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1. 发明授权

KR100986218B1 묘화헤드, 묘화장치 및 묘화방법 有权
标题翻译： LITHOGRAPHY HEAD，LITHOGRAPHY DEVICE AND LITHOGRAPHY METHOD
公开(公告)号：KR100986218B1
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：KR1020030079980
申请日：2003-11-13
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나카야다이수케 , 오자키타카오 , 이시카와히로미
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： B41J2/5056 , B41J2/46 , B41J2/465 , B41J25/003 , G06K15/1238
摘要： 본 발명은 비용의 상승을 초래하는 일없이 고해상도이고 또한 얼룩이 없는 화상을 얻을 수 있는 화상기록헤드 및 화상기록장치를 얻는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 노광영역의 실제 경사각(θ')이 이상 경사각으로부터 벗어나 있는 경우에 열방향의 사용화소수를 실제 경사각(θ')을 따라 변경하여 화상을 기록함으로써 피치(P)의 벗어남을 일정 범위로 억제한다.

2. 发明授权

KR100752588B1 묘화방법 및 묘화장치 有权
标题翻译： LITHOGRAPHY方法和LITHOGRAPHY设备
公开(公告)号：KR100752588B1
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：KR1020040057359
申请日：2004-07-22
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나카야다이수케 , 후지이타케시 , 시모야마유지
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： B41J2/465 , G06K15/1252
摘要： 본 발명은 입사된 광을 입력된 제어신호에 따라 변조하는 마이크로미러가 다수 배열된 공간 광변조소자를 갖는 노광헤드를 노광면을 따라 주사방향으로 상대적으로 이동시켜 노광을 행하는 노광장치에 있어서 공간 광변조소자에 있어서의 갱신시간을 보다 단축하는 것을 목적으로 한다.
DMD(50)의 주사방향에 따른 768열의 마이크로미러 중 192열만을 사용하고, 다시, 이 192열을 5개의 영역(영역1~5)으로 분할하고, 영역1로부터 영역5로 순서대로 제어신호를 전송함과 아울러 전송이 종료된 영역으로부터 순차, 마이크로미러의 리셋을 행한다.

3. 发明授权

KR100742254B1 묘화장치 및 묘화방법 有权
标题翻译： LITHOGRAPHY设备和LITHOGRAPHY方法
公开(公告)号：KR100742254B1
公开(公告)日：2007-07-24
申请号：KR1020040057352
申请日：2004-07-22
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 시모야마유지 , 후지이타케시 , 나카야다이수케
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： H04N1/0408 , H04N1/0402 , H04N1/0458 , H04N1/1008 , H04N1/19505
摘要： 본 발명은, 주사속도를 느리게 하거나, 또는 묘화소자군의 변조속도를 빠르게 하지 않고, 주사방향의 해상도를 높일 수 있는 묘화장치 및 묘화방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
노광배율(B)이 소수점이하의 수치를 가질 경우, 부 주사방향(Y)으로 인접하는 화소끼리는 부 주사방향(Y)상에 배열되지 않고, 주사방향(X)으로 어긋난다. 예를 들면, 마이크로 미러(62A)로 노광되는 화소(A)와, 마이크로 미러(62B)로 노광되는 화소(B)는 Z만큼 어긋나 있다. 그리고, 1개 건너뛴 화소(A,C,E…)가 부 주사선(L1)상에 배열되고, 화소(B,D,F…)가 부 주사선(L2)상에 배열된다. 즉, 부 주사방향(Y)으로 1개 건너뛴 화소가 부 주사방향(Y)상에 배열되게 된다. 부 주사선(L1)과 부 주사선(L2)의 간격은 1㎛이다. 따라서, 주사방향(X)에 있어서, 최소단위를 1㎛로 하는 화상형성을 행할 수 있다.

4. 发明授权

KR100763431B1 노광 장치 및 노광 방법 有权
标题翻译：曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR100763431B1
公开(公告)日：2007-10-04
申请号：KR1020050026048
申请日：2005-03-29
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 카타야마토루 , 나카야다이수케 , 조고나오주미
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03B27/52 , G03F7/70258 , G03F7/70275 , G03F7/70725
摘要： An exposure apparatus and method in which an image is formed on a recording medium mounted on a recording stage by irradiating a light beam based on image data from a recording head while the recording head and the recording stage are relatively moved, in the exposure apparatus and method, storing in advance, in a storage section, shift-amount data of a detected displacement of an image-form position with respect to a stage surface of the recording stage in a direction intersecting a direction in which the recording stage moves, which displacement occurs accompanied by movement of the recording stage; carrying out shifting for each of pixels of an image formed by the image data based on the shift-amount data stored in the storage section; and controlling exposure for the recording medium based on image data of the shifted image, is provided to reduce distortion of the image.

5. 发明公开

KR1020060044837A 노광 장치 및 방법 有权
标题翻译：曝光装置和方法
公开(公告)号：KR1020060044837A
公开(公告)日：2006-05-16
申请号：KR1020050025427
申请日：2005-03-28
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 카타야마토루 , 나카야다이수케 , 조고나오주미
IPC分类号： G11B7/26 , G11B7/0045
CPC分类号： H04N1/053 , G03F7/70358 , G03F7/70383 , G03F7/709 , H04N1/00002 , H04N1/00018 , H04N1/0005 , H04N1/00082 , H04N1/00087 , H04N1/0009 , H04N1/00092 , H04N1/1013 , H04N2201/04734 , H04N2201/04739 , H04N2201/04755 , H04N2201/04774
摘要： 기록 매체에 묘화되는 화상의 왜곡을 저감시키기 위해서, 기록 스테이지 위에 탑재된 기록 매체에 기록 헤드로부터 광빔을 조사하고, 상기 기록 스테이지와 상기 기록 헤드를 상대적으로 이동시켜, 상기 기록 매체에 소정의 화상을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기록 스테이지의 이동에 따라 발생하는 피칭 진동에 의한 위치 어긋남을 검출하는 위치 어긋남 검출부와, 상기 위치 어긋남 검출부에 의해 검출된 위치 어긋남량 데이터를 기억하는 기억부와, 상기 기억부에 기억된 상기 위치 어긋남량 데이터에 기초하고, 상기 기록 헤드로부터 상기 광빔을 조사하는 타이밍을 보정하는 보정부와, 상기 보정부에 의해 보정된 상기 타이밍에 기초하여, 상기 기록 매체에의 노광을 제어하는 제어부를 구비하는 노광 장치를 제공한다.
노광 장치, 기록 스테이지, 기록 헤드, 위치 어긋남 검출부
摘要翻译：光束从记录头照射到安装在记录台上的记录介质，以使记录台和记录头相对移动，从而将预定图像记录在记录介质上用于暴露的曝光装置，以及用于存储位置偏差检测部的存储单元，和由检测到的位置的位移的数据，所述位置偏移检测器，用于检测位移由于响应产生到存储台的移动时，存储所述俯仰振动存储在基于数据量的部分的位置的偏差的基础上，校正和由校正部校正后的所述定时用于校正从记录头照射的光束，在记录介质的曝光的定时以及用于控制曝光设备的控制器。

6. 发明公开

KR1020050004069A 화상기록방법 및 화상기록장치 失效
标题翻译：用于校正图像记录位置偏差的图像记录方法和装置
公开(公告)号：KR1020050004069A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：KR1020040051140
申请日：2004-07-01
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 우에무라타카유키 , 나카야다이수케 , 후지이타케시
IPC分类号： G03G15/04
CPC分类号： B41J2/465
摘要： PURPOSE: An image recording method and apparatus are provided to correct deviation of an image recording position without using a mechanical adjustment tool even when an error is generated in magnification of each of recording device units when an image is recorded using a recording head having the recording device units. CONSTITUTION: A recording head, which constructed in such a manner that a plurality of recording device units are arranged in a direction crossing a scanning direction, scans an image recording plane to record an image on the image recording plane using a dot pattern. Each of the recording device units includes a light source and an optical system for receiving light emitted from the light source, forming a two-dimensionally arranged light beam and condensing the light beam to the image recording plane. An image recording method calculates a variation in the position of beam spot on the image recording plane, which is generated due to a variation in the magnification of the optical system, changes light-emitting timing when scanning is initialized based on the calculated variation, and changes resolution of the direction intersecting the scanning direction based on a variation in the direction intersecting the scanning direction.
摘要翻译：目的：提供图像记录方法和装置，以便即使当使用具有记录的记录头来记录图像时，即使在每个记录装置单元的倍率中产生误差时，也不使用机械调节工具来校正图像记录位置的偏差设备单位。构成：以与多个记录装置单元沿扫描方向相交的方式构造的记录头，使用点图案扫描图像记录面，在图像记录面上记录图像。每个记录装置单元包括光源和用于接收从光源发射的光的光学系统，形成二维布置的光束并将光束会聚到图像记录面。图像记录方法计算由于光学系统的倍率的变化而产生的图像记录面上的光点的位置变化，基于计算出的变化来改变扫描被初始化时的发光定时，以及基于与扫描方向相交的方向的变化，改变与扫描方向相交的方向的分辨率。

7. 发明授权

KR101029262B1 묘화헤드 유닛, 묘화장치 및 묘화방법 有权
标题翻译： LITHOGRAPHY HEAD UNIT，LITHOGRAPHY DEVICE AND LITHOGRAPHY METHOD
公开(公告)号：KR101029262B1
公开(公告)日：2011-04-18
申请号：KR1020030096648
申请日：2003-12-24
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나카야다이수케 , 후지이타케시 , 수미카쯔토 , 오자키타카오
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： H04N1/1008 , H04N1/047 , H04N1/1911 , H04N1/393 , H04N2201/04767
摘要： 본 발명은 복수의 묘화헤드로 주사 방향의 배율 오차를 해소할 수 있고, 또한, 주사 방향의 전체에서의 배율변환을 행할 수도 있는 묘화헤드 유닛과, 묘화장치 및 묘화방법을 얻는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 복수의 노광헤드(166)가 적어도 주사 방향을 따라 복수개 배치되어 노광헤드 유닛(165)이 구성된다. 노광헤드(166)마다 화소의 갱신 타이밍을 변경함으로써 노광헤드(166) 사이에서의 주사 방향의 배율 오차를 보정한다.

8. 发明授权

KR100726187B1 화상기록방법 및 화상기록장치 失效
标题翻译：图像记录方法和图像记录装置
公开(公告)号：KR100726187B1
公开(公告)日：2007-06-11
申请号：KR1020040051140
申请日：2004-07-01
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 우에무라타카유키 , 나카야다이수케 , 후지이타케시
IPC分类号： G03G15/04
CPC分类号： B41J2/465
摘要： 본 발명은 복수의 기록소자 유닛을 주사방향과 교차하는 방향으로 배열함으로써 구성된 기록헤드에 의해서 화상을 기록하는 경우에 각각의 기록소자 유닛의 광학배율에 오차가 생겨도 기계적인 조정기구를 이용하는 일없이 화상기록위치의 어긋남을 보정할 수 있는 것을 과제로 한다.
기록소자 유닛(166)에 있어서의 광학계의 물리적으로 기기 오차, 설치시의 오차, 환경온도나 습도에 의한 경시적인 변화에 기인하는 광학배율의 변동을, 광량 모니터(50)에 의한 계측으로 미리 인식하고, 그 변위량에 기초하여 주사방향에 있어서는 화상기록 개시 타이밍을 보정하고, 주사방향과 직교하는 방향에 있어서는 해상도를 변경함으로써 표준배율시의 화상의 위치를 유지하도록 하였기 때문에 기록소자 유닛(166)을 회전 이동시켜 조정하는 등, 번잡한 조정기구를 가지는 일없이 감광재료(150)에 대한 화상기록위치의 어긋남을 해소할 수 있다.

9. 发明公开

KR1020050067102A 노광방법 및 장치 失效
标题翻译：曝光方法和曝光装置
公开(公告)号：KR1020050067102A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020040113180
申请日：2004-12-27
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 오자키타카오 , 우에무라타카유키 , 오카자키요지 , 타카다노리히사 , 시모야마유지 , 나카야다이수케 , 수미카쯔토
IPC分类号： G02F1/13 , G02F1/136
CPC分类号： G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70791
摘要： 본 발명은 저비용으로 포토레지스트에 대한 중간조(halftone) 노광을 실현할 수 있는 노광방법을 얻는 것을 목적으로 한다.
공간 광변조소자에 의해 변조된 광(53)을 포토레지스트에 조사하여, 상기 포토레지스트를 소정 패턴으로 노광하는 노광방법에 있어서, 예컨대 부주사에 따라 포토레지스트의 동일 부분에 광(53)을 조사하는 회수가 바뀌도록 공간 광변조소자의 동작을 제어하여, 포토레지스트에 노광량이 2단계 이상으로 다른 노광영역을 형성한다.

10. 发明公开

KR1020040069959A 묘화헤드 유닛, 묘화장치 및 묘화방법 有权
标题翻译：用于对相对成像表面进行相对运动的成像头单元，具有该成像装置的成像装置以及使用其的成像方法
公开(公告)号：KR1020040069959A
公开(公告)日：2004-08-06
申请号：KR1020030096648
申请日：2003-12-24
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나카야다이수케 , 후지이타케시 , 수미카쯔토 , 오자키타카오
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： H04N1/1008 , H04N1/047 , H04N1/1911 , H04N1/393 , H04N2201/04767
摘要： PURPOSE: An imaging head unit for performing a relative movement to a respective imaging surface, an imaging device having the same, and an imaging method using the same are provided to correct for scale factor differences of imaging heads in a scanning direction and implement a scale factor conversion process over the scanning direction. CONSTITUTION: In each row, the respective exposure heads which are arranged in a line, are installed to be offset by a predetermined interval in the head arrangement direction so as the band-form exposed regions(170) partially overlap with respective neighboring the exposed regions(170). A portion between the exposure area(16811) and the exposure area(16812) of the first row is exposed by the exposure area(16821) of the second row and the exposure area(16831) of the third row. At each of the exposure heads(16611-166mn), a digital micromirror device (DMD) is provided to serve as a spatial light modulation element for modulating an incident light beam at each of pixels according to image data. The DMD is connected to an unillustrated controller, which is provided with a data processing section and a mirror driving control section. At the data processing section of this controller, on the basis of inputted image data, control signals are generated for driving control of each micromirror in a region of the DMD at the corresponding exposure head which region is to be controlled.
摘要翻译：目的：提供一种用于对各个成像面进行相对移动的成像头单元，具有该成像装置的成像装置和使用该成像装置的成像装置，以校正成像头在扫描方向上的比例因子差异并实现刻度因子转换过程在扫描方向。构成：在每排中，布置成一行的各个曝光头被安装成在磁头排列方向上偏移预定的间隔，以使带状曝光区域（170）与相邻的曝光区域部分地重叠（170）。第一行的曝光区域（16811）和曝光区域（16812）之间的一部分被第二行的曝光区域（16821）和第三行的曝光区域（16831）曝光。在每个曝光头（16611-166mn）处，提供数字微镜装置（DMD），用作根据图像数据调制每个像素处的入射光束的空间光调制元件。 DMD连接到未示出的控制器，其设置有数据处理部分和反射镜驱动控制部分。在该控制器的数据处理部分，基于输入的图像数据，生成控制信号，用于在要控制该区域的相应曝光头的DMD的区域中驱动每个微镜的控制。

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