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1. 发明授权

KR101903420B1 마이크로폰 및 이의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101903420B1
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：KR1020160130011
申请日：2016-10-07
申请人： 성균관대학교산학협력단 , 주식회사 비에스이
发明人： 김상우 , 김창원 , 김용국 , 김성균 , 김태윤 , 김태호 , 김한 , 강민기 , 최승
IPC分类号： H04R17/02 , H04R31/00 , H01L41/08
CPC分类号： H04R17/02 , H01L41/047 , H04R1/083 , H04R7/10 , H04R17/10 , H04R31/003 , H04R2201/003
摘要： 본발명은마이크로폰및 이의제조방법에관한것이다. 구체적으로, 본발명은압전특성을지닌 2차원물질을이용한마이크로폰및 그제작방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른마이크로폰은, 캐비티를포함하는기판; 상기기판상에배치되며상기캐비티를커버하도록배치된 2차원압전물질층; 상기 2차원압전물질층상에배치된전극층을포함하고, 소리에의해상기 2차원압전물질층이진동함에따라전기적포텐셜을생성한다.

2. 发明公开

KR1020170125729A 미세 전자 기계 디바이스, 미세 전자 기계 디바이스 어레이, 미세 전자 기계 디바이스를 제조하는 방법, 및 미세 전자 기계 디바이스를 동작시키는 방법 审中-实审
标题翻译：微机电装置，微机电装置阵列，制造微机电装置的方法以及操作微机电装置的方法
公开(公告)号：KR1020170125729A
公开(公告)日：2017-11-15
申请号：KR1020170056215
申请日：2017-05-02
申请人： 인피니언 테크놀로지스 아게
发明人： 데헤알폰스 , 도르프메이스터마누엘 , 그릴토마스 , 헤데니그우슬라 , 칼텐바처만프레드 , 슈미드울리치 , 슈나이더마이클
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： H04R3/06 , H04R1/005 , H04R3/12 , H04R17/00 , H04R17/02 , H04R29/001 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H04R2307/025
摘要： 본원에서미세전자기계디바이스, 미세전자기계디바이스어레이, 미세전자기계디바이스를제조하는방법, 미세전자기계디바이스를동작시키는방법에관한양상들이설명된다. 미세전자기계디바이스는, 기판과, 기판에기계적으로연결된다이어프램 - 다이어프램은 2개의기하학적으로안정한위치중 하나내에다이어프램을고정하도록스트레스된영역을포함함 - 과, 다이어프램에기계적으로연결된액추에이터 - 액추에이터는다이어프램위에압전층을포함함 - 와, 디지털음향입력에응답하여전기제어신호를제공하도록구성된제어기를포함하되, 액추에이터는전기제어신호를수신하여압전층을통해다이어프램에기계적압력을가하여다이어프램을이동시켜음파를생성하도록구성된다.
摘要翻译：他们方面涉及微机电设备，微机电装置阵列的方法，本文中描述一种制造微机电装置，一种操作微机电装置的方法。微机电装置，机械连接到所述衬底上的隔膜，基板膜片包括应力的区域以保持隔膜以两种几何稳定位置中的一个 - 致动器机械地连接到所述隔膜的致动器是由膜片它还包括在所述的压电体层 - 包括：配置成提供电控制信号，并且，响应于所述数字音频输入的控制器，所述致动器移动所述隔膜通过所述压电体层落入机械压力施加到隔膜用于接收电控制信号的声音波一个被配置为生成。

3. 发明授权

KR101798319B1 집적된 변환기 및 온도 센서를 위한 시스템 및 그 방법 有权
公开(公告)号：KR101798319B1
公开(公告)日：2017-11-15
申请号：KR1020160013507
申请日：2016-02-03
申请人： 인피니언 테크놀로지스 아게
发明人： 데헤알폰스 , 크럼바인울리치
IPC分类号： H04R19/00 , H04R19/01 , H04R19/04 , G01K7/16
CPC分类号： H04R23/00 , B81B7/02 , B81B2201/0257 , B81B2201/0278 , B81B2207/015 , H04R17/02 , H04R19/005 , H04R19/013 , H04R19/016 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R2201/003
摘要： 집적된변환기및 온도센서를위한시스템및 그방법이개시된다. 실시예에따르면, 변환기는단일의다이상에서집적된미세가공된요소및 미세가공된요소에연결된인터페이스 IC를포함한다. 미세가공된요소는음향변환기및 온도센서를포함하고, 인터페이스 IC는음향변환기및 온도센서에전기적으로연결된다.

4. 发明授权

KR101550636B1 마이크로폰 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：微型电话及其制造方法
公开(公告)号：KR101550636B1
公开(公告)日：2015-09-07
申请号：KR1020140126788
申请日：2014-09-23
申请人： 현대자동차주식회사
发明人： 유일선 , 김현수
IPC分类号： H04R19/04 , H04R31/00
CPC分类号： H04R17/02 , H04R31/00
摘要： 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로폰은 관통홀을 포함하는 기판, 상기 기판 위에 배치되어 있으며, 상기 관통홀을 덮고 있는 진동부, 그리고 상기 진동부 위에 배치되어 있으며, 상기 진동부와 이격되어 있는 고정 전극을 포함하고, 상기 진동부는 상기 관통홀 위에 배치되어 있는 제1 부분 및 제2 부분, 상기 기판 위에 배치되어 있는 제3 부분을 포함하고, 상기 제1 부분과 상기 제3 부분은 서로 이격되어 있고, 상기 제2 부분은 상기 제1 부분 및 상기 제3 부분을 연결하고 있으며, 제1 압전부 및 제2 압전부를 포함한다.
摘要翻译：根据本发明的实施例的麦克风包括：包括通孔的基板; 振动部，其设置在所述基板上并覆盖所述通孔; 以及设置在振动部分上并与振动部分分离的固定电极。所述振动部件包括设置在所述通孔上的第一部分和第二部分以及设置在所述基板上的第三部分。第一部分和第三部分彼此分开，第二部分连接第一部分和第三部分，并且包括第一压电部分和第二压电部分。

5. 发明授权

KR101514567B1 음향 소자 및 이를 구비하는 마이크로폰 패키지 有权
标题翻译：声音传感器和麦克风包装
公开(公告)号：KR101514567B1
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：KR1020130141988
申请日：2013-11-21
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 박흥우
IPC分类号： H04R19/04 , H04R1/02
CPC分类号： H04R1/04 , H04R1/08 , H04R9/08 , H04R11/04 , H04R17/02 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R21/02 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H04R1/02 , H04R2201/02
摘要： 본발명은 MEMS 기술에의해서제조되는음향소자및 이를구비하는마이크로폰패키지에관한것이다. 본발명의실시예에따른음향소자는, 중공이형성되는소자기판; 상기중공을덮으며상기소자기판에형성되는다이아프램; 상기다이아프램에서이격배치되는백 플레이트; 및상기다이아프램과상기백 플레이트에서이격배치되고, 다수의관통홀을구비하며, 외부로부터유입되는노이즈를차폐하는쉴드플레이트;를포함할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种通过MEMS技术制造的声学换能器和具有该声学换能器的麦克风封装。根据本发明的实施例的声换能器可以包括：具有中空部分的装置基板; 覆盖中空部分并形成在器件基板中的图; 与图分离的背板; 并且与背板和图分离的屏蔽板具有多个通孔，并且屏蔽来自外部的噪声。

6. 发明公开

KR1020140096886A 압전 소자의 와이어링 및 이를 포함하는 초음파 센서 无效
标题翻译：用于压电元件和包括其的超声波传感器的接线
公开(公告)号：KR1020140096886A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：KR1020130010040
申请日：2013-01-29
申请人： 주식회사 일진글로벌
发明人： 임재완
IPC分类号： H01L41/047 , B06B1/06 , G10K9/122 , H04R17/02 , G01S15/02 , G01N29/24 , H04R1/06 , H04R31/00
CPC分类号： H01L41/047 , B06B1/06 , G01N29/24 , G01S15/02 , G10K9/122 , H04R1/06 , H04R17/02 , H04R31/006
摘要： Disclosed are wiring for a piezoelectric element and an ultrasonic sensor including the same. The wiring for a piezoelectric element comprises a through hole formed by penetrating from one side to the other side of the piezoelectric element; a first electrode plate coated on the one side of the piezoelectric element ; a second electrode plate filled in the through hole, coated on one side and the other side of the piezoelectric element, and arranged to be separated from the first electrode plate; and a first lead line and a second lead line electrically connected to the first electrode plate and the second electrode plate respectively, to improve the workability and the quality of the wiring.
摘要翻译：公开了用于压电元件和包括该压电元件的超声波传感器的布线。用于压电元件的布线包括通过从压电元件的一侧穿过而形成的通孔; 涂覆在压电元件一侧的第一电极板; 填充在所述通孔中的第二电极板，涂覆在所述压电元件的一侧和另一侧，并且被布置成与所述第一电极板分离; 以及分别与第一电极板和第二电极板电连接的第一引线和第二引线，以提高布线的可加工性和质量。

7. 发明授权

KR101346710B1 능동 피드백 제어용 인공 와우 장치, 및 그 방법 有权
标题翻译：具有有源反馈控制的COCHLEAR IMPLANT DEVICE，该方法
公开(公告)号：KR101346710B1
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：KR1020120013980
申请日：2012-02-10
申请人： 한국기계연구원 , 서울대학교산학협력단 , 전북대학교산학협력단
发明人： 김완두 , 허신 , 정영도 , 한윤봉 , 박용규 , 오승하 , 정주용 , 김성준 , 송윤규 , 이원희
IPC分类号： H04R25/00 , A61F2/18
CPC分类号： A61N1/36032 , A61N1/0541 , A61N1/36036 , H04R1/083 , H04R17/02 , H04R31/006 , H04R2430/03
摘要： 본 발명은 인공 와우 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 액추에이터를 통해 소리의 민감도나 주파수 선택도를 조정할 수 있도록 하는 인공 와우 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 능동 피드백 제어용 인공 와우 장치는 인체 내부로 삽입되어 주파수 대역별로 소리를 감지하는 인공 와우 장치로서, 소리에 의한 진동을 감지하고, 상기 진동의 크기에 대응되는 전기신호를 생성하는 센서부와, 상기 센서부에 배치되어 상기 전기신호에 따라 반응하여, 상기 소리의 크기에 따른 민감도를 조절하거나 상기 주파수 대역별로 감지되는 소리의 주파수 선택도를 조절하는 작동자를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及耳蜗植入装置，更具体地说，涉及一种能够通过致动器控制声音的灵敏度或选择性的人工耳蜗植入装置。根据本发明的示例性实施例，用于主动反馈控制的耳蜗植入装置被插入到人体中并且被配置为检测每个频带中的声音，包括：传感器单元，被配置为根据声音检测振动并产生对应于设置在传感器单元中的振动和致动器的大小的电信号，并且每个被配置为对电信号作出反应并且根据声音的大小或在每个频带中检测到的声音的选择性来控制灵敏度。

8. 发明授权

KR101300749B1 음향 센서 및 이의 제조 방법 失效
标题翻译：声传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101300749B1
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：KR1020090123740
申请日：2009-12-14
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이재우 , 박강호 , 김종대
IPC分类号： H04R19/04 , G01H11/06
CPC分类号： H04R17/02 , G01N29/2406 , H04R19/005 , H04R19/04
摘要： 본 발명은 콘덴서형 음향 센서에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시 예에 따른 음향 센서는, 기판의 상부가 식각되어 형성된 음향 챔버; 상기 기판 상에 형성되며 상기 음향 챔버가 노출되도록 중앙 영역이 식각된 절연막; 상기 절연막 상에 형성된 진동판; 상기 절연막 상에서 상기 진동판을 지지하는 자가 유지 지지대; 및 상기 진동판 상에 형성된 고정 전극을 포함한다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면 지지대 및 진동판의 좌우 운동으로 인한 비선형 성분을 제거하여 음압 응답 특성을 향상시킬 수 있고, 기판의 후면 공정을 생략할 수 있어 공정이 간단해지고 수율이 향상되는 이점이 있다.
음향 센서, 자가 유지 지지대

9. 发明公开

KR1020110067235A 음향 센서 및 이의 제조 방법 失效
标题翻译：声学传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020110067235A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090123740
申请日：2009-12-14
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이재우 , 박강호 , 김종대
IPC分类号： H04R19/04 , G01H11/06
CPC分类号： H04R17/02 , G01N29/2406 , H04R19/005 , H04R19/04
摘要： PURPOSE: An acoustic sensor and manufacturing method thereof are provided to remove a process of processing the rear surface of a substrate, thereby simplifying manufacturing processes. CONSTITUTION: An acoustic sensor comprises a substrate(200), an acoustic chamber(202), an insulation film(210), an acoustic chamber open pattern(212), a vibration plate(220), a self maintaining support stand(225), a fixing electrode(230), an etching window(234), and an etching hole(235). The insulation film is formed on the substrate. The vibration plate supported by the self maintaining support stand is formed on the insulation film. The self maintaining support stand suppresses the horizontal movement of the vibration plate and the self maintaining support stand. The vibration plate is integrated with the self maintaining support stand. A conductive layer included in the vibration plate forms a pair of upper/lower electrodes with the fixing electrode. The fixing electrode has a shape which surrounds the vibration plate.
摘要翻译：目的：提供一种声传感器及其制造方法，以去除处理衬底后表面的工艺，从而简化了制造工艺。声学传感器包括基底（200），声学室（202），绝缘膜（210），声学室开放图案（212），振动板（220），自维持支撑架（225），固定电极（230），蚀刻窗（234）和蚀刻孔（235）。绝缘膜形成在基板上。由保持支撑架支撑的振动板形成在绝缘膜上。自保持支撑台抑制振动板和自维撑支架的水平运动。振动板与自我维护支架相结合。包含在振动板中的导电层与固定电极形成一对上/下电极。固定电极具有围绕振动板的形状。

10. 发明公开

KR1020100071607A 압전형 음향 변환기 및 이의 제조방법 有权
标题翻译：压电声波传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100071607A
公开(公告)日：2010-06-29
申请号：KR1020080130385
申请日：2008-12-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김동균 , 정석환 , 정병길
IPC分类号： H04R17/00 , H04R17/02 , H04R31/00 , B06B1/06 , G10K9/122
CPC分类号： H04R17/00 , H04R17/02 , Y10T29/42 , H04R17/005 , B06B1/0666 , G10K9/122 , H04R31/006
摘要： PURPOSE: A piezoelectric acoustic transducer and a method for fabricating the same are provided to obtain large transformation amount under a low driving voltage using parlylene or low stress non-stoichiometric silicon nitride film on the external side of a diaphragm. CONSTITUTION: A through region is formed in a substrate(110). A piezoelectric unit(150) is located on a part of the central part of the through region. The piezoelectric unit includes a first electrode and a second electrode which are arranged on both sides of the piezoelectric unit. A transforming film(130) connects and elastically transforms the peripheral of the piezoelectric unit and a substrate. A transformation is delivered to the piezoelectric unit and the transforming film is vibrated with the piezoelectric unit.
摘要翻译：目的：提供一种压电声换能器及其制造方法，以便在隔膜的外侧使用亚甲基或低应力非化学计量的氮化硅膜，在低驱动电压下获得大的相变量。构成：在基板（110）中形成贯通区域。压电单元（150）位于贯通区域的中心部分的一部分。压电单元包括布置在压电单元两侧的第一电极和第二电极。变换膜（130）连接并弹性地变换压电单元的周边和基板。对压电单元进行转换，并且转印膜与压电单元振动。

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