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1. 发明公开

KR1020010110678A 제품을 운반하기 위한 방법 및 장치 无效
标题翻译：运输文章的方法和装置
公开(公告)号：KR1020010110678A
公开(公告)日：2001-12-13
申请号：KR1020017012081
申请日：2000-03-23
申请人： 얼라이드시그날 인코퍼레이티드
发明人： 타노우스,아델,조지 , 마크햄에,할리드 , 밀러,제프리
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67386 , F26B21/14 , F26B25/063 , H01L21/67393 , H01L21/67396 , H01L21/67724
摘要： 한실시예에서, 제 2 용기(90) 내에고정된제 1 용기(10)를갖춘카트(5)는집적회로기판을운반및 저장하기위해사용된다. 집적회로기판은제 1 용기(10)에배치되고, 제 1 용기(10)의도어(18)는도어밀봉부(24)에대해폐쇄되고밀봉된다. 그다음, 제 1 용기(10)는질소에의해정화되어, 제 1 용기(10)의내부로부터습기와반응성가스들을제거한다. 그다음정화된후, 제 1 용기(10)는제 2 용기(90) 내에배치된다. 제 2 용기(90)의도어(102)는도어밀봉부(104)에대해폐쇄되고밀봉된다. 그다음제 2 용기(90)는질소에의해정화되어, 제 2 용기(90)의내부로부터습기와반응성가스를제거한다. 그리고나서, 집적회로기판을포함하는카트(5)는다음제조영역으로운반된다. 집적회로와다른제품들은본 발명의카트시스템을이용하여제조될수 있다.
摘要翻译：在一个实施例中，具有装配在第二容器（90）内的第一容器（10）的推车（5）用于运输和存储集成电路基板。集成电路基板被放置在第一容器（10）内，并且第一容器（10）的门（18）被封闭并相对于门密封件（24）密封。然后用氮气吹扫第一容器（10）以从第一容器（10）的内部排出水分和反应性气体。清洗后，将第一容器（10）放置在第二容器（90）内。然后，第二容器（90）的门（102）被封闭并相对于门密封件（104）密封。然后用氮气吹扫第二容器（90），以从第二容器（90）的内部排出水分和反应性气体。然后将包含集成电路基板的推车（5）运送到下一个制造区域。集成电路和其它制品可以使用本发明的推车系统进行制造。

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