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    • 3. 发明授权
    • 희토류원소계 초전도 산화물을 이용하는 유기금속증착용 전구용액 제조방법 및 유기금속증착법에 의한 박막형 초전도체 제조방법
    • 使用超导氧化物和薄膜超导体制造金属有机沉积前体溶液的方法
    • KR100529602B1
    • 2005-11-17
    • KR1020030049157
    • 2003-07-18
    • 학교법인 한국산업기술대학
    • 홍계원이희균김찬중유상임위성훈
    • C01G3/00
    • H01L39/2425C01G3/006C01P2002/72C01P2006/40C04B35/4508C04B35/6264C04B35/6325C04B2235/3215C04B2235/3224C04B2235/3225C04B2235/3227C04B2235/3229C23C18/1216C23C18/1254C23C18/1291C23C18/1295
    • 본 발명은, 초전도 산화물을 이용하는 유기금속증착용 전구용액 제조방법에 있어서, 첫째, 희토류원소계 초전도원료분말을 TFA용액에 녹인 후 열판내에서 용융시키는 단계와, 분말이 완전히 용해되어 용액이 맑아지면 상기 열판내의 온도를 높여서 용액을 증발시키며 점성이 있는 젤리 상태가 될 때까지 가열을 계속하는 단계와, 상기 용액의 유동성이 완전히 없어지는 상태가 되면 가열을 중단하고 상기 용액을 냉각하는 단계와, 상온에서 굳어진 젤리상태의 화합물을 메틸알콜에 녹여서 희토류원소계 초전도원료분말-TFA 전구용액을 얻는 단계를 포함하는 초전도 산화물을 이용하는 유기금속증착용 전구용액 제조방법과 둘째, 유기금속증착용 박막형 초전도체 제조방법에 있어서, 희토류원소계 초전도원료분말을 TFA용액에 녹인 후에 열판내에서 용융� ��키는 단계와, 분물이 완전히 용해되어 용액이 맑아지면 상기 열판내의 온도를 높여서 용액을 증발시키며 점성이 있는 젤리 상태가 될 때까지 가열을 계속하는 단계와, 상기 용액의 유동성이 완전히 없어지는 상태가 되면 가열을 중단하고 상기 용액을 냉각하는 단계와, 상온에서 굳어진 젤리상태의 화합물을 메틸알콜에 녹여서 희토류원소계 초전도원료분말-TFA 전구용액을 얻는 단계와, 집합조직을 가진 금속 기판 위 집합조직을 가지는 산화물완충층을 성막한 후, 혹은 금속 기판 위 집합조직을 가지는 산화물 피복재(Template)를 올리고 다시 그 위에 산화물 완충층을 성막한 후, 혹은 단결정 금속 기판 위에 상기 초전도 원료분말-TFA 전구용액을 떨어뜨려서 얇은 막을 도포하는 단계와, 얇은 막을 도포한 다음 건조시켜 박막을 형성하는 단계와, 상기 박� ��을 하소 및 소성열처리 하여 막이 초전도 특성을 가지는 단계를 포함하는 유기금속증착용 박막형 초전도체 제조방법을 제시함으로써, REBa
      2 Cu
      3 O
      7-x (RE=Y, La, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 등 희토류 원소 또는 이들의 조합)계 초전도 박막형 전도체를 제조하는데 있어서, REBa
      2 Cu
      3 O
      7-x (RE=Y, La, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 등 희토류 원소 또는 이들의 조합)계 산화물을 TFA에 용해시켜 전구용액을 만들면, 기존의 방법으로 전구용액을 만드는데 필요한 비용보다 훨씬 경제적으로 전구용액을 만들수 있고, 이러한 전구용액을 사용하여 초전도 전도체를 만들수 있는 것이다.