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1. 发明授权

KR101698634B1 기판 수납 용기 有权
标题翻译：基板存储容器
公开(公告)号：KR101698634B1
公开(公告)日：2017-01-20
申请号：KR1020127017621
申请日：2011-02-14
申请人： 신에츠 폴리머 가부시키가이샤
发明人： 후지모리요시아키 , 오가와오사무
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677 , B65D85/38
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67396
摘要： 반도체웨이퍼를수납하여좌우한 쌍의지지편에의해지지하는용기본체와, 용기본체의개구한정면을개폐하는착탈이자유로운덮개와, 용기본체와덮개에배설되어가공장치의로드포트장치에접속되는인터페이스부를구비하고, 용기본체의개구한정면을덮개가개폐하는경우에덮개가로드포트장치에위치결정접속되는기판수납용기로, 용기본체와그 한쌍의지지편, 덮개, 및인터페이스부를도전성의재료에의해각각형성하여그 표면저항값을 10~10Ω의범위내로하고, 이들에정전기의대전에수반하여티끌이부착하는것을억제한다.
摘要翻译：为了提供能够抑制容器主体，门和其他部件带电以吸引颗粒的基板储存容器，因此可以防止颗粒染色基板。一种基板收容容器，其特征在于，包括容纳主体1，该容器本体1存储由一对左，右支承片2支撑的半导体晶片W; 打开和关闭容器主体1的开口前部的可拆卸门10; 以及设置在容器主体1和门10中并且连接到处理设备的负载端口装置31的接口部分40，当容器主体1的开口前部打开时，门10定位并连接到负载端口装置31，集装箱体1，其一对支撑件2，门10和接口部分40都由导电材料形成，使得其表面电阻值被规定为在10 3至10 12 Q的范围内，从而由于静电带电，抑制了颗粒对这些的粘附。

2. 发明授权

KR100927923B1 도어에 의해 구현되는 접지 경로를 포함하는 전방 개방웨이퍼 캐리어 有权
公开(公告)号：KR100927923B1
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：KR1020047007902
申请日：2002-11-26
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 보레스그레고리 , 칼리아수라즈 , 티벤엔쏘니매씨어스
IPC分类号： B65D85/48
CPC分类号： H01L21/67373 , H01L21/67396 , Y10T29/49117
摘要： A front opening wafer carrier formed principally of plastic and comprising an enclosure portion (20) and a door (24) has a path to ground with respect to the wafers (22), the path to ground effectuated by the door (24). The base “ground” may be provided at the machine interface upon which the carrier sits, or through the robotic arm that grasps, operates and moves the door (24).

3. 发明公开

KR1020060063386A 박막 형성 장치 无效
标题翻译：薄膜制造设备
公开(公告)号：KR1020060063386A
公开(公告)日：2006-06-12
申请号：KR1020040102551
申请日：2004-12-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이덕중 , 이재경
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： H01L21/68714 , G02F2202/22 , H01L21/67396 , H01L21/68757
摘要： 제조공정의 안정성을 확보하기 위한 박막 형성 장치가 개시된다. 박막 형성 장치는 베이스 플레이트, 지지 부재 및 보호막을 포함한다. 지지 부재는 베이스 플레이트 상에 적어도 2개가 배치되어, 기판을 지지한다. 보호막은 베이스 플레이트의 표면 및 지지 부재의 표면을 커버하고, 베이스 플레이트 및 지지 부재와 기판간에 충전된 정전기를 외부로 유출시킨다. 이와 같이, 보호막이 베이스 플레이트 및 지지 부재 상에 형성됨으로써, 기판과 베이스 플레이트 사이에 발생되는 정전기에 의해 기판의 파손되는 것을 방지하여 제조 공정의 안정성을 확보할 수 있다.

4. 发明公开

KR1020040062966A 정전기 소산 필름을 갖는 반도체 구성요소 취급 장치 无效
标题翻译：带静电消散薄膜的半导体元件处理装置
公开(公告)号：KR1020040062966A
公开(公告)日：2004-07-09
申请号：KR1020047007903
申请日：2002-11-26
申请人： 엔테그리스, 아이엔씨.
发明人： 바트산지프엠. , 에검숀디.
IPC分类号： B29C45/14 , B29C70/76 , B29C70/88
CPC分类号： H01L21/67323 , H01L21/6733 , H01L21/67366 , H01L21/67396
摘要： 본 발명은 반도체 처리 산업에서 이용되는 취급기(34), 이송기, 캐리어, 트레이(36) 등의 장치를 위한 성형 공정에서 탄소 충진 PEEK와 같은 얇은 전도성 중합체 필름(10)을 포함하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다. 소정의 크기 및 형상의 전도성 필름(10)은 성형 가능한 재료(30)의 원하는 목표 표면과 정렬되도록 주형 공동(22) 내의 성형 표면(26)을 따라 선택적으로 위치된다. 성형 공정은 필름이 성형 가능한 재료에 영구적으로 부착되도록 필름(10)의 표면을 성형 가능한 재료(30)의 접촉 표면에 결합시킨다. 결과적으로, 호환 가능한 전도성 중합체는 정전기 소산이 요구되는 그러한 목표 표면에만 선택적으로 결합될 수 있다.

5. 发明公开

KR1020010110678A 제품을 운반하기 위한 방법 및 장치 无效
标题翻译：运输文章的方法和装置
公开(公告)号：KR1020010110678A
公开(公告)日：2001-12-13
申请号：KR1020017012081
申请日：2000-03-23
申请人： 얼라이드시그날 인코퍼레이티드
发明人： 타노우스,아델,조지 , 마크햄에,할리드 , 밀러,제프리
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67386 , F26B21/14 , F26B25/063 , H01L21/67393 , H01L21/67396 , H01L21/67724
摘要： 한실시예에서, 제 2 용기(90) 내에고정된제 1 용기(10)를갖춘카트(5)는집적회로기판을운반및 저장하기위해사용된다. 집적회로기판은제 1 용기(10)에배치되고, 제 1 용기(10)의도어(18)는도어밀봉부(24)에대해폐쇄되고밀봉된다. 그다음, 제 1 용기(10)는질소에의해정화되어, 제 1 용기(10)의내부로부터습기와반응성가스들을제거한다. 그다음정화된후, 제 1 용기(10)는제 2 용기(90) 내에배치된다. 제 2 용기(90)의도어(102)는도어밀봉부(104)에대해폐쇄되고밀봉된다. 그다음제 2 용기(90)는질소에의해정화되어, 제 2 용기(90)의내부로부터습기와반응성가스를제거한다. 그리고나서, 집적회로기판을포함하는카트(5)는다음제조영역으로운반된다. 집적회로와다른제품들은본 발명의카트시스템을이용하여제조될수 있다.
摘要翻译：在一个实施例中，具有装配在第二容器（90）内的第一容器（10）的推车（5）用于运输和存储集成电路基板。集成电路基板被放置在第一容器（10）内，并且第一容器（10）的门（18）被封闭并相对于门密封件（24）密封。然后用氮气吹扫第一容器（10）以从第一容器（10）的内部排出水分和反应性气体。清洗后，将第一容器（10）放置在第二容器（90）内。然后，第二容器（90）的门（102）被封闭并相对于门密封件（104）密封。然后用氮气吹扫第二容器（90），以从第二容器（90）的内部排出水分和反应性气体。然后将包含集成电路基板的推车（5）运送到下一个制造区域。集成电路和其它制品可以使用本发明的推车系统进行制造。

6. 发明授权

KR1019930003143B1 반도체장치의 제조방법 失效
公开(公告)号：KR1019930003143B1
公开(公告)日：1993-04-22
申请号：KR1019900007036
申请日：1990-05-17
申请人： 후지쓰브이엘에스아이가부시키가이샤
发明人： 우노마사아끼 , 고바야시마사노리 , 나가시마가즈시
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67396 , Y10S148/017 , Y10S438/974
摘要： 내용 없음.

7. 发明公开

KR1020120119546A 유기전계발광 표시패널의 모기판 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：有机电致发光显示装置的主要物质及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120119546A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：KR1020110037541
申请日：2011-04-21
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 김진태 , 이규태
IPC分类号： H01L51/50 , H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： H01L21/67396 , G09G3/3208 , G09G3/3233 , H01L27/0248
摘要： PURPOSE: A motherboard of an organic electroluminescence display device and a manufacturing method thereof are provided to prevent static electricity generated by a third shorting bar from being inserted to a display area of the panel and to reduce probability to generate a bad pixel. CONSTITUTION: A first shorting bar(110) is formed on a plurality of organic electroluminescence display panels. The first shorting bar is formed in the same material as both electrodes of the organic electroluminescence display device. A second shorting bar covers a display area of the organic electroluminescence display panels. The second shorting bar is formed as a gate line. A third shorting bar(116) is formed in a mesh shape. The third shorting bar is formed as a data line.
摘要翻译：目的：提供一种有机电致发光显示装置的主板及其制造方法，以防止由第三短路棒产生的静电插入面板的显示区域并降低产生坏像素的可能性。构成：在多个有机电致发光显示面板上形成第一短路棒（110）。第一短路棒形成为与有机电致发光显示装置的两个电极相同的材料。第二短路棒覆盖有机电致发光显示面板的显示区域。第二短路棒形成为栅极线。第三短路棒（116）形成为网状。第三个短路条形成为数据线。

8. 发明公开

KR20120036459A Liquid crystal display device 审中-公开
标题翻译：液晶显示装置
公开(公告)号：KR20120036459A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：KR20100098150
申请日：2010-10-08
申请人： LG DISPLAY CO LTD
发明人： KIM JIN HWAN , LEE JUNG HUN
IPC分类号： G02F1/1345
CPC分类号： G02F1/13458 , G02F1/13452 , G02F2202/22 , H01L21/67396
摘要： PURPOSE: A liquid crystal display device is provided to connect a conductive light shielding tape with a grounding pad to emit static electricity inputted from the outside through the grounding pad formed on a lower substrate. CONSTITUTION: A liquid crystal layer(320b) is formed between a lower substrate and an upper substrate. A grounding pad(350) is formed on a non display area of the lower substrate. A conductive pad(330) is formed on the upper substrate. A light shielding tape(340) electrically connects the grounding pad with the conductive pad. The light shielding tape has a conductive layer.
摘要翻译：目的：提供一种液晶显示装置，用于将导电遮光带与接地垫连接，以通过形成在下基板上的接地垫从外部发出静电。构成：在下基板和上基板之间形成液晶层（320b）。在下基板的非显示区域上形成接地焊盘（350）。导电焊盘（330）形成在上基板上。遮光带（340）将接地垫与导电垫电连接。遮光带具有导电层。

9. 实用新型

KR200454375Y1 엘시디 및 피디피 패널 이송용 팔레트의 정전기 배출 장치 失效
标题翻译：用于运输LCD和PDP面板的托盘的静电放电装置
公开(公告)号：KR200454375Y1
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：KR2020110004119
申请日：2011-05-16
申请人： 주식회사 피엔에스
发明人： 정은석
IPC分类号： H01J9/46 , G02F1/13 , H01L21/677 , B65G49/06
CPC分类号： H01J9/46 , B65G49/062 , B65G49/063 , G02F1/1303 , H01L21/6734 , H01L21/67396 , H01L21/6773
摘要： 본 고안은 엘시디(LCD, liquid crystal display) 및 피디피(PDP, Plasma Display Pannel) 패널에 전원을 인가시켜 최종적으로 양질의 여부를 검사하는 검사단계에서 전원을 인가시킴에 따라 발생 되었던 정전기를 원천적으로 차단시킴으로써 안정적으로 패널 검사를 수행할 수 있도록 하는 엘시디 및 피디피 패널 이송용 팔레트의 정전기 배출 장치에 관한 것으로,
우레탄 재질의 지지봉(70) 외주면에는 일측 끝단의 피복(111)이 벗겨진 전선(110)이 도전테이프(120)에 의해 접착 고정되며, 상기 전선(110)의 타측 끝단은 금속 재질의 지지판(50)에 고정되는 한편, 상기 도전테이프(120)에 의해 고정된 전선(110)과, 지지봉(70)의 외주면에는 원통관(130)이 밀착 고정되어지되, 그 원통관에는 지지봉(70)을 분해하지 않고 도전테이프(120)의 주변을 감쌀 수 있도록 장방향으로 절개된 절개홈(131)이 형성된 것이다.
摘要翻译：在本发明中，通过对LCD，液晶显示器（PDP）和等离子显示面板（PDP）面板供电而产生的静电在最后阶段被检查质量，本发明涉及一种用于运输PDA面板和LCD的托盘的静电放电装置，

10. 发明公开

KR1020110059227A 트레이 및 이를 사용하는 기판처리장치 有权
标题翻译：用于处理基板的托盘和装置
公开(公告)号：KR1020110059227A
公开(公告)日：2011-06-02
申请号：KR1020090115888
申请日：2009-11-27
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 최종용
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67336 , H01L21/67396 , H01L21/6773 , H01L2224/34
摘要： PURPOSE: A tray and a substrate processing device using the same are provided to form a uniform thin film on a substrate by uniformly distributing the temperature of the tray. CONSTITUTION: A tray(126) loads a plurality of substrates and transfer the load to the inside or outside of a process chamber. A plate(150) is made of heat resistant glass and loads a plurality of substrates. A ground electrode is formed on the rear of the plate. A plasma resistant layer is formed on the front and side of the plate. A plurality of fixing units are installed in the front of the plate and prevent the separation of the substrate.
摘要翻译：目的：提供一种托盘和使用其的基板处理装置，以通过均匀分布托盘的温度在基板上形成均匀的薄膜。构成：托盘（126）装载多个基板并将负载传送到处理室的内部或外部。板（150）由耐热玻璃制成并加载多个基板。接地电极形成在板的后部。在板的正面和侧面形成等离子体耐受层。多个固定单元安装在板的前部，并防止基板分离。

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