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1. 发明授权

KR100909819B1 레이저장치 失效
公开(公告)号：KR100909819B1
公开(公告)日：2009-07-28
申请号：KR1020060048904
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나가노카즈히코 , 오카자키요지 , 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오
IPC分类号： H01S5/00
CPC分类号： G02B6/4201 , G02B6/4206 , G02B6/424 , G02B6/4249 , G02B6/4254 , G02B6/4257 , G02B6/4273
摘要： 복수의 반도체 레이저소자와, 멀티모드 광섬유와, 복수의 반도체 레이저 소자로부터 각각 출사된 레이저빔을 집광하여 멀티모드 광섬유의 입사단에 결합시키는 집광광학계를 구비해서 이루어지는 레이저장치에 있어서, 저비용으로 높은 출력과 신뢰성을 얻는 것을 과제로 한다.
구리 또는 구리합금으로부터 이루어지는 히트블록(방열블록)(10)상에 배열 고정된 7개의 칩상태의 횡싱글모드 싱글캐비티 GaN계 반도체 레이저(LD1∼LD8)와, 콜리메이터렌즈(11)와, 집광렌즈(12)와, 1개의 멀티모드 광섬유(13)와, 멀티모드 광섬유(13)로 이루어지는 레이저장치의 광섬유의 출사단에 직육면체의 유리(14)가 융착되어 있다.
레이저장치, 광섬유, 집광광학계, 반도체

2. 发明授权

KR100903982B1 레이저장치 失效
标题翻译：激光装置
公开(公告)号：KR100903982B1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：KR1020060048892
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나가노카즈히코 , 오카자키요지 , 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오
IPC分类号： H01S5/00 , G02B27/00
CPC分类号： G02B6/4201 , G02B6/4206 , G02B6/424 , G02B6/4249 , G02B6/4254 , G02B6/4257 , G02B6/4273
摘要： 복수의 반도체 레이저소자와, 멀티모드 광섬유와, 복수의 반도체 레이저 소자로부터 각각 출사된 레이저빔을 집광하여 멀티모드 광섬유의 입사단에 결합시키는 집광광학계를 구비해서 이루어지는 레이저장치에 있어서, 저비용으로 높은 출력과 신뢰성을 얻는 것을 과제로 한다.
구리 또는 구리합금으로부터 이루어지는 히트블록(방열블록)(10)상에 배열 고정된 7개의 칩상태의 횡싱글모드 싱글캐비티 GaN계 반도체 레이저(LD1∼LD8)와, 콜리메이터렌즈(11)와, 집광렌즈(12)와, 1개의 멀티모드 광섬유(13)와, 멀티모드 광섬유(13)로 이루어지는 레이저장치의 광섬유의 출사단에 직육면체의 유리(14)가 융착되어 있다.
레이저장치, 광섬유, 집광광학계, 반도체

3. 发明公开

KR1020060071378A 레이저장치 失效
标题翻译：激光装置
公开(公告)号：KR1020060071378A
公开(公告)日：2006-06-26
申请号：KR1020060048892
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나가노카즈히코 , 오카자키요지 , 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오
IPC分类号： H01S5/00 , G02B27/00
CPC分类号： G02B6/4201 , G02B6/4206 , G02B6/424 , G02B6/4249 , G02B6/4254 , G02B6/4257 , G02B6/4273
摘要： 복수의 반도체 레이저소자와, 멀티모드 광섬유와, 복수의 반도체 레이저 소자로부터 각각 출사된 레이저빔을 집광하여 멀티모드 광섬유의 입사단에 결합시키는 집광광학계를 구비해서 이루어지는 레이저장치에 있어서, 저비용으로 높은 출력과 신뢰성을 얻는 것을 과제로 한다.
구리 또는 구리합금으로부터 이루어지는 히트블록(방열블록)(10)상에 배열 고정된 7개의 칩상태의 횡싱글모드 싱글캐비티 GaN계 반도체 레이저(LD1∼LD8)와, 콜리메이터렌즈(11)와, 집광렌즈(12)와, 1개의 멀티모드 광섬유(13)와, 멀티모드 광섬유(13)로 이루어지는 레이저장치의 광섬유의 출사단에 직육면체의 유리(14)가 융착되어 있다.
레이저장치, 광섬유, 집광광학계, 반도체
摘要翻译：以及会聚光学系统，其将从多个半导体激光元件，多模光纤以及多个半导体激光元件分别射出的激光束会聚并将该激光耦合到多模光纤的入射端，并获得可靠性。

4. 发明授权

KR101093025B1 레이저 모듈 有权
公开(公告)号：KR101093025B1
公开(公告)日：2011-12-13
申请号：KR1020040078404
申请日：2004-10-01
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오 , 나가노카즈히코 , 오카자키요우지
IPC分类号： H01S5/022
CPC分类号： G02B6/4206 , G02B6/4248
摘要： 본 발명은, 발진파장이 350∼450㎚의 범위에 있는 반도체 레이저 소자를 밀폐용기내에 배치해서 이루어지는 레이저 모듈에 있어서, 밀폐용기내에서의 유기 휘발가스의 발생을 억제하여, 고수명화를 달성하는 것을 과제로 한다.
발진파장이 350∼450㎚의 범위에 있고, 5500시간이상의 수명을 갖는 반도체 레이저(LD7)를 밀폐용기(40,41)안에 배치해서 이루어지는 레이저 모듈에 있어서, 밀폐용기(40,41)내에 배치하는 광학부품으로서, 150℃에 있어서의 GC-MASS 평가에 의한 유기 휘발가스 발생량이 10㎍/g이하인 것을 사용하는 한편, 광학부품(예를 들면 콜리메이터 렌즈(17))을 고정하는 유기접착제로서, 150℃에 있어서의 GC-MASS 평가에 의한 유기 휘발가스 발생량이 300㎍/g이하인 것을 사용한다.

5. 发明授权

KR101093026B1 레이저 모듈 有权
标题翻译：激光模块
公开(公告)号：KR101093026B1
公开(公告)日：2011-12-13
申请号：KR1020040078407
申请日：2004-10-01
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오 , 나가노카즈히코
IPC分类号： H01S5/022
CPC分类号： G02B6/4206 , G02B6/4239 , H01L2224/48091 , H01L2924/12044 , H01S5/005 , H01S5/0222 , H01S5/02248 , H01S5/02284 , H01S5/4012 , H01S5/4031 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： 본 발명은, 발진파장이 350∼450㎚의 범위에 있는 반도체 레이저 소자를 밀폐용기내에 배치해서 이루어지는 레이저 모듈에 있어서, 밀폐용기내에서의 유기 휘발가스의 발생을 억제하여, 고수명화를 달성하는 것을 과제로 한다.
발진파장이 350∼450㎚의 범위에 있는 반도체 레이저(LD7)를 밀폐용기(40,41)안에 배치해서 이루어지는 레이저 모듈에 있어서, 밀폐용기(40,41)내에 배치하는 광학부품으로서, 150℃에 있어서의 GC-MASS 평가에 의한 유기 휘발가스 발생량이 10㎍/g이하인 것을 사용하는 한편, 광학부품(예를 들면 콜리메이터 렌즈(17))을 고정하는 유기접착제로서, 150℃에 있어서의 GC-MASS 평가에 의한 유기 휘발가스 발생량이 100㎍/g이하인 것을 사용한다.

6. 发明公开

KR1020050033030A 레이저 모듈 有权
标题翻译：激光模块
公开(公告)号：KR1020050033030A
公开(公告)日：2005-04-08
申请号：KR1020040078407
申请日：2004-10-01
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오 , 나가노카즈히코
IPC分类号： H01S5/022
CPC分类号： G02B6/4206 , G02B6/4239 , H01L2224/48091 , H01L2924/12044 , H01S5/005 , H01S5/0222 , H01S5/02248 , H01S5/02284 , H01S5/4012 , H01S5/4031 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： A laser module is provided to suppress the generation of organic volatile gas in the airtight container and to prolong the lifetime of the laser module. A laser module includes a semiconductor laser device(LD7), a sealed container(40) and a plurality of optical components. The semiconductor laser device is placed inside the sealed container and has an emission wavelength from 350 to 450 nm. The optical components are positioned in the sealed container to generate the organic volatile gas. The organic volatile gas measured by GC-MASS is 10 ug/g or less at 150 °C. An organic adhesive is used to fix the optical components such as a collimating lens(17). In the organic adhesive, the amount of an organic volatile gas generation measured by GC-MASS is 100 mug/g or less at 150 °C.
摘要翻译：提供激光模块以抑制气密容器中有机挥发性气体的产生并延长激光模块的使用寿命。激光模块包括半导体激光装置（LD7），密封容器（40）和多个光学部件。半导体激光器件放置在密封容器内，发射波长为350〜450nm。光学部件被定位在密封容器中以产生有机挥发性气体。通过GC-MASS测量的有机挥发性气体在150℃下为10ug / g以下。使用有机粘合剂来固定诸如准直透镜（17）的光学部件。在有机粘合剂中，通过GC-MASS测量的有机挥发性气体产生量在150℃下为100mug / g以下。

7. 发明公开

KR1020050033029A 레이저 모듈 有权
标题翻译：激光模块
公开(公告)号：KR1020050033029A
公开(公告)日：2005-04-08
申请号：KR1020040078404
申请日：2004-10-01
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오 , 나가노카즈히코 , 오카자키요우지
IPC分类号： H01S5/022
CPC分类号： G02B6/4206 , G02B6/4248
摘要： A laser module is provided to suppress the generation of organic volatile gas in the container and to increase the life time of the laser module. A laser module includes a semiconductor laser device(LD7), a sealed container(40) and a plurality of optical components. The semiconductor laser device is placed inside the sealed container and has an emission wavelength from 350 to 450 nm. The optical components are positioned in the sealed container to generate the organic volatile gas. The organic volatile gas measured by GC-MASS is 10 ug/g or less at 150 °C. An organic adhesive is used to fix the optical components like a collimating lens(17). In the organic adhesive, the amount of an organic volatile gas measured by GC-MASS is 300 ug/g or less at 150 °C.
摘要翻译：提供激光模块来抑制容器中有机挥发性气体的产生并增加激光模块的使用寿命。激光模块包括半导体激光装置（LD7），密封容器（40）和多个光学部件。半导体激光器件放置在密封容器内，发射波长为350〜450nm。光学部件被定位在密封容器中以产生有机挥发性气体。通过GC-MASS测量的有机挥发性气体在150℃下为10ug / g以下。使用有机粘合剂来固定光学部件，如准直透镜（17）。在有机粘合剂中，通过GC-MASS测量的有机挥发性气体的量在150℃下为300ug / g以下。

8. 发明公开

KR1020060071379A 레이저장치 失效
公开(公告)号：KR1020060071379A
公开(公告)日：2006-06-26
申请号：KR1020060048904
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나가노카즈히코 , 오카자키요지 , 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오
IPC分类号： H01S5/00
CPC分类号： G02B6/4201 , G02B6/4206 , G02B6/424 , G02B6/4249 , G02B6/4254 , G02B6/4257 , G02B6/4273
摘要： 복수의 반도체 레이저소자와, 멀티모드 광섬유와, 복수의 반도체 레이저 소자로부터 각각 출사된 레이저빔을 집광하여 멀티모드 광섬유의 입사단에 결합시키는 집광광학계를 구비해서 이루어지는 레이저장치에 있어서, 저비용으로 높은 출력과 신뢰성을 얻는 것을 과제로 한다.
구리 또는 구리합금으로부터 이루어지는 히트블록(방열블록)(10)상에 배열 고정된 7개의 칩상태의 횡싱글모드 싱글캐비티 GaN계 반도체 레이저(LD1∼LD8)와, 콜리메이터렌즈(11)와, 집광렌즈(12)와, 1개의 멀티모드 광섬유(13)와, 멀티모드 광섬유(13)로 이루어지는 레이저장치의 광섬유의 출사단에 직육면체의 유리(14)가 융착되어 있다.
레이저장치, 광섬유, 집광광학계, 반도체

9. 发明公开

KR1020030095313A 레이저 어닐링장치 및 레이저 박막형성장치 无效
标题翻译：激光退火装置和激光薄膜形成装置
公开(公告)号：KR1020030095313A
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：KR1020030036501
申请日：2003-06-05
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 이시카와히로미 , 오카자키요지 , 나가노카즈히코 , 후지이타케시 , 하라다아키노리 , 야마나카후사오 , 야마카와히로미츠
IPC分类号： H01L21/324
CPC分类号： B23K26/0608 , B23K26/0604 , C23C14/28 , C23C16/483
摘要： 적어도 1개의 GaN계 반도체 레이저에 의해, 파장 350∼450nm의 레이저빔을 출사하는 복수의 발광점이 생기도록 구성된 레이저광원과, 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저빔으로 어닐링면상을 주사하는 주사수단을 구비하도록 레이저 어닐링장치를 구성함으로써, 연속구동이 가능하며 출력안정성이 우수한 반도체 레이저를 사용하여, 양호한 결정특성을 갖고 캐리어 이동도가 높은 폴리실리콘막을 재현성 좋고 또한 고속으로 형성할 수 있다. 레이저 어닐링장치는 또한, 각각 제어신호에 따라서 광변조상태가 변화되는 다수의 화소부가 기판상에 배열되고, 레이저광원으로부터 출사된 레이저빔을 변조하는 공간 광변조소자를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 응용예로서, 적어도 1개의 반도체 레이저에 의해, 복수의 발광점이 생기도록 구성된 레이저광원과, 상기 레이저광원으로부터 출사된 레이저빔을 상기 기판의 폭방향으로 라인상으로 집광시키는 광학계를 구비하고, 반응용기내로 레이저빔을 입사시켜서 반응용기내에 공급된 원료가스를 광분해하여 박막을 기판상에 퇴적시키는 레이저 박막형성장치를 구성할 수도 있다.

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