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1. 发明授权

KR101000407B1 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기 有权
标题翻译：一个清洁容器用于垫片运输箱
公开(公告)号：KR101000407B1
公开(公告)日：2010-12-13
申请号：KR1020030090837
申请日：2003-12-12
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 최원구
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본 발명은 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기에 대한 것이다. 본 발명의 가스켓 세정용기는, 웨이퍼를 포장하는 웨이퍼 쉽핑박스에 쉴링을 위해 사용되는 다수개의 가스켓을 세정하는 가스켓의 세정용기로, 상기 세정장치의 프레임을 이루는 트레이와; 상기 트레이 양단에 대응되게 돌설되어 상기 각 가스켓이 걸쳐지는 다수 쌍의 고정핀과; 상기 각 고정핀에 걸쳐진 다수개의 가스켓을 상부에서 덮어 이탈을 방지하는 이탈방지 덮개를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

가스켓, 웨이퍼, 박스, 트레이, 청정도

2. 发明授权

KR101025263B1 테이프 연마기 有权
标题翻译：胶带抛光机
公开(公告)号：KR101025263B1
公开(公告)日：2011-03-29
申请号：KR1020080119267
申请日：2008-11-28
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 최창석 , 최원구 , 김근태
IPC分类号： H01L21/302
摘要： 테이프 연마기가 개시된다. 와인더는 원판 형상으로 형성되고, 회전 운동 가능하게 설치되며, 외주면에 연마 테이프가 감긴다. 구동 수단은 와인더가 회전 운동하도록 구동력을 제공한다. 그리고 와인더 감지 센서는 와인더의 회전 운동을 감지하며, 구동 수단 감지 센서는 구동 수단의 운동을 감지한다. 본 발명에 따르면, 와인더가 정상 동작하지 않는 경우, 와인더의 동작을 정지시키거나 경고음을 발생시켜 작업자에게 알려 웨이퍼의 불량을 감소시킬 수 있다.
연마 테이프, 웨이퍼, 와인더, 발광 센서, 수광 센서

3. 发明授权

KR101014299B1 웨이퍼 슬라이싱 장치 有权
标题翻译：用于切片晶片的装置
公开(公告)号：KR101014299B1
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：KR1020080096198
申请日：2008-09-30
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호 , 김근태 , 최원구
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/78
摘要： 본 발명은 잉곳을 낱장으로 잘라내기 위한 웨이퍼 슬라이싱 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 슬라이싱 장치는 상호 이격되어 배치되는 한 쌍의 지지프레임, 일방향으로 길게 형성되어 양단이 한 쌍의 지지프레임에 회전가능하게 결합되는 복수의 롤러샤프트, 중공형으로 지지프레임에 결합되는 스핀들바디와, 롤러샤프트와 결합되며 스핀들바디의 중공부에 회전가능하게 끼워지는 스핀들샤프트와, 스핀들바디와 스핀들샤프트 사이에 개재되어 스핀들샤프트를 회전가능하게 지지하는 베어링을 포함하여 이루어지는 복수의 스핀들, 복수의 롤러샤프트에 감기어 이송되는 와이어를 구비하며, 롤러샤프트와 스핀들샤프트 사이에 개재되는 오링을 더 구비하는 것에 특징이 있다.

4. 发明公开

KR1020100060608A 테이프 연마기 有权
标题翻译：胶带抛光机
公开(公告)号：KR1020100060608A
公开(公告)日：2010-06-07
申请号：KR1020080119267
申请日：2008-11-28
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 최창석 , 최원구 , 김근태
IPC分类号： H01L21/302
摘要： PURPOSE: A tape polisher is provided to prevent damage to a tape polisher by stopping the operation of a winder and a driver when a driving force is not properly transferred to a winder. CONSTITUTION: Winders(231, 232) are formed into a disc shape is rotatable, and has a polisher tape wound on the circumference of the winder. A driving unit offers a driving force to rotate the winder. A winder detection sensor senses the rotational of the winder. The driving unit detection sensor senses the operation of the driving unit.
摘要翻译：目的：当驱动力未正确转移到卷绕机时，通过停止卷绕器和驱动器的操作，提供带式抛光机以防止损坏磁带抛光机。构成：卷绕器（231,232）形成为可旋转的盘形，并且在卷绕机的圆周上具有卷绕带。驱动单元提供旋转卷绕机的驱动力。卷绕机检测传感器检测卷绕机的旋转。驱动单元检测传感器感测驱动单元的操作。

5. 发明公开

KR1020050058852A 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기 有权
标题翻译：一个清洁容器用于垫片的散货船
公开(公告)号：KR1020050058852A
公开(公告)日：2005-06-17
申请号：KR1020030090837
申请日：2003-12-12
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 최원구
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본 발명은 웨이퍼 쉽핑박스의 가스켓 세정용기에 대한 것이다. 본 발명의 가스켓 세정용기는, 웨이퍼를 포장하는 웨이퍼 쉽핑박스에 쉴링을 위해 사용되는 다수개의 가스켓을 세정하는 가스켓의 세정용기로, 상기 세정장치의 프레임을 이루는 트레이와; 상기 트레이 양단에 대응되게 돌설되어 상기 각 가스켓이 걸쳐지는 다수 쌍의 고정핀과; 상기 각 고정핀에 걸쳐진 다수개의 가스켓을 상부에서 덮어 이탈을 방지하는 이탈방지 덮개를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

6. 发明公开

KR1020100036809A 웨이퍼 슬라이싱 장치 有权
标题翻译：装置摆放的装置
公开(公告)号：KR1020100036809A
公开(公告)日：2010-04-08
申请号：KR1020080096198
申请日：2008-09-30
申请人： 에스케이실트론 주식회사
发明人： 김성호 , 김근태 , 최원구
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/78
CPC分类号： B28D5/045 , B28D5/0082
摘要： PURPOSE: An apparatus for slicing a wafer is provided to prevent foreign materials from flowing through a gap between roller shafts and a spindle shaft by sealing the gap between the roller shafts and the spindle shaft. CONSTITUTION: The both ends of a plurality of roller shafts(22) are combined to a pair of support frames. A plurality of spindles(30) includes a spindle body(31), a spindle shaft(32) and a bearing(33). The spindle shaft is combined to the roller shafts and is inserted into the hollow part of the spindle body. The bearing is interposed between the spindle body and the spindle shaft and supports the spindle shaft to be rotatable. An o-ring is interposed between the roller shafts and the spindle shaft.
摘要翻译：目的：提供一种用于切片晶片的设备，以通过密封辊轴和主轴之间的间隙来防止异物流过辊轴和主轴之间的间隙。构成：多个辊轴（22）的两端组合成一对支撑框架。多个主轴（30）包括主轴主体（31），主轴（32）和轴承（33）。主轴与滚子轴组合，插入主轴主体的中空部分。轴承插入在主轴主体和主轴之间，并支撑主轴可转动。 O形圈插入辊轴和主轴之间。

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