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    • 5. 发明授权
    • 연마 헤드 조립 방법 및 연마 헤드 조립 시의 공기 누설검사장치
    • 연마헤드조립방법및연마헤드조립시의공기누설검사장치
    • KR100421445B1
    • 2004-03-09
    • KR1020010060574
    • 2001-09-28
    • 삼성전자주식회사
    • 최봉성정환노용석김덕중
    • B24B49/00
    • B24B37/30B24B37/0053B24B55/00G01M3/26G01M3/2815Y10T29/49718Y10T29/49776Y10T29/4978Y10T29/53026
    • Disclosed are a method for assembling a polishing while inspecting for air leakage in the polishing head and an apparatus for performing the same. By the present invention, a polishing head may be tested for air leakage at each assembly step thereof, so that the polishing head may be assembled free of air leakage, thereby reducing testing time of the polishing head, and failure of the polishing head due to air leakage may be prevented. The apparatus includes a housing supporting the polishing head and having coupling lines coupled with ends of tubes provided in the assembled polishing head, or the polishing head being assembled. A pneumatic pressure regulating section selectively supplies positive pressure or vacuum to the tubes through the coupling lines. A sensor section detects the pressure and level of vacuum in the tubes. A determining section determines if there is air leakage in the polishing head.
    • 公开了在检查抛光头中的空气泄漏的同时组装抛光的方法及用于执行抛光头的设备。 通过本发明,可以在每个组装步骤中测试抛光头的漏气情况,使得抛光头可以在没有漏气的情况下进行组装,从而减少了抛光头的测试时间,以及抛光头由于 可以防止空气泄漏。 该设备包括支撑抛光头并且具有与设置在组装的抛光头中的管的端部耦合的耦合线的外壳,或者组装抛光头。 气动压力调节部分通过耦合线选择性地向管供应正压或真空。 传感器部分检测管中的压力和真空度。 确定部分确定抛光头中是否有空气泄漏。
    • 8. 发明授权
    • 다단식 자동 프레스 및 조립 기계
    • 多进程自动压缩机
    • KR100136234B1
    • 1998-07-01
    • KR1019940013981
    • 1994-06-21
    • 쿠제 요시카즈
    • 쿠제요시카즈
    • B21D37/14B23P19/02B30B13/00
    • B23P19/007B21K27/04B23P19/02Y10T29/5137Y10T29/53026Y10T29/53313Y10T29/53387Y10T29/53522
    • 프레스 및 조립 기계는 베이스 플레이트상에 장착된 안내 포스트와, 상기 안내 포스트의 상부에 고착된 실린더 플레이트와, 상기 안내 포스트상에 활주 가능하게 장착된 가이동 플레이트를 갖는 다이 셋트를 구비한다. 실린더가 실린더 플레이트상에 장착되고, 실린더의 피스톤 막대가 가이동 플레이트에 연결되며, 베이스 플레이트상에 픽 앤드 플레이스 장치가 장착된다. 이 픽 앤드 플레이스 장치는 하부 다이의 대향측에 위치한 베이스 플레이트상에 장착된 한쌍의 안내 레일과, 상기 안내 레일상에 활주 가능하게 장착된 대향 활주 부재와, 상기 활주 부재와 연결되는 연결 부재와, 상기 연결된 활주 부재를 왕복 운동시키는 왕복 실린더와, 상기 대향 활주 부재상에 장착된 복수의 맞물림 고정 액츄에이터를 포함한다. 이 맞물림 고정 액츄에이터는 대향 맞물림 고정 실린더와, 대응 실린더의 피스톤 막대에 의해 작동하여 제품을 맞물려 고정시키는 대향 맞물림 고정 핑거를 구비한다. 제품을 픽 앤드 플레이스 장치에 하나씩 이송하기 위한 피더가 설치된다. 제품을 순차적으로 프레스 및 조립하도록 프레스 기계를 순차적으로 작동시키기 위한 시퀀스 콘트롤러가 설치된다.