专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020120052673A 기판 합착 장치 및 이를 이용한 기판 합착 방법 有权
标题翻译：用于粘合基板的装置和用于粘结基板的方法
公开(公告)号：KR1020120052673A
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：KR1020100113940
申请日：2010-11-16
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 유정필 , 조익성 , 최종권
IPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/13
CPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/1303 , H01L21/68742
摘要： PURPOSE: A substrate bonding device and a substrate bonding method using the same are provided to irradiate light onto a photo-curable sealant to bond a pair of substrates on which electronic elements are formed. CONSTITUTION: A light irradiating device(400) is mounted on a traveling rail. The light irradiating device horizontally operates along with a line on which a sealant is coated. The light irradiating device irradiates light onto the sealant. The light irradiating device hardens the sealant. A controller controls an operation of the light irradiating device.
摘要翻译：目的：提供一种基板接合装置和使用该基板接合装置的基板接合方法，以将光照射到可光固化的密封剂上以结合形成有电子元件的一对基板。构成：光照射装置（400）安装在行进导轨上。光照射装置与其上涂覆有密封剂的线水平地操作。光照射装置将光照射到密封剂上。光照射装置使密封剂硬化。控制器控制光照射装置的操作。

2. 发明公开

KR1020090105368A 기판 접합 장치 有权
标题翻译：基座装配装置
公开(公告)号：KR1020090105368A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：KR1020080030788
申请日：2008-04-02
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 유정필 , 문성철 , 조익성
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/50 , H01L21/58 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67092 , H01L21/6831
摘要： PURPOSE: A substrate bonding device is provided to chuck the substrate with various sizes by individually driving a plurality of upper electrostatic chuck units. CONSTITUTION: An upper table(200) and a lower table(300) are arranged in a chamber to face each other. A plurality of upper electrostatic chuck units(400) are mounted in a lower surface of the upper table. The plurality of power controllers(500) supply the power to the upper electrostatic chuck units respectively. At least one lower electrostatic chuck unit(600) is mounted on the upper surface of the lower table.
摘要翻译：目的：通过单独驱动多个上静电卡盘单元，提供基板接合装置以通过各种尺寸夹持基板。构成：上部工作台（200）和下部工作台（300）布置在腔室中以彼此面对。多个上部静电吸盘单元（400）安装在上表的下表面中。多个功率控制器（500）分别向上静电卡盘单元供电。至少一个下部静电吸盘单元（600）安装在下表的上表面上。

3. 发明授权

KR101651544B1 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR101651544B1
公开(公告)日：2016-08-29
申请号：KR1020140136803
申请日：2014-10-10
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 이석정 , 조익성 , 허택진 , 이희운
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677
摘要： 본발명은기판을지지하는기판지지유닛으로서, 승하강이가능하여, 상기기판을승하강이동시키는이송테이블을구비하는승하강구동부, 상하방향에서, 상기이송테이블의일측에위치하며, 일면에상기기판이지지되는지지대, 이송테이블과지지대사이를연결하도록설치되며, 탄성력을가지는탄성기구를포함한다.따라서, 본발명의실시형태들에의하면, 본발명에서는상부지지대를금속또는금속합금등과같은강재로제조함에따라, 상부기판이지지되는상부지지대의지지면이종래와같은탄성체플레이트의지지면에비해평면도가좋다. 즉, 상부기판이지지되는본 발명의상부지지대의평면도가종래와같이연성을가지는탄성체플레이트에비해향상된다.그리고, 상부지지대와상부이송테이블사이를연결하도록탄성기구를설치함에따라, 상부기판이하부기판상에합착될때, 상기상부기판의기울기또는영역별표면높이조절이가능하여, 상기상부기판이하부기판과평행하도록합착시킬수 있다. 이에따라, 상부기판과하부기판간의정렬틀어진상태로상부기판과하부기판이합착되는것을억제또는방지할수 있다.

4. 发明授权

KR101432154B1 컨베이어 모듈 및 이를 이용한 기판 처리 장치 有权
标题翻译：用于处理具有相同基板的输送机模块和装置
公开(公告)号：KR101432154B1
公开(公告)日：2014-08-22
申请号：KR1020110138623
申请日：2011-12-20
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 윤청룡 , 조익성
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G13/08 , G02F1/13
摘要： 진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 컨베이어 모듈의 높이를 사용자 선택에 따라 조절할 수 있는 컨베이어 모듈 및 이를 이용한 기판 처리 장치에 관하여 개시한다.
본 발명의 실시예에 따른 컨베이어 모듈은 설치 위치가 변경되는 컨베이어 구동축과, 동력축을 갖는 모터와, 모터의 동력축과 컨베이어 구동축을 연결하는 편심 커플링을 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 진공 챔버와, 진공 챔버의 내부에 구비되어 위치가 변경되는 컨베이어 구동축을 갖는 컨베이어 모듈과, 진공 챔버의 외부에 구비되어 동력축을 갖는 모터와, 모터의 동력축과 컨베이어 구동축을 연결하는 마그넷 씰 및 편심 커플링을 포함한다.

5. 发明授权

KR101201407B1 기판 합착 장치 및 이를 이용한 기판 합착 방법 有权
标题翻译：接合基板的装置和接合基板的方法
公开(公告)号：KR101201407B1
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：KR1020100113940
申请日：2010-11-16
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 유정필 , 조익성 , 최종권
IPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/13
摘要： 본 발명은 기판 합착 장치 및 이를 이용한 기판 합착 방법에 관한 것이다. 특히, 액정 디스플레이 패널을 형성하는 한 쌍의 광투과성 기판을 합착시키기 위해 기판 사이에 도포되는 광경화성 실런트에 광을 조사하여 경화시키는 기판 합착 장치 및 이를 이용한 기판 합착 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 합착 장치는 실런트가 사이에 도포되는 한 쌍의 기판이 안착되는 안착 플레이트와, 상기 안착 플레이트의 둘레에 설치되는 주행 레일과, 상기 주행 레일에 탑재되어 상기 실런트가 도포되는 라인을 따라 수평 구동되고, 상기 기판의 상측에서 상기 실런트를 향해 광을 조사하여 상기 실런트를 경화시키는 광조사기 및 상기 광조사기의 구동을 제어하는 제어기를 포함한다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 합착 방법은 실런트가 사이에 도포되는 한 쌍의 기판을 마련하는 단계와, 상기 한 쌍의 기판을 안착 플레이트에 안착시키는 단계와, 상기 기판의 상측에서 상기 실런트가 도포되는 라인을 따라 광을 조사하여 상기 실런트를 경화시키는 단계를 포함한다.

6. 发明授权

KR101651545B1 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权
标题翻译：基板固定器单元和用于处理具有该基板的基板的装置
公开(公告)号：KR101651545B1
公开(公告)日：2016-09-06
申请号：KR1020140136804
申请日：2014-10-10
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 이석정 , 조익성
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677
摘要： 본발명은기판을지지하는기판지지유닛으로서, 승하강이가능하여, 상기기판을승하강이동시키는이송테이블을구비하는승하강구동부, 상하방향에서, 상기이송테이블의일측에위치하며, 일면에상기기판이지지되는지지대, 이송테이블과지지대사이를연결하도록설치되며, 탄성력을가지는제 1 탄성기구를포함한다. 따라서, 본발명의실시형태들에의하면, 상부지지대를금속또는금속합금등과같은강재로제조함에따라, 상부기판이지지되는상부지지대의지지면이종래와같은탄성체플레이트의지지면에비해평탄하다. 즉, 상부기판이지지되는상부지지대의평탄도가종래에비해향상된다. 이에따라, 상부지지대의지지면의평탄도에의한상부기판과하부기판간의정렬틀어짐을억제또는방지할수 있다. 또한, 상부기판을점착력으로지지하는점착핀에탄성부재를구비시킴에따라, 상부기판이챔버부내로기울어지도록장입되었더라도, 상부기판이상부지지대와평행하도록교정시킬수 있다.

7. 发明公开

KR1020150043984A 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 有权
标题翻译：基板固定器单元和用于处理具有该基板的基板的装置
公开(公告)号：KR1020150043984A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：KR1020140136804
申请日：2014-10-10
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 이석정 , 조익성
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/68785
摘要： 본발명은기판을지지하는기판지지유닛으로서, 승하강이가능하여, 상기기판을승하강이동시키는이송테이블을구비하는승하강구동부, 상하방향에서, 상기이송테이블의일측에위치하며, 일면에상기기판이지지되는지지대, 이송테이블과지지대사이를연결하도록설치되며, 탄성력을가지는제 1 탄성기구를포함한다. 따라서, 본발명의실시형태들에의하면, 상부지지대를금속또는금속합금등과같은강재로제조함에따라, 상부기판이지지되는상부지지대의지지면이종래와같은탄성체플레이트의지지면에비해평탄하다. 즉, 상부기판이지지되는상부지지대의평탄도가종래에비해향상된다. 이에따라, 상부지지대의지지면의평탄도에의한상부기판과하부기판간의정렬틀어짐을억제또는방지할수 있다. 또한, 상부기판을점착력으로지지하는점착핀에탄성부재를구비시킴에따라, 상부기판이챔버부내로기울어지도록장입되었더라도, 상부기판이상부지지대와평행하도록교정시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于支撑基板的基板支撑单元，包括：能够上下移动的上下运行单元，具有上下传送基板的转台; 安装在所述转台的一侧的支撑体，其中所述基板被支撑在表面上; 以及第一弹性机器，其安装成连接转台和支架之间的间隙并具有弹性力。因此，根据本发明的一个实施例，由于上部支撑件是由与金属或金属合金相同的结构钢制造的，所以支撑基板的上部支撑件的支撑表面比常规弹性体的支撑表面平坦身体板。换句话说，其中支撑衬底的上支撑件的平坦程度比过去更加改善，从而通过上支撑件的平坦度来抑制或防止上基板和下基板之间的扭曲取向状态。此外，由于弹性构件形成在用粘合力支撑上基板的粘合销中，所以即使将上基板插入到要倾斜的室单元中，也可以将上基板校正为与上支架平行。

8. 发明授权

KR101288989B1 기판 처리 장치 및 기판 이송 방법 有权
标题翻译：用于处理衬底的装置及其操作方法
公开(公告)号：KR101288989B1
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：KR1020110022042
申请日：2011-03-11
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 유정필 , 윤청룡 , 조익성
IPC分类号： H01L21/673 , H01L33/00 , B65G49/06 , H01L21/68
摘要： 본 발명에 따른 기판 척킹 유닛은 평평한 바디, 바디의 일측면에 설치된 스티키 척를 구비하고, 상기 스티키 척의 일측면에 기판이 척킹하는 캐리어, 기판을 흡착한 상태로 승강 또는 하강하여, 상기 스티키 척의 일측면에 기판을 안착시키거나, 상기 스티키 척으로부터 기판을 분리하는 리프트 바를 포함한다.
따라서, 본 발명의 실시예들에 의하면 점착력을 가지는 스티키 척에 기판이 척킹됨에 따라, 상기 기판이 평평한 상태로 척킹될 수 있다. 또한 실시예에 따른 캐리어는 두께가 얇은 박판형 기판이 평평한 상태를 유지하도록 척킹할 수 있다. 따라서, 두께가 얇은 박판형의 디스플레이 패널을 안정적으로 제조할 수 있다. 그리고 스티키 척을 구비하는 캐리어는 진공의 환경에서도 상기 기판을 용이하게 척킹할 수 있는 있는 장점이 있다.

9. 发明授权

KR101288987B1 토출유닛 및 기판 처리 장치 有权
标题翻译：液滴单元和底物处理设备
公开(公告)号：KR101288987B1
公开(公告)日：2013-07-23
申请号：KR1020100040765
申请日：2010-04-30
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 김상순 , 조익성 , 김의중
IPC分类号： B05C11/10 , B05C5/02 , H01L21/027 , G02F1/13
摘要： 본 발명에 따른 토출유닛은 내측에 원료물질을 수용할 수 있는 펌핑공간을 가지는 몸체부 및 펌핑공간의 일측을 커버하도록 설치되고, 탄성 변형이 가능한 압력조절 막을 구비하는 펌핑부, 펌핑공간과 연결되어 상기 펌핑공간으로 원료물질을 주입하는 주입부, 펌핑공간과 연결되어 상기 펌핑공간의 원료물질을 배출하는 배출부, 일단이 주입부와 연결되어 상기 펌핑부의 압력조절 막이 탄성 변형되는 방향에 따라 연통이 제어되는 제 1 밸브, 일단이 배출부와 연결되어 펌핑부의 압력조절 막이 탄성 변형되는 방향에 따라 연통이 제어되는 제 2 밸브를 포함한다.
따라서 본 발명에 의하면 종래에서와 같이 시린지 로드를 사용하지 않고도, 펌핑공간의 압력을 조절하여 원료물질의 주입 및 배출 공정을 실시할 수 있다. 또한, 펌핑공간 내부에서 왕복운동하는 시린지 로드를 사용하지 않으므로, 상기 시린지 로드의 외주면과 펌핑공간의 내주면의 마찰에 의해 파티클이 발생되는 문제도 해결할 수 있다. 따라서, 원료물질이 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있고, 상기 원료물질을 이용하는 장치의 불량 발생을 방지할 수 있다.

10. 发明公开

KR1020120075374A 컨베이어 모듈 및 이를 이용한 기판 처리 장치 有权
标题翻译：用于处理具有相同基板的输送机模块和装置
公开(公告)号：KR1020120075374A
公开(公告)日：2012-07-06
申请号：KR1020110138623
申请日：2011-12-20
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 윤청룡 , 조익성
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G13/08 , G02F1/13
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G13/06 , B65G49/061 , B65G49/063 , G02F1/1303 , H01L21/67736
摘要： PURPOSE: A conveyor module and a substrate processing apparatus using the same are provided to steadily transfer a substrate by mounting a plurality of magnet gears on a driving shaft and rotating a plurality of roll sets in a same direction. CONSTITUTION: A conveyor roll(110) is arranged along a transfer direction of a substrate. The conveyor roll comprises a roller member(112) and a roll shaft member(114). The roller member contacts to the bottom of the substrate. A conveyor driving shaft(120) transfers torque created in a motor(140) to the roll shaft member. A driven magnet gear(130') is mounted on the roll shaft member of the conveyor roll. A driving magnet gear(130) is composed of a magnet holder, a soft magnet, and an external magnet.
摘要翻译：目的：提供一种输送机模块和使用其的基板处理装置，以通过将多个磁齿轮安装在驱动轴上并沿相同方向旋转多个辊组来稳定地转移基板。构成：沿着基板的传送方向布置输送辊（110）。传送辊包括辊构件（112）和辊轴构件（114）。辊构件接触到基底的底部。输送机驱动轴（120）将在电动机（140）中产生的扭矩传递到辊轴构件。驱动磁齿轮（130'）安装在输送辊的辊轴构件上。驱动磁齿轮（130）由磁体保持器，软磁体和外部磁体构成。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式