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1. 发明授权

KR101549280B1 경사 구조를 갖는 미소 기계 구성 소자 및 상응하는 제조 방법 有权
标题翻译：具有狭缝结构的微观组件和相应的生产方法
公开(公告)号：KR101549280B1
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：KR1020107022404
申请日：2008-11-28
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 피르크테얄프 , 핀터슈테판 , 벤첼후베르트 , 베버헤리베르트 , 크뤼거미햐엘 , 자틀러로베르트 , 니캄니몬치프레데릭 , 무코오외르크 , 프리츠요아힘 , 쉘링크리스토프 , 프리제크리스토프
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B2203/0118 , B81B2203/0307
摘要： 본발명은경사구조를갖는미소기계구성소자및 상응하는제조방법에관한것이다. 상기구성소자는표면(O)을갖는기판(1)과, 기판(1)의표면(O)에제공되어기판(1)으로부터멀리연장된제1 앵커(3e; 3e')와, 앵커(3e; 3e')의측면(S1, S2; S1'; S1")에제공되고앵커(3e; 3e')로부터경사지게멀어지는하나이상의암(3c, 3d; 3c; 3c')을포함한다.

2. 发明公开

KR1020130130666A 표시 장치 无效
标题翻译：显示设备
公开(公告)号：KR1020130130666A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020130126736
申请日：2013-10-23
申请人： 스냅트랙, 인코포레이티드
发明人： 기무라야스까즈 , 후지요시준 , 구리야가와다께시 , 소노다다이스께
IPC分类号： G02B26/02 , G02B26/00
CPC分类号： G02B26/02 , B32B3/00 , B81B3/0062 , B81B7/02 , B81B2201/047 , B81B2203/0307 , B81B2203/0376 , B81C1/00103 , G02B26/04 , G02F2203/12 , G09G3/34 , G09G5/10 , G09G2300/08 , H02N1/006
摘要： A display device having multiple pixels includes a shutter plate (SH) formed in a plate shape and having an actuator unit (AC). The actuator unit (AC) comprises: a beam unit (B) connected to the shutter plate (SH); a driving electrode (E) for driving the shutter plate (SH) after curving the beam unit (B) by applying voltage; a first support unit (S1) supporting the driving electrode (E) and fixated on a substrate (B1); and a second support unit supporting the beam unit (B) and fixated on the substrate. At least one among the first support unit (S1) and the second support unit has a planar part (Sp) separated from the substrate and a dented part (Sc) dented from the planar part (Sp) and connected to the substrate; wherein the dented part (Sc) has a vertical formation part (Sv), which is vertically inclined from the planar part, and a part (Sg), which is started from the vertical formation part (Sv) and has a gentle slope toward the substrate (B1).
摘要翻译：具有多个像素的显示装置包括形成为板状且具有致动器单元（AC）的快门板（SH）。致动器单元（AC）包括：连接到快门板（SH）的梁单元（B）; 用于通过施加电压来弯曲所述光束单元（B）来驱动所述快门板（SH）的驱动电极（E）支撑驱动电极（E）并固定在基板（B1）上的第一支撑单元（S1）; 以及支撑束单元（B）并固定在基板上的第二支撑单元。第一支撑单元（S1）和第二支撑单元中的至少一个具有与基板分离的平面部分（Sp）和从平面部分（Sp）凹陷并连接到基板的凹陷部分（Sc）; 其特征在于，所述凹部（Sc）具有从所述平面部垂直倾斜的垂直形成部（Sv）和从所述垂直形成部（Sv）开始并且朝向所述垂直形状部基板（B1）。

3. 发明授权

KR101283333B1 톱니 모양의 단면을 갖는 실린더 채널 및 이를 포함하는 동축 채널 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：具有锯齿形截面的圆柱形通道和相同通道的制备方法
公开(公告)号：KR101283333B1
公开(公告)日：2013-07-09
申请号：KR1020100134507
申请日：2010-12-24
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 이상훈 , 강에드워드
IPC分类号： G01N35/08 , G01N33/48
CPC分类号： B81B1/002 , B01L3/502707 , B01L3/502746 , B01L2300/0816 , B01L2300/0858 , B01L2300/0887 , B01L2400/086 , B81B2201/058 , B81B2203/0338 , B81C1/00103 , B81C1/00634 , B81C99/0085 , B81C2201/019 , B81C2201/034 , C12N5/0618 , C12N2535/00 , Y10T428/13
摘要： 본 발명은 톱니 모양의 단면을 갖는 실린더 채널 및 이의 제조방법, 및 이를 포함하는 동축 채널, 및 이를 이용하여 제조되는 톱니 모양의 단면을 갖는 미세 섬유 또는 미세 입자를 제조하는 방법에 관한 것이다.

4. 发明公开

KR1020110028506A 다단형 기판의 제조 방법 无效
标题翻译：制造多层基板的方法
公开(公告)号：KR1020110028506A
公开(公告)日：2011-03-18
申请号：KR1020117000840
申请日：2009-06-15
申请人： 가부시키가이샤 알박
发明人： 다나카아이 , 기라아츠시 , 후와고
IPC分类号： H01L21/3065 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B2203/033 , B81B2203/0392
摘要： 기판의 주면 상에, 각각이 이종 재료로 이루어지고, 또한 각각의 박리 수단이 상이한 복수의 마스크를 겹쳐 형성하고, 복수의 마스크 각각의 형상을 반영하여, 순차적으로 플라즈마를 사용하는 드라이 에칭을 실시함으로써 단차 가공을 실시하여, 복수의 단차를 갖는 다단형 기판을 얻는다.

5. 发明公开

KR1020170018948A 캐비티 형성 방법 및 캐비티를 가진 부품 审中-实审
标题翻译：形成孔隙的方法和具有孔隙的组分
公开(公告)号：KR1020170018948A
公开(公告)日：2017-02-20
申请号：KR1020177001347
申请日：2015-05-29
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 슈토이어벤야민 , 토마쉬코요헨 , 핀터슈테판 , 하버러디트마 , 암브루스터지몬
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： H01L21/4803 , B81B1/00 , B81B2203/0315 , B81B2203/033 , B81B2203/0384 , B81C1/00103 , B81C1/0042 , B81C2201/013
摘要： 본발명은, 실리콘기판의표면이실리콘기판의제1 평면에대해경사각을가지며, 상기제1 평면이실리콘기판의 {111} 평면이되도록, 실리콘기판내에캐비티를형성하고실리콘기판의표면상에에칭마스크를배치하기위한방법에관한것이다. 에칭마스크는마스크개구부안쪽으로돌출하는제1 억제구조물을갖는다. 또한, 에칭마스크는제1 에칭돌출영역도포함한다. 제1 에칭돌출영역외부에서마스크개구부의모든추가에지부는실리콘기판의 {111} 평면들에대해실질적으로평행하게정렬된다. 추가단계로서, 본원의방법은결정된에칭기간동안실리콘기판을이방성에칭하는단계를포함한다. 이경우, 실리콘기판의 방향으로의에칭율은다른공간방향들보다더 낮으며, 제1 억제구조물은제1 에칭돌출영역에서부터시작하여제1 언더커팅방향으로언더커팅된다. 에칭기간은, 이방성에칭단계를통해실리콘기판의표면상에개구부를갖는캐비티가실리콘기판내에형성되도록결정된다. 에칭기간은, 에칭기간의만료후에실리콘기판의제1 평면이실질적으로노출되어캐비티의바닥면을형성하도록결정된다.
摘要翻译：一种用于在硅衬底中形成腔的方法，其中所述硅衬底的表面相对于所述硅衬底的第一平面具有倾斜角，并且其中所述第一平面是所述硅衬底的{111}面，并且对于在硅衬底的表面上设置蚀刻掩模。蚀刻掩模包括突出到掩模开口中的第一延迟结构。蚀刻掩模还包括第一蚀刻投影区域。在第一蚀刻投影区域外部的掩模开口的所有另外的边缘基本上平行于硅衬底的{111}平面布置。作为进一步的步骤，该方法包括在确定的蚀刻持续时间期间硅衬底的各向异性蚀刻。因此，硅衬底的<111>方向的蚀刻速率低于其它空间方向的蚀刻速率，并且第一延迟结构在第一底切方向上从第一蚀刻投影区域开始被削去。确定蚀刻持续时间，使得通过各向异性蚀刻在硅衬底中形成空腔，所述空腔在硅衬底的表面具有开口。蚀刻持续时间被确定为使得当蚀刻持续时间结束时，硅衬底的第一平面基本上暴露并形成空腔的底面。

6. 发明授权

KR101454686B1 에너지 변환 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于转换能量的装置和方法
公开(公告)号：KR101454686B1
公开(公告)日：2014-10-28
申请号：KR1020080091193
申请日：2008-09-17
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최재영 , 김종민 , 이상윤
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H02N2/18 , B81B2201/038 , B81B2203/0376 , B81C1/00103 , B81C2201/0115
摘要： 인가된 신호의 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있는 에너지 변환 장치 및 방법이 개시된다. 상기 에너지 변환 장치는 인가된 신호에 의해 공진하는 나노와이어를 포함할 수 있다. 나노와이어는 공진하여 전극에 접촉할 수 있으며, 전극과 나노와이어 사이의 쇼트키 접합(Schottky contact)에 의해 전극 및 나노와이어에 전류가 흐를 수 있다. 또한 상기 에너지 변환 방법은, 나노와이어에 신호를 인가하여 나노와이어를 공진시키고, 공진하는 나노와이어와 전극의 접촉에 의해 전류를 생성하도록 구성될 수 있다.
나노와이어, 압전, 쇼트키, 에너지 변환, 공진

7. 发明公开

KR1020140026472A 화학적 기계적 폴리싱을 이용하여 비평면형 멤브레인들을 형성하는 방법 审中-实审
标题翻译：使用CMP形成非平面膜的方法
公开(公告)号：KR1020140026472A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：KR1020137029832
申请日：2012-04-13
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 그래함앤드류비. , 야마개리 , 오브라이언개리
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B2203/0376 , B81C2201/0104
摘要： 일 실시예에서, 기판을 성형하는 방법이 제 1 지지 층을 제공하는 단계, 상기 제 1 지지 층 상에 제 1 성형 패턴을 제공하는 단계, 상기 제 1 성형 패턴 상에 기판을 제공하는 단계, 상기 제 1 성형 패턴 상에 배치된 기판 상에서 제 1 화학적 기계적 폴리싱(CMP) 프로세스를 실시하는 단계, 및 폴리싱된 기판을 상기 제 1 성형 패턴으로부터 제거하는 단계를 포함한다.

8. 发明授权

KR101357312B1 테이퍼 형상 표면을 갖는 멤브레인 지지대를 구비한 마이크로기계 음향 변환기 및 제조 방법 有权
标题翻译：具有带表面的薄膜支撑的微型声音传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101357312B1
公开(公告)日：2014-02-03
申请号：KR1020120032909
申请日：2012-03-30
申请人： 인피니언 테크놀로지스 아게
发明人： 베르젠스테판 , 쳉수 , 데헤알폰스 , 프리자볼프강 , 클라인볼프강 , 나와즈모신 , 세이델우베
IPC分类号： H04R19/00 , H01L29/84
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2203/0384 , B81C1/00103
摘要： 마이크로기계 음향 변환기를 제조하는 방법은, 제1 에칭 레이트와 더 낮은 제2 에칭 레이트를 각각 갖는, 기판 배열의 제1 주 표면 상에 제1 및 제2 멤브레인 지지 재료의 연속 층을 증착시키는 단계를 포함한다. 다음에, 멤브레인 재료의 층이 증착된다. 공동이 제1 멤브레인 지지 재료의 층으로 적어도 연장될 때까지 멤브레인 지지 재료와 멤브레인 재료에 대향하는 기판의 측면으로부터 기판 배열에 공동이 생성된다. 제1 및 제2 멤브레인 지지 재료의 층은 공동의 연장부에 위치된 적어도 하나의 제1 영역에 그리고 또한 상기 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역에 공동을 통해 에칭제를 가함으로써 에칭된다. 에칭은 제2 영역에서 제2 멤브레인 지지 재료의 층 상에 테이퍼 형상 표면을 생성한다. 적어도 제2 멤브레인 지지 재료의 층이 제1 영역에서 제거되어 멤브레인 재료의 층을 노출시킬 때까지 계속해서 에칭된다.

9. 发明公开

KR1020120072653A 톱니 모양의 단면을 갖는 실린더 채널 및 이를 포함하는 동축 채널 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：具有锯齿状交叉部分的圆柱体通道和相同通道的制备方法
公开(公告)号：KR1020120072653A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：KR1020100134507
申请日：2010-12-24
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 이상훈 , 강에드워드
IPC分类号： G01N35/08 , G01N33/48
CPC分类号： B81B1/002 , B01L3/502707 , B01L3/502746 , B01L2300/0816 , B01L2300/0858 , B01L2300/0887 , B01L2400/086 , B81B2201/058 , B81B2203/0338 , B81C1/00103 , B81C1/00634 , B81C99/0085 , B81C2201/019 , B81C2201/034 , C12N5/0618 , C12N2535/00 , Y10T428/13
摘要： PURPOSE: A cylindrical channel for a micro fluid chip, a method for manufacturing the same, a coaxial channel including the cylindrical channel, and a method for manufacturing the coaxial channel are provided to improve the performance of a mixer or a uniform agitator by inducing unstable fluid. CONSTITUTION: A cylindrical channel for a micro fluid chip includes saw-toothed grooves on the cross section. The cross section of the cylinder channel is tapered or constant. The thicknesses of the grooves are in a range between 3 and 15um. The widths of the grooves are in a range between 5 and 15um. Gaps between the grooves are in a range between 10 and 20um. A method for manufacturing the cylinder channel includes the following: a film is located on a base mold with a mold groove and a pressure adjusting hole; and pressures to the film are adjusted to arrange a plurality of saw-toothed grooves on the upper side of the film.
摘要翻译：目的：提供一种用于微流体芯片的圆柱形通道，其制造方法，包括圆柱形通道的同轴通道和用于制造同轴通道的方法，以通过诱导不稳定的方式来改善混合器或均匀搅拌器的性能流体。构成：用于微流体芯片的圆柱形通道在横截面上包括锯齿槽。气缸通道的横截面为锥形或恒定。槽的厚度在3和15um之间的范围内。槽的宽度在5和15um之间的范围内。槽之间的间隙在10和20um之间的范围内。一种制造气缸通道的方法包括：一个薄膜位于具有模槽和压力调节孔的基模上; 并且调节胶片的压力以在胶片的上侧布置多个锯齿形凹槽。

10. 发明授权

KR101384281B1 표시 장치 有权
标题翻译：显示设备
公开(公告)号：KR101384281B1
公开(公告)日：2014-04-11
申请号：KR1020120059181
申请日：2012-06-01
申请人： 픽스트로닉스 인코포레이티드
发明人： 기무라야스까즈 , 후지요시준 , 구리야가와다께시 , 소노다다이스께
IPC分类号： G02B26/02 , B81B7/02
CPC分类号： G02B26/02 , B32B3/00 , B81B3/0062 , B81B7/02 , B81B2201/047 , B81B2203/0307 , B81B2203/0376 , B81C1/00103 , G02B26/04 , G02F2203/12 , G09G3/34 , G09G5/10 , G09G2300/08 , H02N1/006
摘要： 판형상으로 형성되는 셔터판(SH)과, 액추에이터부(AC)를 갖는 복수의 화소를 구비한 표시 장치로서, 액추에이터부(AC)는 셔터판(SH)에 접속되는 빔부(B)와, 전압이 인가됨으로써, 빔부(B)를 만곡시켜서 셔터판(SH)을 구동하는 구동 전극(E)과, 구동 전극(E)을 지지하고, 기판(B1) 상에 고정되는 제1 지지부(S1)와, 빔부(B)를 지지하고, 기판 상에 고정되는 제2 지지부를 갖고, 제1 지지부(S1) 및 제2 지지부의 적어도 한쪽은, 기판으로부터 떨어진 평면 부분(Sp)과, 평면 부분(Sp)으로부터 오목하고, 기판에 접속하는 오목부(Sc)를 갖고, 오목부(Sc)는, 평면부분으로부터 거의 수직으로 경사져 형성되는 수직 형성 부분(Sv)과, 수직 형성 부분(Sv)으로부터 개시하여, 기판(B1)측으로 진행함에 따라서 경사가 완만해지도록 형성되는 부분(Sg)을 갖는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：形成为板状的快门板SH和具有致动器单元AC的多个像素，其中致动器单元AC包括连接到快门板SH的光束部分B，用于弯曲梁部分B以驱动挡板SH的驱动电极E和用于支撑驱动电极E并固定在基板B1上的第一支撑部分S1，并且第一支撑部分S1和第二支撑部分中的至少一个包括与基板隔开的平坦部分Sp和平坦部分Sp，并且，凹部Sc从形成为从平坦部大致垂直地形成的垂直形成部Sv和垂直形成部Sv开始，并且具有随着朝向基板B1侧而逐渐变细的部分Sg。

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