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1. 发明授权

KR101681336B1 마이크로리소그래피 투영 노광 장치 有权
标题翻译：微波投影曝光装置
公开(公告)号：KR101681336B1
公开(公告)日：2016-12-12
申请号：KR1020117010082
申请日：2009-09-17
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 블라이디스텔자샤 , 콴임-분-파트릭 , 바흐플로리안 , 벤츠다니엘 , 발디스제베린 , 베르베르아르민
IPC分类号： G03F7/20 , G02B11/00
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B17/002 , G02B26/0833 , G03F7/70116 , G03F7/70291 , G03F7/70891
摘要： 본발명에따른마이크로리소그래피투영노광장치는기부본체그리고복수개의미러유닛을갖는미러어레이를포함하고, 각각의미러유닛은미러및 고체-상태관절부를포함하고, 관절부는기부본체에미러를연결하는적어도 1개의관절부분을갖는다. 제어장치가기부본체에대한각각의미러의정렬을변경하는것을가능케한다. 미러및 기부본체또는기부본체에연결되는미러지지본체의상호대향표면이활주베어링의대응활주표면으로서설계된다.
摘要翻译：微光刻投影曝光装置具有具有基体和多个反射镜单元的反射镜阵列。每个反射镜单元包括反射镜和固态关节，其具有将反射镜连接到基体的至少一个铰接部分。控制装置可以改变相应镜子相对于基体的对准。反射镜和基体相互相对的表面或连接到其的反射镜支撑体相互相对的表面被设计成滑动轴承的相应的滑动表面。

2. 发明公开

KR1020160002137A 폴리곤 미러 어셈블리 및 폴리곤 미러 어셈블리를 이용한 검출 장치 有权
标题翻译： POLYGON MIRROR ASSEMBLY AND DETECTION APPARATUS US OF POLYGON MIRROR ASSEMBLY
公开(公告)号：KR1020160002137A
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：KR1020140081023
申请日：2014-06-30
申请人： 한국식품연구원
发明人： 최성욱 , 우민아 , 이나리 , 장현주 , 옥경식
IPC分类号： G01N21/01 , G01B11/00 , G01N21/954 , G02B26/08
CPC分类号： G01B11/00 , G01N21/00 , G01N21/01 , G01N21/954 , G01N2021/0106 , G02B17/00 , G02B17/002 , G02B17/02 , G02B17/0647 , G02B17/0657 , G02B26/0816
摘要： 본발명의일 실시예와관련된회전하는샤프트와결합되는결합부를구비하는본체와, 상기결합부로부터멀어지는방향으로연장되어형성되는복수의제 1 프레임과, 상기제 1 프레임들사이에배치되어다각형을이루며, 상기제 1 프레임에회전가능하도록결합되는복수의반사면및 상기반사면들을틸팅(tilting)하는구동부;를포함한다.
摘要翻译：根据本发明的实施例，多面镜组件包括：主体，其设置有联接到旋转轴的联接单元; 多个第一框架，其形成为沿远离所述联接单元的方向延伸; 设置在所述第一框架之间的多个反射表面，形成多边形并联接成能够旋转到所述第一框架; 以及使反射面倾斜的驱动单元。

3. 发明公开

KR1020110063851A 마이크로리소그래피 투영 노광 장치 有权
标题翻译：微波投影曝光装置
公开(公告)号：KR1020110063851A
公开(公告)日：2011-06-14
申请号：KR1020117009932
申请日：2009-09-17
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 블라이디스텔자샤 , 콴임-분-파트릭 , 바흐플로리안 , 벤츠다니엘 , 발디스제베린 , 베르베르아르민
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/08
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B17/002 , G02B26/0833 , G03F7/70116 , G03F7/70291 , G03F7/70891
摘要： 본 발명에 따른 마이크로리소그래피 투영 노광 장치는 기부 본체 그리고 복수개의 미러 유닛을 갖는 미러 어레이를 포함하고, 각각의 미러 유닛은 미러 및 고체-상태 관절부를 포함하고, 관절부는 기부 본체에 미러를 연결하는 적어도 1개의 관절 부분을 갖는다. 제어 장치가 기부 본체에 대한 각각의 미러의 정렬을 변경하는 것을 가능케 한다. 미러 및 기부 본체 또는 기부 본체에 연결되는 미러 지지 본체의 상호 대향 표면이 활주 베어링의 대응 활주 표면으로서 설계된다.

4. 发明公开

KR1020110056338A 마이크로리소그래피 투영 노광 장치 有权
标题翻译：微波投影曝光装置
公开(公告)号：KR1020110056338A
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：KR1020117010082
申请日：2009-09-17
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 블라이디스텔자샤 , 콴임-분-파트릭 , 바흐플로리안 , 벤츠다니엘 , 발디스제베린 , 베르베르아르민
IPC分类号： G03F7/20 , G02B11/00
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/1827 , G02B17/002 , G02B26/0833 , G03F7/70116 , G03F7/70291 , G03F7/70891 , G03F7/20 , G02B15/00 , H01L21/027
摘要： 본 발명에 따른 마이크로리소그래피 투영 노광 장치는 기부 본체 그리고 복수개의 미러 유닛을 갖는 미러 어레이를 포함하고, 각각의 미러 유닛은 미러 및 고체-상태 관절부를 포함하고, 관절부는 기부 본체에 미러를 연결하는 적어도 1개의 관절 부분을 갖는다. 제어 장치가 기부 본체에 대한 각각의 미러의 정렬을 변경하는 것을 가능케 한다. 미러 및 기부 본체 또는 기부 본체에 연결되는 미러 지지 본체의 상호 대향 표면이 활주 베어링의 대응 활주 표면으로서 설계된다.
摘要翻译：微光刻投影曝光装置具有具有基体和多个反射镜单元的反射镜阵列。每个反射镜单元包括反射镜和固态关节，其具有将反射镜连接到基体的至少一个铰接部分。控制装置可以改变相应镜子相对于基体的对准。反射镜和基体相互相对的表面或连接到其的反射镜支撑体相互相对的表面被设计成滑动轴承的相应的滑动表面。

5. 发明公开

KR1020070030853A 가변 초점거리 렌즈 无效
标题翻译：可变焦距镜头
公开(公告)号：KR1020070030853A
公开(公告)日：2007-03-16
申请号：KR1020067027342
申请日：2005-05-27
申请人： 스테레오 디스플레이, 인크. , 주식회사 옹스트롱
发明人： 김태현 , 백상현
IPC分类号： G02B26/08 , G02B3/14 , G02F1/29
CPC分类号： G02B26/128 , G02B3/08 , G02B3/14 , G02B17/002 , G02B26/085 , G02B26/105 , G02F2001/294
摘要： 마이크로미러 어레이 렌즈는 두 개의 회전운동 자유도와 한 개의 병진운동 자유도를 갖는 다수의 마이크로미러(13)와 구동소자를 포함한다. 마이크로미러의 어레이는 피사체의 한 점으로부터 산란된 모든 광이 동일 주기 위상을 갖고 화상면의 한 점에 수렴하도록 한다. 구동소자는 정전기적 및/또는 전자기적으로 마이크로미러의 위치를 제어한다. 마이크로미러의 하부에 마이크로미러를 지지하는 기계 구조와 구동소자를 배치함으로써 마이크로미러 어레이 렌즈의 광효율이 향상된다. 반도체 미세전자공학 기술은 전극 패드와 전선에 기인한 유효 반사 영역의 손실을 제거할 수 있다. 렌즈는 각각의 마이크로미러를 독립적으로 제어함으로써 수차를 교정할 수 있다. 알려진 반도체 미세전자공학 기술에 의해 각각의 마이크로미러의 독립적인 제어가 가능하다. 또한, 마이크로미러 어레이는 요구되는 임의의 형상 및/또는 크기의 렌즈를 형성할 수 있다.

6. 发明公开

KR1020060012413A 조명유니트 및 이를 채용한 화상투사장치 失效
标题翻译：照明单元和投影类型图像显示设备使用它们
公开(公告)号：KR1020060012413A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：KR1020040061095
申请日：2004-08-03
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이계훈 , 이원용 , 이영철 , 소콜로프키릴
IPC分类号： G02B27/18
CPC分类号： G02B27/146 , F21K9/00 , F21V5/02 , F21V7/0091 , F21V13/02 , F21Y2115/10 , G02B17/002 , G02B27/0994 , G02B27/1033 , G02B27/1053 , H01L33/58 , H01L33/60 , H04N9/315
摘要： 소형 광원에서 조사된 광을 합성하는 프리즘의 구조가 개선된 조명유니트 및 이를 채용한 화상투사장치가 개시되어 있다.
이 개시된 조명유니트는, 서로 다른 파장의 광을 조사하는 복수의 광원유니트와; 입사방향에 따라 광을 투과 또는 전반사시키는 외측면과, 다른 두 삼각형 프리즘 각각과 결합되는 두 경계면을 각각 가지는 3매의 삼각형 프리즘과; 3매의 삼각형 프리즘 사이의 적어도 어느 한 경계에 마련되어, 입사광을 파장에 따라 선택적으로 투과 또는 반사시키는 색분리부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 개시된 화상투사장치는 상기한 구조의 조명유니트와; 조명유니트 쪽에서 입사된 광으로부터 입력된 영상신호에 대응되는 화상을 형성하는 화상형성소자와; 화상형성소자에서 형성된 화상을 스크린에 확대 투사시키는 투사렌즈유니트;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：照明单元包括被配置为发射不同波长的光L 11，L 21，L 31的多个光源单元110,120,130和被配置为将光L 11，L 21，L 31 从光源单元110,120,130发射，使得其沿着公共光路行进。棱镜装置200包括两个三角棱镜210,230，每个具有取决于其波长的反面11，L 21，L 31的外表面215,235。照明单元可以用于照亮诸如液晶显示器（LCD）面板或数字微镜装置（DMD）的图像形成装置。

7. 发明公开

KR1020170053206A 디스플레이 장치 审中-实审
标题翻译：显示设备
公开(公告)号：KR1020170053206A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：KR1020150155279
申请日：2015-11-05
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 도윤선 , 권재중 , 이혜석
IPC分类号： H01L51/52 , H01L51/56 , G02F1/1333
CPC分类号： H01L51/5271 , G02B17/002 , H01L27/3244 , H01L51/524 , H01L51/5253
摘要： 디스플레이장치를개시한다. 본발명은활성영역및 활성영역의바깥으로연장된비활성영역을가지는디스플레이기판과, 디스플레이기판을커버하는박막봉지층을구비한디스플레이패널과, 디스플레이패널상에배치되며, 베이스필름과, 베이스필름의일면에배치된인쇄층과, 비활성영역에대응되는베이스필름의반사영역에배치된복수의반사부들을구비한인쇄필름과, 인쇄필름상에배치된커버윈도우와, 인쇄필름과커버윈도우사이에배치된접착층을포함한다.
摘要翻译：公开了一种显示装置。本发明涉及一种具有显示基板的显示面板，该显示基板具有有源区和从有源区向外延伸的无源区，具有覆盖显示基板的薄膜封装层的显示面板，设置在显示面板上的基膜，本发明提供一种印刷用薄膜，该印刷用薄膜在与非活性区域对应的基材膜的反射区域配置有多个反射部，设置在该印刷用膜上的覆盖窗以及配置在该印刷膜与覆盖窗之间的覆盖窗 Lt。

8. 发明公开

KR1020150004360A 원뿔형 석영 돔을 통해 투과되는 광을 제어하기 위한 광학계 审中-实审
标题翻译：用于控制通过锥形星形球发射的光的光学
公开(公告)号：KR1020150004360A
公开(公告)日：2015-01-12
申请号：KR1020147030507
申请日：2013-03-06
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 라니쉬,조셉엠.
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/02104 , G02B17/002 , H01L21/67115
摘要： 여기에 설명된 실시예들은 일반적으로 기판을 가열하기 위한 장치에 관한 것이다. 장치는 기판 지지체를 내부에 갖는 프로세스 챔버를 일반적으로 포함한다. 복수의 램프는 방사 에너지를 광학적으로 투명한 돔을 통해 기판 지지체 상에 위치하는 기판에 제공하도록 위치한다. 광 초점 어셈블리는 기판 상의 온도 분포 및 가열에 영향을 주고, 균일한 속성들, 예컨대 밀도를 갖는 기판 상의 필름의 형성을 용이하게 하도록 챔버 내에 위치한다. 광 초점 어셈블리는 하나 이상의 반사기, 광 파이프, 또는 굴절 렌즈를 포함할 수 있다.

9. 发明授权

KR101243790B1 입체 영상표시장치 有权
标题翻译：三维图像显示
公开(公告)号：KR101243790B1
公开(公告)日：2013-03-18
申请号：KR1020060057611
申请日：2006-06-26
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 강훈
IPC分类号： H04N13/04 , G02B27/22 , G02F1/1335
CPC分类号： G02B27/2214 , G02B5/001 , G02B17/002 , G02B17/004 , G02F1/133606
摘要： 본 발명은 휘도 손실을 최소화하도록 한 입체 영상표시장치에 관한 것이다.
이 입체 영상표시장치는 표시장치; 상기 표시장치에 광을 조사하기 위한 백라이트 유닛; 및 상기 표시장치와 상기 백라이트 유닛 사이에 배치되고 상기 백라이트 유닛과 대향하는 광 입사면 상에 양 측면이 경사진 가이드가 형성된 패럴랙스 베리어를 구비한다.

10. 发明公开

KR1020090038100A 마이크로 미러 및 이를 이용한 마이크로 미러 어레이 有权
标题翻译： MICRO MIRROR和MICRO MIRROR ARRAY使用它
公开(公告)号：KR1020090038100A
公开(公告)日：2009-04-20
申请号：KR1020070103410
申请日：2007-10-15
申请人： 한국과학기술원
发明人： 윤준보 , 김대현 , 김민우 , 전진완
IPC分类号： G02B26/08 , B81B7/02
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2201/04 , G02B17/002 , G02B26/105
摘要： A micro mirror of an electrostatic driving mode and a micro mirror array using the same are provided to obtain a maximum rotation angle although a predetermined voltage is supplied between a first address electrode and a reflector. A micro mirror(200) includes an insulation substrate(210), an address electrode(220a), an electric charge part(240a), and a reflector(250). The address electrode, a stop electrode(280a), and supporting parts(270a,270b) are formed on the insulation substrate. The insulation substrate supports the reflector in order to separate the address electrode from the address electrode and the electric charge part. The address electrode is formed on the insulation substrate, and is made of conductive material. The electric charge part is insulated with a first address electrode and a second address electrode by a first insulation layer and a second insulation layer. A discharge-preventing layer is formed on a surface of the electric charge part.
摘要翻译：提供静电驱动模式的微反射镜和使用其的微反射镜阵列以获得最大旋转角度，尽管在第一寻址电极和反射器之间提供预定电压。微反射镜（200）包括绝缘基板（210），寻址电极（220a），电荷部分（240a）和反射器（250）。寻址电极，停止电极（280a）和支撑部分（270a，270b）形成在绝缘基板上。绝缘基板支撑反射器，以便将地址电极与地址电极和电荷部分分开。寻址电极形成在绝缘基板上，并由导电材料制成。电荷部分通过第一绝缘层和第二绝缘层与第一寻址电极和第二寻址电极绝缘。在电荷部的表面上形成防放电层。

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