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1. 发明授权

KR101984985B1 입자 코팅 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101984985B1
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：KR1020170102443
申请日：2017-08-11
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이덕규 , 임현의 , 정영도 , 송경준 , 박승철 , 허신
IPC分类号： B05C5/02 , B05C13/02 , B05D1/26 , C23C24/00

2. 发明公开

KR1020160054832A 유연소재가 적용된 압전 박막소자의 제작 방법 및 이를 이용한 압전 박막소자 无效
标题翻译：使用柔性材料制造压电薄膜元件的方法及其压电薄膜元件
公开(公告)号：KR1020160054832A
公开(公告)日：2016-05-17
申请号：KR1020140154343
申请日：2014-11-07
申请人： 한국기계연구원
发明人： 곽준혁 , 허신 , 박수아 , 김진환
IPC分类号： H01L41/22 , H01L41/08
CPC分类号： H01L41/22 , H01L41/08
摘要： 본발명은유연소재가적용된압전박막소자의제작방법및 이를적용한박막소자에관한것이다. 또한, 본발명은기판(100) 상에지지막(200)을적층하는지지막적층단계(S1); 상기지지막(200) 상에제1 전극막(300)을적층하는제1 전극막적층단계(S2); 상기제1 전극막(300) 상에압전소재(400)를증착또는적층하는압전소재적층단계(S3); 상기압전소재(400) 상에제2 전극막(500)을적층하는제2 전극막적층단계(S4); 상기지지막(200) 상에적층된층들을둘러싸도록유연소재(600)로코팅하는유연소재코팅단계(S5); 및상기기판(100)의일부또는전체를제거하는기판제거단계(S6); 로이루어지는유연소재가적용된압전박막소자의제작방법에관한것이며, 이를이용한유연소재가적용된압전박막소자에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造柔性材料的压电薄膜元件的制造方法和使用其的压电薄膜元件。本发明的目的是通过在该过程中施加柔性材料来提供压电元件。制造方法包括：（S1）用于在基板（100）上层叠支撑膜（200）的支撑膜层压步骤; （S2）第一电极膜层压步骤，用于将第一电极膜（300）层压在支撑膜（200）上; （S3）用于在第一电极膜（300）上沉积或层叠压电元件（400）的压电元件层压步骤（S3）; （S4）第二电极层叠步骤，用于将第二电极膜（500）层压在压电元件（400）上; （S5）柔性元件涂布步骤，用于涂覆柔性材料（600）以围绕层压在支撑膜（200）上的膜; 以及去除基板（100）的全部或一部分的基板去除工序（S6）。

3. 发明授权

KR101615106B1 MEMS 마이크로폰 및 이의 제조방법 有权
标题翻译： MEMS麦克风及其制造方法
公开(公告)号：KR101615106B1
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：KR1020150044053
申请日：2015-03-30
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이영화 , 허신 , 정영도 , 곽준혁
IPC分类号： H04R19/01 , H04R19/00 , H04R31/00
摘要： 본발명은 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는기판의두께방향중앙에진동막이배치되도록기판의일측과타측을습식식각법을이용하여가공하여공정시 진동막과후판의손상을최소화하고, 제조비용을절감한 MEMS 마이크로폰및 이의제조방법에관한것이다.
摘要翻译： MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及一种MEMS麦克风及其制造方法，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风及其制造方法，该MEMS麦克风及其制造方法在基板的厚度方向的中心配置振动膜，以处理一侧和另一侧通过湿式蚀刻来最小化振动膜和后板的损坏，并节省制造成本。

4. 发明公开

KR1020140137158A 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법 有权
标题翻译： 1芯片型MEMS麦克风及制造1芯型MEMS麦克风的方法
公开(公告)号：KR1020140137158A
公开(公告)日：2014-12-02
申请号：KR1020130057711
申请日：2013-05-22
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 이영화 , 정영도 , 곽준혁 , 지창현
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00
CPC分类号： H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006 , H04R2201/003
摘要： 본 발명은 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 종래의 1칩형 MEMS 마이크로폰의 구조를 개선하여 부품 수 및 공정 수 저감, 부품 재질 교체를 통한 강성 강화 및 비용 절감, 감도 및 성능 향상을 얻을 수 있도록 하는, 1칩형 MEMS 마이크로폰 및 그 제작 방법을 제공함에 있다.
摘要翻译： 1芯片型MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。本发明的目的是提供一种1芯片型MEMS麦克风及其制造方法。改进了现有的1芯片式MEMS麦克风的结构，从而减少了部件和工艺的数量，通过更换部件材料来提高刚性，节省成本，提高灵敏度和性能。

5. 发明授权

KR101462375B1 MEMS 마이크로폰 有权
标题翻译： MEMS麦克风
公开(公告)号：KR101462375B1
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：KR1020140080800
申请日：2014-06-30
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 정영도 , 이영화 , 곽준혁
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/04 , H01L29/84
CPC分类号： H04R19/005 , H01L29/84 , H04R19/04 , H04R2201/003
摘要： 본 발명은 MEMS 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스트레스로 인한 멤브레인의 변형 및 잔류응력을 방지하고, 멤브레인의 강성을 줄인 MEMS 마이크로폰에 관한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种微机电系统（MEMS）麦克风。根据本发明的实施例的MEMS麦克风包括：多个侧槽，其沿着膜的周边以预定的间隙形成在其间并且从膜的周边凹陷到中心; 连接单元，其形成在相邻的侧槽之间，以固定到支撑单元; 以及形成在联接单元上的多个船队。

6. 发明授权

KR101334912B1 센서 및 전극을 갖춘 인공 와우용 장치 有权
标题翻译：用于传感器和电极的耳蜗植入装置
公开(公告)号：KR101334912B1
公开(公告)日：2013-11-29
申请号：KR1020120010989
申请日：2012-02-02
申请人： 서울대학교산학협력단 , 한국기계연구원
发明人： 김완두 , 허신 , 오승하 , 정주용
IPC分类号： H04R25/00 , A61F2/18
CPC分类号： A61N1/36032 , A61N1/0541 , A61N1/36036
摘要： 본 발명은 달팽이관의 기저막(basilar membrane)으로부터 소리에 의한 진동을 감지해 전기 신호로 변환하여 상기 달팽이관의 외부로 전송하고, 상기 전송된 전기 신호를 이용해 가공처리한 신호를 상기 달팽이관의 외부로부터 수신하여 청신경을 자극하는 센서 및 전극을 갖춘 인공 와우용 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 센서 및 전극을 갖춘 인공 와우용 장치는 일면이 달팽이관의 기저막(basilar membrane)에 밀접하도록 고실계에 삽입되는 튜브; 상기 튜브에 내장되며, 상기 달팽이관으로부터 소리에 의한 진동을 감지해 전기 신호로 변환하고, 상기 증폭기 또는 상기 어음처리기로 전송하는 센서부 및; 상기 튜브에 내장되며, 상기 증폭기 또는 상기 어음처리기로부터 가공처리된 신호를 수신받아 청신경을 자극하는 복수 개의 전극부;를 포함한다.

7. 发明授权

KR101334911B1 인공 기저막 장치 有权
标题翻译：人造基底膜装置
公开(公告)号：KR101334911B1
公开(公告)日：2013-11-29
申请号：KR1020120010990
申请日：2012-02-02
申请人： 서울대학교산학협력단 , 한국기계연구원
发明人： 허신 , 김완두 , 오승하 , 정주용
IPC分类号： H04R25/00 , A61F2/18 , A61L27/00
CPC分类号： A61L27/50 , A61L2430/14 , A61N1/0541 , A61N1/36036 , H04R25/606
摘要： 본 발명은 고실 내에 위치하여 고막으로부터 소리에 의한 진동을 수신하는 인공 기저막 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 인공 기저막 장치는 벌룬 형태로 구성되고 내부는 탄성체로 형성되며, 고실(tympanic cavity) 내에서 고막 및 갑각의 사이에 밀착되며, 상기 고막으로부터 소리에 의한 진동을 수신하는 수용체; 상기 수용체에 내장되어 상기 진동을 감지하며, 상기 감지된 진동을 전기적 신호로 변환하고, 상기 변환된 신호를 주파수 대역별로 구별해 상기 수용체의 외부로 전송하는 인공기저막;을 포함한다. 본 발명의 인공 기저막 장치는 이소골이 결손된 경우에도 인체 내부에 설치되어 고막으로부터 소리에 의한 진동을 수신할 수 있다.

8. 发明公开

KR1020130071991A 결합형 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법 有权
标题翻译：用于制造用于混合植入物的频率组装型分离装置的方法
公开(公告)号：KR1020130071991A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：KR1020110139518
申请日：2011-12-21
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 정영도 , 이영화 , 김완두
IPC分类号： H04R25/00 , A61F11/00
CPC分类号： H04R17/02 , A61N1/36036 , H04R1/083 , H04R31/006 , H04R2430/03
摘要： PURPOSE: A frequency separation apparatus production method for a couple type conchlear implantation is provided to help recognizing an acoustic wave of wideband frequency. CONSTITUTION: An upper layer (200) is produced as an upper electrode (280) is coated on a substrate. A lower electrode (130) is patterned on a basement membrane formed on a base. A lower layer (100) is produced as nano-wire with a piezoelectric property is grown on the lower electrode. The upper layer and the lower layer are cross linked the upper electrode and the lower electrode to be electrically connected.
摘要翻译：目的：提供一种用于耦合型耳蜗植入的频率分离装置的制造方法，以帮助识别宽带频率的声波。构成：当在基板上涂覆上电极（280）时，产生上层（200）。下部电极（130）被图案化在形成在基底上的基底膜上。生成下层（100）作为纳米线，在下电极上生长压电性质。上层和下层与上电极和下电极交联以进行电连接。

9. 发明授权

KR101247660B1 나노와이어 성장을 이용한 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법 有权
标题翻译：使用生长纳米线制造混合植入式频率分离装置的方法
公开(公告)号：KR101247660B1
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020110139516
申请日：2011-12-21
申请人： 한국기계연구원
发明人： 허신 , 정영도 , 이영화 , 김완두
IPC分类号： H04R25/00 , H04R3/04 , A61F11/04
CPC分类号： A61N1/0541 , A61N1/36036
摘要： PURPOSE: A frequency separation device manufacturing method for a cochlea is provided to accurately separate a frequency through vibration of a base film by growing a nano wire on a base film. CONSTITUTION: A first silicon layer is deposited on the top of a base(110) and a second silicon layer is deposited on the bottom surface of a base. A base film consisting of silicon nitride is deposed on the first silicon layer. A lower electrode unit is patterned on the base film. A nano wire(150) having a piezoelectric characteristic is grown on the lower electrode unit. A part of the lower surface of the base film is removed to be exposed to the outside.
摘要翻译：目的：提供一种用于耳蜗的频率分离装置制造方法，用于通过在基膜上生长纳米线来精确地分离通过基膜的振动的频率。构成：第一硅层沉积在基底（110）的顶部上，并且第二硅层沉积在基底的底表面上。由氮化硅构成的基膜被放置在第一硅层上。下电极单元在基膜上图案化。在下部电极单元上生长具有压电特性的纳米线（150）。基膜的下表面的一部分被去除以暴露于外部。

10. 发明授权

KR101144731B1 인공와우장치 有权
标题翻译： COCHLEAR IMPLANT
公开(公告)号：KR101144731B1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：KR1020100074768
申请日：2010-08-02
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김완두 , 허신 , 최홍수 , 박수아 , 박준식 , 이승현
IPC分类号： H04R25/00 , A61F11/04
摘要： 본 발명은 인공와우장치에 관한 것으로서, 제1기판; 상기 제1기판과 대향되게 배치되며, 전파매질를 수용하는 제2기판; 상기 전파매질과 접촉하도록 배치되며, 서로 다른 대역의 주파수를 가지는 음향파에 각각 반응하는 복수의 기저막; 상기 제1기판 또는 상기 기저막 중 어느 하나에 접촉 배치되는 접촉부; 상기 접촉부에 대향되도록 상기 기저막 또는 상기 제1기판 중 어느 하나에 접촉 배치되는 베이스부; 상기 베이스부로부터 연장되고, 상기 입사되는 음향파에 의하여 발생되는 전기신호를 상기 접촉부에 전달하는 나노와이어;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 감지할 수 있는 음향파 주파수의 대역을 확장할 수 있는 인공와우장치가 제공된다.

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