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    • 8. 发明公开
    • 단결정 산화물 박막의 제조방법
    • 단결정산화물박막의제조방법
    • KR1020030046417A
    • 2003-06-12
    • KR1020037002481
    • 2001-08-31
    • 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 카가쿠기쥬츠신코키코
    • 고이누마히데오미가와사끼마사시마쑤모또유지
    • C30B29/22
    • H01L39/2438C30B19/04C30B23/002C30B23/02C30B25/02C30B29/22C30B29/225
    • 단결정 산화물 박막의 제조방법에 있어서, 성막하는 산화물 박막과 같은 조성의 산화물 박막을 기판 상에 종층(種層)으로서 퇴적하는 공정; 기판을 가열함으로써 용융하여 액체로 되고, 성막하는 산화물을 용융할 수 있는 물질로 이루어지는 박막을 종층 상에 퇴적하는 공정과; 기판을 가열하여 액체층을 형성하는 공정 및; 이 액체층을 통해 산화물의 퇴적종(堆積種)을 종층 상에 퇴적하여 단결정 산화물 박막을 기상법에 의해 성막하는 공정으로 이루어지는 3상 에피택셜법에 있어서, 단결정 산화물 박막을 기상법에 의해 성막하는 공정에 있어서의 액정층 상의 산소분압을 1.0∼760 Torr로 한다.
    • 本发明是一种用于制备单晶氧化物薄膜的三相外延方法,该方法包括以下步骤:在衬底上沉积氧化物薄膜,该氧化物薄膜用作晶种层并且具有与氧化物薄膜相同的组成 在晶种层上沉积薄膜,所述薄膜包含能够通过来自所述基板的热量被熔化和液化的物质,并且通过将所述氧化物沉积到所述晶种层上来溶解所述氧化物,加热所述基板以形成液体层,以及沉积 通过使用气相外延方法通过液体层在籽晶层上形成氧化物以形成单晶氧化物薄膜。 在该方法中,在成膜步骤中液体层上的氧分压设定在1.0-760乇的范围内。 <图像>
    • 9. 发明公开
    • 스퍼터링증착장비
    • 通过溅射沉积法形成高温超导体双面薄膜的方法
    • KR1020000033367A
    • 2000-06-15
    • KR1019980050207
    • 1998-11-23
    • 한국전자통신연구원
    • 서정대한석길강광용
    • H01L39/24
    • H01L39/2435C23C14/087C23C14/3464C23C14/505C23C14/541C30B23/02C30B29/22C30B29/225
    • PURPOSE: To form a thin film of high temperature superconductor on both sides of an oxide substrate having large surface areas. CONSTITUTION: Two sintering targets(1,2) such as high temperature superconductor oxide YBa2Cu3O7-x are placed in a thin film depositing apparatus(11). A mono-crystalline oxide substrate(6) having large surface areas, such as, for example, MgO, SrTiO3, LaAlO3, Al2O3, LaSrGaO4, is fixed to a supporting structure(5), passing through separators(9,10). The substrate(6) is then rotated with the supporting structure(5) between the separators(9,10). While two heater(3,4) applies heat to both sides of the substrate(6), plasma generated from the targets(1,2) is sprayed on both sides of the substrate(6) and thereby a target material is deposited onto the substrate(6).
    • 目的:在具有大表面积的氧化物基板的两面上形成高温超导体薄膜。 构成:将两个烧结靶(1,2)如高温超导体氧化物YBa2Cu3O7-x放置在薄膜沉积装置(11)中。 具有大表面积的单晶氧化物衬底(6)例如MgO,SrTiO 3,LaAlO 3,Al 2 O 3,LaSrGaO 4被固定到支撑结构(5)上,通过隔板(9,10)。 然后,基板(6)与分隔件(9,10)之间的支撑结构(5)一起旋转。 当两个加热器(3,4)对基板(6)的两侧施加热量时,从靶(1,2)产生的等离子体喷射在基板(6)的两侧,从而将目标材料沉积到 底物(6)。