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1. 发明公开

KR1020170115222A 광 조사 장치의 렌즈 어셈블리 审中-实审
标题翻译：光照射装置的透镜组件
公开(公告)号：KR1020170115222A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：KR1020160042480
申请日：2016-04-06
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이성용 , 한규완 , 이석주
IPC分类号： G02B1/18 , G02B27/01 , G02B1/10 , G02B7/02
摘要： 광조사유닛에장착되는렌즈어셈블리는렌즈, 렌즈하우징, 윈도우하우징, 및윈도우유닛을포함한다. 상기렌즈는상기광 조사유닛으로부터방출되는광의진행방향을변경하고, 상기렌즈하우징은상기렌즈를수납한다. 상기윈도우하우징은상기렌즈를사이에두고상기광 조사유닛과마주하고, 상기윈도우하우징은상기렌즈하우징과결합되어상기렌즈를보호한다. 상기윈도우유닛은상기윈도우하우징의내부에수납되어상기렌즈와중첩된다. 또한, 상기윈도우하우징은바디프레임및 도어부를포함한다. 상기바디프레임은상기윈도우유닛의둘레를따라연장된다. 상기도어부는상기바디프레임의일 측에배치되고, 상기도어부는상기윈도우하우징의내부를개폐한다.
摘要翻译：安装在光照射单元上的透镜组件包括透镜，透镜壳体，窗户壳体和窗口单元。透镜改变从光照射单元发射的光的行进方向，并且透镜壳体接收透镜。窗口壳体隔着透镜面向光照射单元，并且窗口壳体与透镜壳体耦合以保护透镜。窗户单元安置在窗户外壳中并与透镜重叠。此外，窗户外壳包括主体框架和门部分。车身框架沿着窗户单元的周边延伸。门部分设置在车身框架的一侧，并且门部分打开和关闭窗户壳体的内部。

2. 发明授权

KR102044864B1 레이저 패터닝 검사장치 有权
公开(公告)号：KR102044864B1
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：KR1020120145714
申请日：2012-12-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이석주 , 전진홍
IPC分类号： G01J1/02

3. 发明公开

KR1020150034949A 마스크 제조 시스템 및 이를 이용한 마스크 제조 방법 审中-实审
标题翻译：掩模制造系统及使用其制造掩模的方法
公开(公告)号：KR1020150034949A
公开(公告)日：2015-04-06
申请号：KR1020130114947
申请日：2013-09-27
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이석주 , 김우동 , 김원용 , 한정원
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/08 , B23K26/00
摘要： 마스크제조시스템은마스크시편을절단하는절단기, 로딩장치및 레이저가공장치를포함한다. 로딩장치는절단기에인접하여배치되고, 절연판및 마스크시편을운반하는운반테이블, 운반테이블의상부에배치되고절연판을로딩하는제1 로봇및 운반테이블상부에배치되고마스크시편을로딩하는제2 로봇을포함할수 있다. 레이저가공장치는로딩장치와연결되고, 레이저가공장치내에고정되어제1 로봇에의해절연판이로딩되고제2 로봇에의해마스크시편이로딩되는정전척(electrostatic chuck), 및마스크시편을레이저패턴마스크(laser patterned mask)로가공하는레이저가공부를포함한다.
摘要翻译：掩模制造系统包括切割掩模样品的切割器，加载装置和激光加工装置。装载装置可以包括：传送台，其相邻地布置到切割器上以传送绝缘板和掩模样本; 布置在运输台顶部的第一机器人装载绝缘板; 以及布置在所述传送台的顶部上以加载所述掩模样本的第二机器人。激光加工装置包括：连接到加载装置的静电卡盘，固定在激光加工装置内部，由第一机器人装载绝缘板，并由第二机器人装载掩模试样; 以及激光处理部件，用于将掩模样本处理成激光图案掩模。

4. 发明公开

KR1020140077025A 레이저 패터닝 검사장치 审中-实审
标题翻译：激光测试仪器
公开(公告)号：KR1020140077025A
公开(公告)日：2014-06-23
申请号：KR1020120145714
申请日：2012-12-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이석주 , 전진홍
IPC分类号： G01J1/02
CPC分类号： G01J1/4257 , G01J1/0252 , G01J1/0414 , G01J1/0448 , G01J1/0477
摘要： Disclosed by the present invention is a laser patterning examining apparatus. The laser patterning examining apparatus of the present invention includes a fixed plate; a rotary plate which is able to move up and down based on the fixed plate and is arranged to be able to rotate; a housing which is installed to be connected to the rotary plate; a laser emitting unit which emits laser by being installed in the upper part of the fixed plate; a prism unit which is installed in the housing and refracts a portion of laser and passes another portion of the laser incident from the laser emitting unit; and a beam profiler which is installed in the housing and analyzes a pattern of the laser refracted in the prism unit.
摘要翻译：本发明公开了一种激光图案检查装置。本发明的激光图案检查装置包括：固定板; 旋转板，其能够基于固定板上下移动并且能够旋转; 安装成与旋转板连接的壳体; 激光发射单元，其通过安装在固定板的上部发射激光; 棱镜单元，其安装在所述壳体中并折射激光的一部分并且通过从所述激光发射单元入射的所述激光的另一部分; 以及光束轮廓仪，其安装在壳体中并且分析在棱镜单元中折射的激光的图案。

5. 发明公开

KR1020140077627A 노광장치, 그 제어방법 및 노광을 위한 정렬방법 审中-实审
标题翻译：曝光装置，其控制方法以及曝光对准方法
公开(公告)号：KR1020140077627A
公开(公告)日：2014-06-24
申请号：KR1020120146637
申请日：2012-12-14
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 전진홍 , 이석주 , 연정훈
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00 , G03F7/207
CPC分类号： H01L51/0013 , G03F9/7019
摘要： The present invention provides an exposure device, a control method thereof, and an alignment method for exposure, wherein the exposure device prevents exposure accuracy due to time and heat influence. The exposure device includes a main stage capable of irradiating a beam on a mask and a beam observation unit which is fixed in its location relative to the main stage and recognizes a beam emitted from a beam irradiation unit and passed through one pattern of the mask.
摘要翻译：本发明提供一种曝光装置及其控制方法和曝光对准方法，其中曝光装置防止由于时间和热影响引起的曝光精度。曝光装置包括能够照射掩模上的光束的主工作台和固定在其相对于主工作台的位置的光束观察单元，并且识别从光束照射单元发射的光束并通过掩模的一个图案。

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