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1. 发明授权

KR101062192B1 합파레이저광 조심방법, 레이저광 합파광원 및 노광장치 失效
公开(公告)号：KR101062192B1
公开(公告)日：2011-09-05
申请号：KR1020040020440
申请日：2004-03-25
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 테라무라유이치 , 오카자키요지
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/4206 , G02B6/4226
摘要： (과제)레이저광 합파광원에 있어서, 광원이 상승할 때까지의 시간을 단축한다.
(해결수단)정상 온도조절상태에 있어서, 복수의 반도체 레이저(LD1∼LD7)로부터 사출된 각 레이저광속으로 이루어지는 전체 광속(BB)을 콜리메이트렌즈(11∼17)와 집광렌즈(20)를 통해서 수속시키고, 광파이버(30)의 코어부(30a)의 지름의 1/2 이하의 지름을 갖는 이 코어부 단면의 동심 영역에 입사시켜 코어부(30a) 중에 합파 시킨다. 코어부(30a) 중에 합파시킨 레이저광속을 이 광파이버(3O)를 통해서 사출단(3OE)으로부터 사출한다.

2. 发明公开

KR1020050067102A 노광방법 및 장치 失效
标题翻译：曝光方法和曝光装置
公开(公告)号：KR1020050067102A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020040113180
申请日：2004-12-27
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 오자키타카오 , 우에무라타카유키 , 오카자키요지 , 타카다노리히사 , 시모야마유지 , 나카야다이수케 , 수미카쯔토
IPC分类号： G02F1/13 , G02F1/136
CPC分类号： G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70791
摘要： 본 발명은 저비용으로 포토레지스트에 대한 중간조(halftone) 노광을 실현할 수 있는 노광방법을 얻는 것을 목적으로 한다.
공간 광변조소자에 의해 변조된 광(53)을 포토레지스트에 조사하여, 상기 포토레지스트를 소정 패턴으로 노광하는 노광방법에 있어서, 예컨대 부주사에 따라 포토레지스트의 동일 부분에 광(53)을 조사하는 회수가 바뀌도록 공간 광변조소자의 동작을 제어하여, 포토레지스트에 노광량이 2단계 이상으로 다른 노광영역을 형성한다.

3. 发明公开

KR1020080026548A 패턴 형성 방법 无效
标题翻译：图案形成方法
公开(公告)号：KR1020080026548A
公开(公告)日：2008-03-25
申请号：KR1020077029716
申请日：2006-06-16
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 타카시마마사노부 , 오카자키요지 , 이시카와히로미
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/70216 , G03F7/70783 , G03F9/7026 , G03F7/70275
摘要： A pattern forming method for highly accurately and efficiently forming a permanent pattern such as a wiring pattern by improving exposure performance without causing cost increase of an apparatus nor exposure speed deterioration. The pattern forming method includes at least exposure wherein light from a light irradiation means is modulated to a photosensitive layer by a light modulating means which receives the light from the light irradiation means and modulates the light based on pattern information, and that the light modulated by the light modulating means is permitted to form an image on a plane of the photosensitive layer to be exposed through an imaging means and a focal point adjusting means. In the exposure, the light modulated by the light modulating means is permitted to form the image only in a substantially rectangular region including a center portion of the imaging means, and a short side direction of the substantially rectangular shape is directed toward the swell direction of the photosensitive layer. ® KIPO & WIPO 2008
摘要翻译：一种图案形成方法，用于通过提高曝光性能而高效地形成诸如布线图案的永久图案，而不会导致设备的成本增加或曝光速度劣化。图案形成方法至少包括曝光，其中来自光照射装置的光通过光调制装置调制到感光层，该光调制装置接收来自光照射装置的光并基于图案信息调制光，并且由允许光调制装置在通过成像装置和焦点调节装置曝光的感光层的平面上形成图像。在曝光中，允许由光调制装置调制的光仅在包括成像装置的中心部分的大致矩形区域中形成图像，并且基本上矩形形状的短边方向指向感光层。 ®KIPO＆WIPO 2008

4. 发明公开

KR1020080014992A 노광 장치 无效
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：KR1020080014992A
公开(公告)日：2008-02-15
申请号：KR1020077028567
申请日：2006-06-13
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 후쿠다타케시 , 후쿠이타카시 , 오카자키요지
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70791 , G03F7/70291 , G02B26/0833
摘要： There is provided a low-cost exposure device of simple configuration capable of correcting a plotting pixel position when performing exposure by respective beams emitted from a device selectively modulating the pixels and performing plotting with a high accuracy. According to data for correction associated with a trajectory of the plotting pixel position corresponding to a scan position of a predetermined plotting pixel required at least for correction and stored in a memory of a control unit, an image to be given to each of the plotting pixel is adjusted and a stage and an exposure head are relatively moved in a state that the respective optical beams emitted from the device selectively modulating the plotting pixels arranged on the exposure head according to the adjusted image data are applied to a member placed on the stage so as to be exposed, thereby performing scan exposure with a predetermined pattern to obtain a predetermined plotting shape.
摘要翻译：提供了一种简单配置的低成本曝光装置，其能够通过从选择性地调制像素并且以高精度执行绘图的装置发射的各个光束进行曝光时，校正绘制像素位置。根据与至少需要校正至少需要校正并存储在控制单元的存储器中的预定绘制像素的扫描位置对应的绘图像素位置的轨迹相关联的校正数据，给予每个绘图像素的图像并且在从设备发射的各个光束根据调整后的图像数据选择性地调制布置在曝光头上的绘图像素的状态下被施加到放置在舞台上的构件的状态下相对移动舞台和曝光头。曝光，由此以预定图案进行扫描曝光以获得预定的绘图形状。

5. 发明公开

KR1020080011279A 묘화용 처리 회로, 이 묘화용 처리 회로를 사용한 묘화장치 및 묘화 방법 有权
标题翻译：图像记录处理电路，图像记录装置和使用图像记录处理电路的图像记录方法
公开(公告)号：KR1020080011279A
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：KR1020077024882
申请日：2006-04-28
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 스기타유키오 , 오카자키요지 , 오자키타카오
IPC分类号： G06K15/12 , G03F9/00 , G06K15/00
CPC分类号： G06K15/1252 , G03F7/70291
摘要： Mirror sequential data supplied from an RIP are temporarily stored as divided data in memory banks (M1 through M16) of an intermediate memory (80). Thereafter, the stored mirror sequential data are read in blocks. Then, a transposition processor (82) transposes a matrix of the mirror sequential data into frame sequential data, and supplies the frame sequential data to a DMD controller (42).
摘要翻译：从RIP提供的镜像顺序数据作为分割数据临时存储在中间存储器（80）的存储体（M1至M16）中。此后，存储的镜像顺序数据以块为单位读取。然后，转置处理器（82）将镜顺序数据的矩阵转置成帧顺序数据，并将帧顺序数据提供给DMD控制器（42）。

6. 发明公开

KR1020060071379A 레이저장치 失效
公开(公告)号：KR1020060071379A
公开(公告)日：2006-06-26
申请号：KR1020060048904
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나가노카즈히코 , 오카자키요지 , 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오
IPC分类号： H01S5/00
CPC分类号： G02B6/4201 , G02B6/4206 , G02B6/424 , G02B6/4249 , G02B6/4254 , G02B6/4257 , G02B6/4273
摘要： 복수의 반도체 레이저소자와, 멀티모드 광섬유와, 복수의 반도체 레이저 소자로부터 각각 출사된 레이저빔을 집광하여 멀티모드 광섬유의 입사단에 결합시키는 집광광학계를 구비해서 이루어지는 레이저장치에 있어서, 저비용으로 높은 출력과 신뢰성을 얻는 것을 과제로 한다.
구리 또는 구리합금으로부터 이루어지는 히트블록(방열블록)(10)상에 배열 고정된 7개의 칩상태의 횡싱글모드 싱글캐비티 GaN계 반도체 레이저(LD1∼LD8)와, 콜리메이터렌즈(11)와, 집광렌즈(12)와, 1개의 멀티모드 광섬유(13)와, 멀티모드 광섬유(13)로 이루어지는 레이저장치의 광섬유의 출사단에 직육면체의 유리(14)가 융착되어 있다.
레이저장치, 광섬유, 집광광학계, 반도체

7. 发明公开

KR1020030095313A 레이저 어닐링장치 및 레이저 박막형성장치 无效
标题翻译：激光退火装置和激光薄膜形成装置
公开(公告)号：KR1020030095313A
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：KR1020030036501
申请日：2003-06-05
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 이시카와히로미 , 오카자키요지 , 나가노카즈히코 , 후지이타케시 , 하라다아키노리 , 야마나카후사오 , 야마카와히로미츠
IPC分类号： H01L21/324
CPC分类号： B23K26/0608 , B23K26/0604 , C23C14/28 , C23C16/483
摘要： 적어도 1개의 GaN계 반도체 레이저에 의해, 파장 350∼450nm의 레이저빔을 출사하는 복수의 발광점이 생기도록 구성된 레이저광원과, 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저빔으로 어닐링면상을 주사하는 주사수단을 구비하도록 레이저 어닐링장치를 구성함으로써, 연속구동이 가능하며 출력안정성이 우수한 반도체 레이저를 사용하여, 양호한 결정특성을 갖고 캐리어 이동도가 높은 폴리실리콘막을 재현성 좋고 또한 고속으로 형성할 수 있다. 레이저 어닐링장치는 또한, 각각 제어신호에 따라서 광변조상태가 변화되는 다수의 화소부가 기판상에 배열되고, 레이저광원으로부터 출사된 레이저빔을 변조하는 공간 광변조소자를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 응용예로서, 적어도 1개의 반도체 레이저에 의해, 복수의 발광점이 생기도록 구성된 레이저광원과, 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저빔을 상기 기판의 폭방향으로 라인상으로 집광시키는 광학계를 구비하고, 반응용기내로 레이저빔을 입사시켜서 반응용기내에 공급된 원료가스를 광분해하여 박막을 기판상에 퇴적시키는 레이저 박막형성장치를 구성할 수도 있다.

8. 发明公开

KR1020040070445A 레이저광 합파장치 无效
标题翻译：用于引起从半导体激光器发射到转换和进入光纤的光束的完整组件的激光多路复用装置
公开(公告)号：KR1020040070445A
公开(公告)日：2004-08-09
申请号：KR1020040007030
申请日：2004-02-03
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 야마나카후사오 , 오카자키요지 , 고토치아키 , 시모츠신이치
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/4214 , G02B27/1073 , G02B27/30 , H01S3/08004
摘要： PURPOSE: A laser multiplexing apparatus for causing an entire bundle of light beams emitted from plural semiconductor lasers to enter an optical fiber is provided to acquire laser beams having high energy density by using the entire bundle of the light beams emitted from the plural semiconductor lasers. CONSTITUTION: A laser multiplexing apparatus includes a plurality of semiconductor lasers(11A-11E) in order to offset plural beams emitted from the semiconductor laser diodes to different positions and allow the plural light beams to enter an end side of an optical fiber(40) by converging the plural light beams in a direction of fast axes and in a direction of slow axes of the light beams. The laser multiplexing apparatus further includes an incident angle conversion optic system. The angular conversion optic system converges a bundle of the light beams in the directions of the fast axes and the slow axes of the light beams and allows the converged bundle of the light beams to enter the optical fiber.
摘要翻译：目的：提供一种用于使从多个半导体激光器发射的整束光束进入光纤的激光多路复用装置，以通过使用从多个半导体激光器发射的整个光束获得具有高能量密度的激光束。构成：激光多路复用装置包括多个半导体激光器（11A-11E），以将从半导体激光二极管发射的多个光束偏移到不同的位置，并允许多个光束进入光纤（40）的端侧，通过使多个光束在快轴的方向和光束的慢轴方向上会聚。激光多路复用装置还包括入射角转换光学系统。角度转换光学系统在光束的快轴和慢轴的方向上会聚一束光束，并且允许光束的会聚束进入光纤。

9. 发明公开

KR1020040070092A 광섬유의 접속구조 无效
标题翻译：用于连接两个光纤前端的光纤连接结构
公开(公告)号：KR1020040070092A
公开(公告)日：2004-08-06
申请号：KR1020040006247
申请日：2004-01-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 테라무라유이치 , 오카자키요지 , 야마나카후사오
IPC分类号： G02B6/38
CPC分类号： G02B6/387 , G02B6/3849 , G02B6/4238
摘要： PURPOSE: An optical fiber connection structure for connecting front ends of two optical fibers to each other is provided to prevent particles from front ends of the optical fibers by connecting simply the front ends of the optical fibers to each other. CONSTITUTION: An optical fiber connection structure includes a connecting structure between each front end of cores of two optical fibers(11,12) without fusing two optical fibers, each other. Each front end of the optical fibers including each front end of cores of the optical fibers is inserted into a sealing space. An inert gas or a predetermined transparent solution is injected into the sealing space. The predetermined transparent solution is analyzed by beams traveling the optical fibers. The inert gas includes oxygen of 1 ppm or more, a halogen gas, and/or a halogen compound gas.
摘要翻译：目的：提供一种用于将两根光纤的前端彼此连接的光纤连接结构，通过简单地将光纤的前端彼此连接来防止光纤前端的颗粒。构成：光纤连接结构包括两个光纤（11,12）的芯的每个前端之间的连接结构，而不使两个光纤彼此熔合。包括光纤的芯的每个前端的光纤的每个前端插入到密封空间中。将惰性气体或预定的透明溶液注入到密封空间中。通过光纤行进的光束来分析预定的透明溶液。惰性气体包括1ppm以上的氧，卤素气体和/或卤素化合物气体。

10. 发明公开

KR1020080017400A 노광 장치 및 노광 방법 无效
标题翻译：曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR1020080017400A
公开(公告)日：2008-02-26
申请号：KR1020077030446
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤 , 후지논 가부시키가이샤
发明人： 코모리카즈키 , 이시카와히로미 , 오모리토시히코 , 오카자키요지 , 바바토모유키
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/70275 , G02B26/0833 , G02F2203/12
摘要： An exposure image is accurately projected. The exposure apparatus is provided with, as constituent elements, a light source for outputting exposure light; a DMD, which has a plurality of two-dimensionally arranged pixel sections and performs spatial light modulation to the exposure light entered into the pixels sections from the light source by pixel section, based on an image signal; and a telecentric optical system, which is arranged on an optical path of the exposure light entered into the DMD and makes the main beams of the exposure light parallel.
摘要翻译：准确投影曝光图像。作为组成元件，曝光装置设置有用于输出曝光光的光源; DMD，其具有多个二维排列的像素部分，并且基于图像信号对从像素部分的光源进入像素部分的曝光光进行空间光调制; 以及远心光学系统，其布置在入射到DMD中的曝光光的光路上，并使曝光的主光束平行。

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