基本信息:
- 专利标题： 컨베이어 모듈 및 이를 이용한 기판 처리 장치
- 专利标题（英）：Conveyor module and apparatus for treating substrate having the same
- 专利标题（中）：用于处理具有相同基板的输送机模块和装置
- 申请号：KR1020110138623 申请日：2011-12-20
- 公开(公告)号：KR101432154B1 公开(公告)日：2014-08-22
- 发明人： 윤청룡 , 조익성
- 申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
- 申请人地址： **-*, Dongtansandan *-gil, Dongtan-myeon, Hwaseong-si, Gyeonggi-do
- 专利权人： 에이피에스홀딩스 주식회사
- 当前专利权人： 에이피에스홀딩스 주식회사
- 当前专利权人地址： **-*, Dongtansandan *-gil, Dongtan-myeon, Hwaseong-si, Gyeonggi-do
- 代理人： 남승희
- 优先权： KR1020100136829 2010-12-28
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; B65G49/06 ; B65G13/08 ; G02F1/13
본 발명의 실시예에 따른 컨베이어 모듈은 설치 위치가 변경되는 컨베이어 구동축과, 동력축을 갖는 모터와, 모터의 동력축과 컨베이어 구동축을 연결하는 편심 커플링을 포함한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 진공 챔버와, 진공 챔버의 내부에 구비되어 위치가 변경되는 컨베이어 구동축을 갖는 컨베이어 모듈과, 진공 챔버의 외부에 구비되어 동력축을 갖는 모터와, 모터의 동력축과 컨베이어 구동축을 연결하는 마그넷 씰 및 편심 커플링을 포함한다.
It discloses about the height of the conveyor module for transferring a substrate in a vacuum chamber to the conveyor module and a substrate processing apparatus using them that can be adjusted according to a user selection.
The conveyor module according to an embodiment of the invention includes an eccentric coupling for connecting the motor and a power shaft and the drive shaft of the conveyor and the conveyor motor having a drive shaft, the installation position changes, the power shaft.
In addition, the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention is provided on the conveyor module and the outside of the vacuum chamber having a conveyor shaft is provided in the interior of the vacuum chamber, the vacuum chamber being positioned to change with the power shaft motor, and a motor the seal comprises a magnet and an eccentric coupling to connect the power shaft and the conveyor drive shaft.
公开/授权文献:
- KR1020120075374A 컨베이어 모듈 및 이를 이용한 기판 처리 장치 公开/授权日：2012-07-06