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    • 2. 发明公开
    • 반도체막의 성장 방법
    • 生长半导体膜的方法
    • KR1020160047387A
    • 2016-05-02
    • KR1020150127775
    • 2015-09-09
    • 한국전자통신연구원
    • 고영호김동철김성복남은수배성범임영안
    • H01L33/22H01L33/00
    • 본발명의실시예에따른반도체막의성장방법은제1 반도체막상에개구부들을포함하는제1 마스크패턴을형성하는단계; 상기개구부들을통해노출된상기제1 반도체막의표면으로부터제2 반도체막을성장시켜서, 오목부및 돌출부를포함하는상기제2 반도체막을형성하는단계; 상기돌출부의상면이노출되도록상기오목부내부를제2 마스크막으로채우는단계; 상기제2 마스크막및 상기돌출부의상면을덮는제3 마스크막을형성하는단계; 상기돌출부상면상에제3 마스크패턴이잔류될수 있도록상기제2 마스크막을제거하면서상기제2 마스크막상에중첩된상기제3 마스크막의일부를제거하는단계; 및상기제3 마스크패턴에의해상기돌출부의상면이차단된상태에서, 상기오목부를통해노출된상기제2 반도체막의표면으로부터제3 반도체막을성장시키는단계를포함할수 있다.
    • 本发明的一个实施方案提供一种能够减少裂纹和缺陷密度的半导体膜的生长方法。 根据本发明实施例的用于生长半导体膜的方法包括以下步骤:在第一半导体膜上形成具有开口部分的第一掩模图案; 通过从通过所述开口部暴露的所述第一半导体膜的表面生长所述第二半导体膜,形成具有凹部和突出部的第二半导体膜; 在露出突出部的上表面的同时用第二掩模膜填充凹部的内部; 形成覆盖所述第二掩模膜和所述突出部的上表面的第三掩模膜; 除去重叠在第二掩模膜上的第三掩模膜的一部分,同时移除第二掩模膜,以便允许第三掩模图案残留在突出部分的上表面上; 以及在突出部分的上表面被第三掩模图案阻挡的状态下,通过凹部暴露的第二半导体膜的表面生长第三半导体膜。
    • 3. 发明公开
    • 모드 크기 변환기 및 그의 제조방법
    • SPOT SIZE转换器及其制造方法
    • KR1020130112548A
    • 2013-10-14
    • KR1020120035014
    • 2012-04-04
    • 한국전자통신연구원
    • 권오기이철욱이동훈임영안한영탁백용순정윤철
    • G02B6/122G02B6/13
    • G02B6/1228G02B6/305
    • PURPOSE: A spot size converter and a manufacturing method thereof are provided to improve the yield of manufactured elements, thereby improving the productivity. CONSTITUTION: A spot size converter comprises a first waveguide (31) and a second waveguide (51). The substrate contains indium phosphide (InP) or gallium arsenide (GaAs). The first waveguide comprises a core layer (30). The core layer is tapered in a first direction in one side of the substrate and extends in a predetermined width in the other side. The second waveguide comprises a waveguide layer (50). The second waveguide covers the first waveguide in one side of the substrate, extends while being tapered in a second direction opposite to the first direction, and has the waveguide layer with the same width as the core layer in the other side of the substrate.
    • 目的:提供点尺寸转换器及其制造方法以提高制造元件的产量,从而提高生产率。 构成:点尺寸转换器包括第一波导(31)和第二波导(51)。 衬底包含磷化铟(InP)或砷化镓(GaAs)。 第一波导包括芯层(30)。 芯层在基板的一侧沿第一方向逐渐变细,并在另一侧以预定的宽度延伸。 第二波导包括波导层(50)。 第二波导覆盖基板的一侧的第一波导,沿与第一方向相反的第二方向呈锥形延伸,并且在基板的另一侧具有与芯层相同的宽度的波导层。
    • 4. 发明公开
    • 비대칭 결합계수를 갖는 분포 궤환형 레이저 다이오드 및 그것의 제조 방법
    • 具有不对称耦合系数的分布式反馈激光二极管及其制造方法
    • KR1020130003913A
    • 2013-01-09
    • KR1020110065556
    • 2011-07-01
    • 한국전자통신연구원
    • 권오기임영안이동훈이철욱백용순정윤철
    • H01S5/12
    • H01S5/124H01S5/1003H01S5/2077H01S2301/163
    • PURPOSE: A distributed feedback laser diode and a manufacturing method thereof are provided to obtain a single mode characteristic by equipping a diffraction grid layer having asymmetry coupling coefficient. CONSTITUTION: A first area(111) has a first grating formed shaft. A second area(112) is formed to be adjacent to the first area. The second area has the second diffraction grid layer. An active layer is formed on first and second area frames. The first and second areas form respectively different coupling coefficients of the first and second diffraction grid layers. A distribution feedback laser diode moves a phase of diffraction grid in order to perform single longitudinal mode operation. [Reference numerals] (AA) Λ/4 phase shift diffraction grating; (BB) Diffraction grating; (CC) Active layer; (DD) Spacer
    • 目的:提供分布式反馈激光二极管及其制造方法,通过装配具有不对称耦合系数的衍射栅格层来获得单模特性。 构成:第一区域(111)具有第一格栅形成的轴。 第二区域(112)形成为与第一区域相邻。 第二区域具有第二衍射栅格层。 在第一和第二区域框架上形成有源层。 第一和第二区域分别形成第一和第二衍射栅格层的不同耦合系数。 分布反馈激光二极管移动衍射网格的相位,以执行单纵模运行。 (标号)(AA)Λ/ 4相移衍射光栅; (BB)衍射光栅; (CC)活性层; (DD)间隔
    • 5. 发明公开
    • 광 빗살 발생기
    • 光学发电机
    • KR1020120035816A
    • 2012-04-16
    • KR1020100100398
    • 2010-10-14
    • 한국전자통신연구원
    • 권오기이철욱이동훈임영안한영탁백용순
    • G02B6/26G02F1/017G02F1/025
    • G02F1/2257G02B2006/12128G02F2001/01741G02F2001/01758G02F2203/56H01S5/0085H01S5/02248
    • PURPOSE: An optical comb generator is provided to stably generate an optical comb by being integrated on a single substrate. CONSTITUTION: An optical comb generator(100) comprises a substrate(110), a light source(120), and a Mach-Zehnder modulator(130). The Mach-Zehnder modulator comprises a first manual waveguide area(131), a modulation region(133), and a second manual waveguide area(135). The light source outputs light of a single mode. The first manual waveguide area divides the output of the light source into first light and second light. A modulation region includes a first modulator and a second modulator for respectively modulating the first light and the second light. The second manual waveguide area outputs an optical comb by combining output results of the first modulator and the second modulator.
    • 目的:提供光梳发生器,通过集成在单个基板上来稳定地产生光梳。 构成:光梳发生器(100)包括衬底(110),光源(120)和马赫 - 曾德调制器(130)。 马赫 - 策德尔调制器包括第一手动波导区域(131),调制区域(133)和第二手动波导区域(135)。 光源输出单模光。 第一手动波导区域将光源的输出分成第一光和第二光。 调制区域包括用于分别调制第一光和第二光的第一调制器和第二调制器。 第二手动波导区域通过组合第一调制器和第二调制器的输出结果来输出光梳。