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1. 发明授权

KR101873648B1 마이크로스케일에서의 표면 법선 벡터 및 표면 반사 함수 동시 측정 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR101873648B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020160121871
申请日：2016-09-23
申请人： 한국과학기술원
发明人： 김민혁 , 남길주 , 이주호
IPC分类号： G06T7/00
CPC分类号： G01N21/55 , G01B11/24 , G02B21/06 , G02B21/26
摘要： 일실시예에따른, 마이크로스케일에서의표면법선벡터및 표면반사함수동시측정시스템은미리설정된간격의조밀도를갖는수백개의 LED로구성되어, 내부에위치하는오브젝트에라이트를방사하는, 반구형구조의라이트돔; 상기라이트돔의중앙에형성된홀을통하여, 상기라이트돔이방사하는라이트환경아래상기오브젝트를촬영하도록상기라이트돔의상부에배치되는, 매크로렌즈가장착된카메라; 상기라이트돔의하부에배치되어상기오브젝트가위치하며, 상기매크로렌즈가장착된카메라와상기오브젝트사이의초점거리를조절하도록 xyz 방향으로이동하는, xyz 마이크로변환스테이지; 및상기라이트돔과상기매크로렌즈가장착된카메라를제어하여상기라이트돔이방사하는라이트환경아래상기오브젝트를촬영한마이크로스케일이미지를획득하고, 상기마이크로스케일이미지에기초하여상기오브젝트에대한표면법선벡터및 표면반사함수를동시에측정하는, 측정부를포함한다.

2. 发明授权

KR101608404B1 입체 이미지를 촬영하기 위한 단안식 현미경 有权
标题翻译：用于三维图像的单镜头显微镜
公开(公告)号：KR101608404B1
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：KR1020150186866
申请日：2015-12-24
申请人： 주식회사 연시스템즈
发明人： 표도연
IPC分类号： G02B21/36 , G02B21/02
CPC分类号： G02B21/18 , G02B15/00 , G02B17/08 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/26 , G02B21/36
摘要： 본발명은미세크기를갖는피사체의입체이미지를획득하는단안식현미경에관한것으로서, 본발명의단안식현미경은제1 결상렌즈조립체(10), 제1 결상렌즈조립체(10)를통과한광선중의일부는반사하고나머지는통과시키는하프미러(H), 하프미러(H)에의해반사된광선을결상하는제3 결상렌즈조립체(31)를포함하는제1 카메라(30) 및하프미러(H)를통과한광선을결상하는제3 결상렌즈조립체(41)를포함하는제2 카메라(40)를포함한다. 본발명에따른단안식현미경은초근접위치에배치된피사체의입체이미지를획득할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种具有微尺寸的3D图像的单透镜显微镜。单透镜显微镜包括：第一成像透镜组件（10）; 反射通过第一成像透镜组件（10）的光束的一部分的半透镜（H），透射光束的其余部分; 第一照相机（30），其包括形成由半反射镜（H）反射的光束的图像的第三成像透镜（31）。以及第二相机（40），其包括形成通过半反射镜（H）的光束的图像的第三图像形成透镜（41）。根据本发明，单透镜显微镜能够获得布置在超近距离位置的物体的3D图像。

3. 发明公开

KR1020150002538A 계측 시스템을 위한 조명 광학 유닛 및 그러한 조명 광학 유닛을 포함하는 계측 시스템 有权
标题翻译：用于包含这样的照明光学单元的计量系统和计量系统的照明光学单元
公开(公告)号：KR1020150002538A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：KR1020140079978
申请日：2014-06-27
申请人： 칼 짜이스 에스엠에스 게엠베하 , 칼 짜이스 아게
发明人： 프랑크,토마스 , 되링,디르크 , 세이츠,홀거 , 랭글레,마리오 , 마테예카,울리히
IPC分类号： G02B26/08 , G02B21/06
CPC分类号： G02B27/0961 , G02B26/0833 , G02B27/0905 , G03F1/84 , G02B26/08 , G02B21/06 , G02B26/0808
摘要： 조명 광학 유닛(6)이 계측 시스템(1)에 의해 점검될 오브젝트를 조명하는 역할을 한다. 조명 광학 유닛(6)은, 점검될 오브젝트(3)가 배치될 수 있는 오브젝트 필드(61)에 걸쳐 한정된 분포의 조명각의 조명 광(4)을 생성하기 위한 광학 동공 성형 조립체(21)를 갖는다. 오브젝트 필드(61)에 걸쳐 한정된 세기 분포의 조명 광(4)을 생성하기 위한 광학 필드 성형 조립체(49)가 조명 광(4)의 빔 경로에서 동공 성형 조립체(21)의 하류에 배열된다. 필드 성형 조립체(49)는, 조명 광학 유닛(6)의 동공 평면(43)의 영역에 배치된 적어도 하나의 광학 필드 성형 요소(50)를 갖는다. 이러한 구성의 결과로, 전체 오브젝트 필드에 걸친 세기 분포와 조명각 분포에 대해 한정된 방식으로 설정될 수 있는 조명을 보장하는 조명 광학 유닛을 얻는다.
摘要翻译：照明光学单元（6）通过测量系统（1）点亮待检查的物体。照明光学单元（6）包括光学瞳孔形成组件（21），用于产生在其中放置待检查物体（3）的整个物场（61）中限定的分布照明角的照明光（4）。用于产生在整个物场（61）中限制的强度分布的照明光（4）的光场形成组件（49）被布置在光瞳形成组件（21）的下游部分中， 4）。场形成组件（49）包括放置在照明光学单元（6）的光瞳面（43）的区域中的至少一个场形成元件（50）。作为形成的结果，获得的是一种照明光学单元，其能够在限制整个对象场的照明角度分布和强度分布的方法中保证照明设置。

4. 发明授权

KR101438340B1 머신 비전 시스템 有权
标题翻译：机器视觉系统
公开(公告)号：KR101438340B1
公开(公告)日：2014-09-04
申请号：KR1020130167167
申请日：2013-12-30
申请人： 주식회사 엠비젼
发明人： 이구열 , 김욱
IPC分类号： G01N21/88 , G02B21/06 , F21V17/10 , F21Y101/02
CPC分类号： G01N21/8806 , F21V17/10 , F21Y2101/00 , G02B21/06 , Y10S362/80
摘要： According to the present invention, provided is a machine vision system including a combination device which includes an external combination unit into which an internal insertion unit with a lens is inserted and a fixing unit which fixes the internal insertion unit and the external combination unit. A plurality of external combination units is formed. The external combination unit includes a lighting unit which emits light inside. The fixing unit includes an internal insertion unit fixing part fixing the internal insertion unit and an external combination unit fixing part which fixes the external combination unit. Each external combination unit includes an inner surface corresponding to the internal insertion unit and has a structure to insert the internal insertion unit through the combination of the external combination units.
摘要翻译：根据本发明，提供一种包括组合装置的机器视觉系统，该组合装置包括插入有透镜的内部插入单元的外部组合单元和固定内部插入单元和外部组合单元的固定单元。形成多个外部组合单元。外部组合单元包括发射内部的光的照明单元。固定单元包括固定内部插入单元的内部插入单元固定部和固定外部组合单元的外部组合单元固定部。每个外部组合单元包括对应于内部插入单元的内表面，并且具有通过外部组合单元的组合插入内部插入单元的结构。

5. 发明公开

KR1020140031294A 표면을 비접촉 측정하기 위한 방법 및 디바이스 审中-实审
标题翻译：用于非接触式测量表面的方法和装置
公开(公告)号：KR1020140031294A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020137032251
申请日：2011-05-20
申请人： 유니베르시타트 폴리테크니카 데 카탈루냐
发明人： 라구아르타베르트란,페란 , 핀토빌라,아구스티 , 아르티가스퍼살스,로저 , 카데발아르티구에스,크리스티나
IPC分类号： G01B11/25 , G01B9/04
CPC分类号： G01B11/24 , G01B11/2518 , G01M11/025 , G02B21/0016 , G02B21/06
摘要： 슬릿(m)은 기준점(X
1 )이 최적 초점 위치(P)에 가장 가까운 수평축(x)에 있는, 대상 표면 상에 투사된다. 관측 영역의 필드(F)의 하나의 이미지가 언급된 기준점(X
1 )을 포함하는 빛의 반사 후에 얻어진다. 수직축(z)에서 대상(300)의 위치(Z
1 )가 결정된다. 각각의 관측 영역의 필드(F)의 이미지가 최적 초점 위치(P)에 가장 가까운 기준점(X
2 , X
3 ...X
n )을 유지하도록 축(z)을 따라서 대상(300)을 동시에 이동시키는 것에 의해 기준점(X
2 , X
3 ...X
n )을 갖는 빛의 반사 후에 얻어진다. 이미지가 얻어지는 위치(Z
2 , Z
3 ...Z
n )가 결정된다. 수평축(x)에 따른 최적 초점 위치가 각각의 이미지에 대해 결정된다. 최적 초점 위치(P)와 기준점(X
1 , X
2 ...X
n ) 사이의 보정차(Δ
1 ,Δ
2 ...Δ
n )가 계산된다.

6. 发明授权

KR101300733B1 다중 병렬 공초점 시스템 有权
标题翻译：多平行共焦系统
公开(公告)号：KR101300733B1
公开(公告)日：2013-08-27
申请号：KR1020120004073
申请日：2012-01-12
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 강신일
IPC分类号： G01N21/00 , G01N21/15
CPC分类号： G02B21/06 , G01B11/24 , G01N21/55 , G01N2201/06113 , G02B3/0006 , G02B3/0056 , G02B21/0032 , G02B21/004
摘要： 본 발명은 마이크로 렌즈에서 시료 표면까지의 작업거리를 높여 측정시 마이크로 렌즈나 시료 표면이 오염되거나 손상되는 것을 방지하고, 대영역에 걸쳐 보다 고속으로 피측정물의 표면 측정이 가능하게 하는 다중 병렬 공초점 시스템에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 광을 조사하는 광원; 피측정물로 향하거나 피측정물에서 반사된 광이 통과하고, 상기 광원에서 조사된 광을 집속시키기 위한 하나 이상의 렌즈를 포함하는 릴레이 렌즈부; 상기 릴레이 렌즈부를 통해 집속된 광이 입사되는 마이크로 렌즈가 다수 개 배열되어 마이크로 렌즈 어레이를 이루며, 상기 마이크로 렌즈 어레이를 통해 광이 피측정물의 표면에 포커싱되는 멀티 광 프로브; 상기 피측정물로부터 반사된 후 상기 마이크로 렌즈 및 릴레이 렌즈부를 거쳐 입사되는 광을 검출하는 광전검출기(photo detector);를 포함하여 이루어지되, 상기 마이크로 렌즈의 초점거리와 마이크로 렌즈와 피측정물 사이의 거리에 의해서 정해지는 후초점과 상기 릴레이 렌즈부의 초점은 동일 평면상에 위치되는 것을 특징으로 한다.

7. 发明授权

KR101158159B1 줌 대물렌즈를 구비한 조명 시스템 有权
标题翻译：照明系统缩放目的
公开(公告)号：KR101158159B1
公开(公告)日：2012-06-19
申请号：KR1020070035709
申请日：2007-04-11
申请人： 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하
发明人： 울프강시그너 , 젠스오스만
IPC分类号： G02B5/08 , G03B27/54
CPC分类号： G03F7/70233 , G02B21/06 , G03F7/70075 , G03F7/70108 , G03F7/70183 , G03F7/702
摘要： 본 발명의 목적은, 바람직한 파장 λ의 광원으로부터의 복사를 이용하여, 주어진 조명 강도를 가지고 필드 평면의 필드를 조명하기 위한 그리고 동공평면에서의 주어진 형상과 크기의 조명된 영역을 제공하기 위한 조명시스템을 설계함으로써 해결된다. 조명시스템은 복사가 광원으로부터 필드평면 및 동공평면으로 향해지도록 하는 방법으로 배열되는 다수의 소자들을 포함하고, 여기에서 조명시스템은 반사 조명시스템(catoptric illumination system)이고 동공평면에서 조명된 영역의 크기는 계속 변경될 수 있고 반면 바람직하게는 필드평면에서의 조명된 영역뿐만 아니라 동공 평면에서의 조명된 영역의 형상이 대부분 변하지않고 남아있다. 바람직하게는, 동공평면에서의 조명된 영역의 크기는 ±10% 만큼, 더 바람직하게는 ±25% 만큼, 특별히 바람직하게는 ±40% 만큼 계속 바뀔 수 있다.
조명시스템(illumination system), 필드평면, 동공평면, 크기, 형상, 패싯티드 광학소자, 반사소자, 채움율, 투영 대물렌즈

8. 发明公开

KR20120020015A Time-resolved ultraviolet rays near-field scanning optical microscope and method of measuring using thereof 有权
标题翻译：时间分辨超声波近场扫描光学显微镜及其测量方法
公开(公告)号：KR20120020015A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR20100083709
申请日：2010-08-27
申请人： KWANGJU INST SCI & TECH
发明人： JEONG MUN SEOK , PARK KYOUNG DUCK , YIM SANG YOUP
IPC分类号： G01Q60/18 , G01N21/33 , G01Q60/22
CPC分类号： G01Q60/22 , G01N21/33 , G01Q60/20 , G02B21/06
摘要： PURPOSE: A time-resolved ultraviolet ray near-field scanning optical microscope and a measuring method using the same are provided to quickly increase light emitting efficiency of a semiconductor compound using an ultraviolet ray. CONSTITUTION: A light source(10) irradiates an ultraviolet ray. An objective lens(20) irradiates the ultraviolet ray onto a sample. A probe(30) detects light emitted from the sample. A spectroscope(40) detects light of a desired wavelength according to the sample among the detected light. A time-correlated single photon counter(60) measures light emitting extinction time of the sample by a TCSPC(Time-Correlated Single Photon Counting) method.
摘要翻译：目的：提供时间分辨的紫外线近场扫描光学显微镜及其使用的测量方法，以快速提高使用紫外线的半导体化合物的发光效率。构成：光源（10）照射紫外线。物镜（20）将紫外线照射到样品上。探测器（30）检测从样品发射的光。检测光（40）根据所检测的光中的样品检测所需波长的光。时间相关单光子计数器（60）通过TCSPC（时间相关单光子计数）方法测量样品的发光消光时间。

9. 发明公开

KR1020090126285A 광원 无效
标题翻译：光源
公开(公告)号：KR1020090126285A
公开(公告)日：2009-12-08
申请号：KR1020097020545
申请日：2008-03-20
申请人： 크로마 테크놀러지 코포레이션
发明人： 스톡윌,켈리 , 키글,에드워드 , 브라운,낸시엠 , 코걸,제프리에스 , 콜터,크리스토퍼씨
IPC分类号： H01J7/42
CPC分类号： G02B21/16 , G02B21/06
摘要： A light source for fluorescence microscopy is designed to provide relatively constant illumination (lumens) of the specimen over the useful life of the light generator, such as the bulb, arc, or filament. In another aspect, the present invention provides for a light source for fluorescence microscopy designed to reduce heat transmission to optical components from the light generator, while providing adequate transmission of the required excitation wavelengths of light.
摘要翻译：用于荧光显微镜的光源被设计成在光发生器（例如灯泡，电弧或灯丝）的使用寿命期间提供样品相对恒定的照明（流明）。另一方面，本发明提供一种用于荧光显微镜的光源，其设计用于减少来自光发生器的光学部件的热传递，同时提供所需的激发波长的光的足够透射。

10. 发明公开

KR1020090057242A 조명 방법 및 디바이스 无效
标题翻译：照明器方法和装置
公开(公告)号：KR1020090057242A
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：KR1020097004918
申请日：2007-08-10
申请人： 업스트림 엔지니어링 오와이
发明人： 알라사아렐라일까에이 , 소우까마키주씨 , 빌야마아테우보
IPC分类号： G02B21/06 , G02B17/08 , G02B19/00 , H01L33/00
CPC分类号： F21V5/046 , F21V7/0091 , F21V13/04 , F21Y2115/10 , G02B19/0028 , G02B19/0061 , G02B21/06
摘要： A first toroidal ray guide defines an axis of revolution and has a toroidal entrance pupil adapted to image light incident on the entrance pupil at an angle to the axis of revolution between 40 and 140 degrees, and it also has a first imaging surface opposite the entrance pupil. A second toroidal ray guide also defines the same axis of revolution and has a second imaging surface adjacent to the first imaging surface. Various additions and further qualities of the ray guides, which form optical channels, are disclosed. In a method light emanating from a source at between 40-140 degrees from an optical axis is received at an entrance pupil of a ray guide arrangement that is circularly symmetric about the optical axis. Then the received light is redirected through the ray guide arrangement to an exit pupil in an average direction substantially parallel to the optical axis.
摘要翻译：第一环形射线导向器限定旋转轴线，并且具有环形入射光瞳，适于对入射光瞳进行成像，其角度与旋转轴线成40度至140度之间的角度，并且还具有与入口相对的第一成像面瞳孔。第二环形光线引导件还限定相同的旋转轴线，并且具有与第一成像表面相邻的第二成像表面。公开了形成光通道的射线引导件的各种添加和进一步的质量。在一种方法中，从围绕光轴圆形对称的射线引导装置的入射光瞳处接收来自光轴40-140度的光源的光。然后，所接收的光线通过光线引导装置被重定向到基本平行于光轴的平均方向的出射光瞳。

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