射到基板; 以及焦点变化透镜单元，其基于光路信息控制聚焦控制单元的移动，控制来自聚焦控制单元的激光的聚焦距离，以及通过透镜的曲率变化进行聚焦控制。

2. 实用新型

KR2020080004822U 자동초점 렌즈 모듈 失效
标题翻译：自动对焦镜头模块
公开(公告)号：KR2020080004822U
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：KR2020070006411
申请日：2007-04-18
申请人： 이-핀 인터내셔널 테크 컴퍼니 리미티드
发明人： 산-워웨이시유 , 시-차오후앙 , 시엔-루추
IPC分类号： G03B13/36 , G03B13/34 , G02B27/16
CPC分类号： G03B13/36 , G02B7/08 , G03B3/10 , G03B17/02 , H04N5/2251 , H04N5/2257
摘要： 자동포커싱용 렌즈를 구동하는데 구동력으로서 스프링력 및 전자기력을 사용하는 자동촛점 렌즈 모듈은 직사각형 베이스, 2개의 구리판, 절연스페이서, 4개의 자석, 렌즈홀더, 렌즈, 코일스프링, 코일 및 직사각형 윗면덮개에 의해 형성된다.렌즈홀더, 렌즈 및 코일은 동기적으로 움직이는 렌즈 세트를 형성한다. 코일스프링은 렌즈 및 코일 사이에 끼워지며 렌즈홀더의 원형슬롯 및 윗면덮개 사이를 탄성적으로 지지하며, 4개의 자석은 직사각형 베이스의 4개의 코너상에서 대칭 및 동간격으로 코일외측에 각각 위치되어서 렌즈 모듈의 구조 및 부피는 단순화되고 최소화된다. 또한, 코일 및 자석 간의 거리는 짧아져서 이들 사이의 전자기력은 증가된다. 또한, 코일스프링의 직경은 스프링력의 안전성을 개선시키기 위해서 감소된다.
자동촛점, 렌즈, 렌즈홀더, 코일스프링, 스프링력
摘要翻译：使用弹簧力和电磁力作为驱动力，以驱动用于自动通过一矩形基部，两个铜板，在绝缘衬垫中，四个磁铁，透镜架，透镜，一个螺旋弹簧，一个线圈和一个矩形顶盖聚焦透镜模块的透镜的自动对焦透镜架，透镜和线圈组成一组同步移动的透镜。螺旋弹簧被夹在所述透镜和所述线圈和通过圆形槽和所述顶盖弹性的透镜架的支撑件之间，四个磁体被定位在对称的线圈外和铜的间隔上的矩形基部透镜模块的四个角简化和最小化。此外，线圈与磁体之间的距离缩短，从而其间的电磁力增大。此外，螺旋弹簧的直径减小以提高弹簧力的安全性。

3. 发明授权

KR102007024B1 광원 구성을 사용하는 개선된 포커스 추적을 위한 시스템들 및 방법들 有权
公开(公告)号：KR102007024B1
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：KR1020180026808
申请日：2018-03-07
申请人： 일루미나, 인코포레이티드
发明人： 콘델로,다닐루 , 프린스,사이먼 , 오셔그네시,존 , 시겔,크리스토프 , 아리언포어,애쉬칸
IPC分类号： G02B21/00 , G02B26/10 , G02B27/16

4. 发明授权

KR101849371B1 착용형 디스플레이 장치에서의 자동 초점 조절 장치 및 방법 有权
标题翻译：在可穿戴显示设备中用于自动对焦的设备和方法
公开(公告)号：KR101849371B1
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：KR1020150125610
申请日：2015-09-04
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김홍기 , 김진호 , 김기홍
IPC分类号： G02B27/02 , G02B27/16 , G02B27/40
摘要： 착용형디스플레이장치에서의초점자동조절장치및 방법이개시된다. 본발명의일실시예에따른착용형디스플레이장치에서의초점자동조절장치는비접촉식거리측정장치를이용하여착용형디스플레이장치를착용한사용자의얼굴표면과상기착용형디스플레이장치에상응하는렌즈와의거리및 상기렌즈와패널사이의거리를측정하는거리측정부; 상기사용자의얼굴표면과상기렌즈사이의거리와기준값의차이에기반하여상기기준값에상응하는초점거리를유지하기위한상기렌즈의위치를계산하는렌즈위치계산부; 및계산값에기반하여상기렌즈를이동시켜상기사용자와상기렌즈사이의거리와상기렌즈와상기패널사이의거리를조절하여상기초점거리를유지시키는초점거리유지부를포함한다.

5. 发明公开

KR1020110101537A 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경 및 초점검출 방법 有权
标题翻译：共焦显微镜消除的Z轴扫描和检测聚焦的方法
公开(公告)号：KR1020110101537A
公开(公告)日：2011-09-16
申请号：KR1020100020597
申请日：2010-03-09
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 김재완 , 김종안 , 강주식 , 진종한
IPC分类号： G02B21/00 , G01B11/06 , G02B27/16
CPC分类号： G02B21/008 , G02B7/04 , G02B7/28 , G02B21/0032 , G02B21/006 , G02B21/06
摘要： 본 발명이 해결하려는 과제는 종래 공초점 현미경의 광축주사 과정을 제거하여 한번의 측정 데이터로 초점위치를 검출하고 3차원 형상을 복원하는 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경을 제공하는 것이다. 본 발명 광축주사 과정을 제거한 공초점 현미경은, 복수의 광검출기로 구성된 공초점 현미경과; 상기 공초점 현미경을 통해 검출된 복수의 광을 이용하여 초점위치를 검출하는 처리부로 구성된 것을 특징으로 한다. 상기 처리부에서 초점검출 방법은 복수의 광검출기의 광축위치를 설정하는 단계와; 상기 광축위치에서 복수의 광검출기를 이용하여 광량을 검출하는 단계와; 상기 광검출기의 설정된 광축위치와 광축위치에서 검출된 광량을 이용하여 측정시편의 초점위치를 검출하는 단계로 구성된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래 공초점 현미경의 광축주사 과정을 제거하여 한번의 측정 데이터로 초점위치를 검출하므로 측정시편의 초점위치를 검출하는 시간이 감소하게 되고, 초점을 검출하는 시간이 감소함으로서 3차원 형상을 복원하는 시간이 감소하게 된다. 아울러, 광축주사 과정을 제거하여 광축주사 과정으로 인하여 공초점 현미경에 미치는 물리적 영향을 최소화하여 정확한 측정을 할 수 있다.

6. 发明授权

KR100921961B1 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계 有权
标题翻译：一种用于诊断等离子体的多通道光采集装置
公开(公告)号：KR100921961B1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：KR1020070131025
申请日：2007-12-14
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 나훈균
IPC分类号： G02B27/16 , G02B6/00
摘要： 본 발명은 고온의 플라즈마의 다양한 지점에서 다양한 각도로 나오는 광을 수집하여 여러 개(다채널)의 광 파이버로 입사시키도록 하는 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계에 관한 것으로, 상기 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 상부 일측에 위치하고, 고온의 플라즈마의 다양한 지점에서 다양한 각도로 나오는 광을 수집하여 여러 개의 광 파이버로 입사시키도록 하는 공초점 렌즈를 포함하는 렌즈 하우징; 상기 공초점 렌즈를 통과한 광이 각각의 광 파이버에 입사되도록 초점을 맞추는 포커싱 수단; 및 상기 베이스 프레임의 상부 타측에 위치하고, 상기 광 파이버의 위치를 고정시키는 광 파이버 홀더;를 포함함을 특징으로 한다.
이상에서와 같이, 본 발명에서는 상기와 같은 구성을 가진 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계를 제공함으로써 고온의 플라즈마의 다양한 지점에서 다양한 각도로 입사되는 광을 수집하여 여러 개(다채널)의 광 파이버로 각각 입사시키는 것이 가능하다.
플라즈마, 진단, 다채널, 광 수집계

7. 发明公开

KR1020090063596A 플라즈마 진단용 다채널 광 수집계 有权
标题翻译：用于诊断等离子体的多通道光收集装置
公开(公告)号：KR1020090063596A
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：KR1020070131025
申请日：2007-12-14
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 나훈균
IPC分类号： G02B27/16 , G02B6/00
CPC分类号： G02B27/16 , G02B6/0006 , G02B13/0095 , G02B26/101
摘要： A multi-channel light collection system for the plasma diagnosis is provided, which collects the light which incomes at the various angles and makes respectively incident to the optical fiber of multi-channel. A multi-channel light collection system for the plasma diagnosis comprises the base frame(210), the lens housing(220), the focusing unit(230), and the light fiber holder(240). The lens housing is positioned in the upper one side of the base frame. The lens housing comprises the confocal lens. The confocal lens collects the light coming at the various angles and makes the light incident to several optical fibers. The focusing unit focuses so that the light passing through the confocal lens can be incident to each optical fiber. The light fiber holder is positioned at the top other side of the base frame. The light fiber holder fixes the location of the optical fiber.
摘要翻译：提供用于等离子体诊断的多通道光采集系统，其收集以各种角度收入的光并分别入射到多通道的光纤。用于等离子体诊断的多通道光收集系统包括基框架（210），透镜壳体（220），聚焦单元（230）和光纤保持器（240）。透镜壳体位于基架的上一侧。透镜壳体包括共聚焦透镜。共焦透镜收集以各种角度进入的光，并使光入射到几根光纤。聚焦单元聚焦，使得通过共焦透镜的光可以入射到每个光纤。光纤保持器位于基架的顶部另一侧。光纤保持架固定光纤的位置。

8. 发明公开

KR1020080058575A 원뿔 렌즈를 이용한 빔 확대기 失效
标题翻译：光束放大仪使用AXICON镜头
公开(公告)号：KR1020080058575A
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：KR1020060132409
申请日：2006-12-22
申请人： 두산인프라코어 주식회사
发明人： 엄해동 , 김현태 , 이수상
IPC分类号： G02B27/18 , G02B27/16 , G02B3/00
CPC分类号： G02B3/04 , G02B6/322 , G02B27/0966 , G02B27/16 , G02B27/18
摘要： A beam magnifying instrument using a conical lens is provided to reduce measurement error of a control system by improving sensing capability of a measurement sensor of a beam alignment apparatus. According to a beam magnifying instrument(10) used in a beam alignment apparatus, a first conical lens(12) and a second conical lens(14) are arranged on both sides of a beam axis and have a conical angle(alpha). The first conical lens is installed in an inner cylindrical sleeve. The second conical lens is installed in an outer cylindrical sleeve. A control bolt controls the degree of insertion of the outer cylindrical sleeve and the inner cylindrical sleeve inserted in an inner diameter part of the outer cylindrical sleeve. A bracket supports the outer cylindrical sleeve through a pivot.
摘要翻译：提供了一种使用锥形透镜的光束放大仪，通过提高光束对准装置的测量传感器的感测能力来减少控制系统的测量误差。根据用于光束对准装置的光束放大仪（10），第一锥形透镜（12）和第二锥形透镜（14）布置在光束轴的两侧并且具有锥角（α）。第一个圆锥形透镜安装在内圆柱形套筒中。第二锥形透镜安装在外圆筒形套筒中。控制螺栓控制外圆柱套筒和插入在外圆柱套筒的内径部分中的内圆柱套筒的插入程度。支架通过枢轴支撑外圆柱形套筒。

9. 发明授权

KR100679643B1 자동초점 조절패턴을 채택하는 자동초점 조절장치 및그것을 사용한 자동초점 조절방법 有权
标题翻译：用于执行自动聚焦操作的自动对焦操作的装置以及使用其进行自动对焦操作的方法
公开(公告)号：KR100679643B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050030854
申请日：2005-04-13
申请人： 케이맥(주)
发明人： 고영준
IPC分类号： G02B7/28 , G02B27/16 , G02B21/00
摘要： 자동초점 조절패턴을 채택한 자동초점 조절장치 및 그것을 사용한 자동초점 조절방법이 개시된다. 이 자동초점 조절장치는 광학렌즈들을 갖는 광학계의 자동초점 조절장치에 관한 것으로, 자동초점 광을 출사하는 광원을 포함한다. 제1 광분할기가 광원에서 출사된 광을 광학렌즈들로 반사시키고, 광학렌즈들을 통해 입사된 광을 광원 방향으로 반사시킨다. 한편, 자동초점 조절패턴이 광원과 제1 광분할기 사이에 위치한다. 자동초점 조절패턴의 길이방향은 상기 광원의 광축에 대해 소정의 경사각으로 기울어져 위치한다. 이에 따라, 광원을 사용하여 자동초점 조절패턴의 이미지를 관찰용 시료 표면에 투영할 수 있다. 한편, 관찰용 시료표면에 투영된 자동초점 조절패턴의 이미지는 광학렌즈들과 관찰용 시료 표면의 상대적인 거리에 따라 변하므로, CCD 카메라를 사용하여 투영된 이미지를 감지하고 이를 해석하여 관찰용 시료 표면이 기준 초점위치로부터 이동된 이동량을 알아낼 수 있다. 따라서, 관찰용 시료 표면과 광학렌즈들을 상대적으로 이동시키면서 관찰용 시료 표면을 감지하는 스캐닝 동작을 수행함이 없이, 결정된 기준 초점위치로 돌아갈 수 있어, 신속하고 정확하게 자동초점 동작을 수행할 수 있다.
자동초점, 전하결합소자(CCD) 카메라, 자동초점 조절패턴

10. 发明授权

KR101633317B1 조명 광학계, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 有权
标题翻译：照明光学系统曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：KR101633317B1
公开(公告)日：2016-06-24
申请号：KR1020130036122
申请日：2013-04-03
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 사이토노부유키
IPC分类号： G03F7/207 , G03F7/20 , G02B27/40 , G02B27/16
CPC分类号： G03F7/70133 , G03F7/70058 , G03F7/70066 , G03F7/7055
摘要： 조명광학계는, 피조명면의조명범위를규정하는조리개; 상기조리개의개구의화상을상기피조명면에결상하는촬상광학계; 상기피조명면의목표조명범위의크기 B를사용하는값(B÷β)에추가된오프셋량δ를취득하는취득부 ; 및식 A=B÷β+δ를만족하도록상기취득된오프셋량δ에의거하여상기개구의크기 A 를조정하는조정부를구비하고, 상기β 는상기촬상광학계의결상배율이고, 상기취득된오프셋량δ은상기피조명면의상기목표조명범위의상기크기 B 에따라다르다.

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