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1. 发明授权

KR101938365B1 증착 장치 및 이를 이용한 증착량 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR101938365B1
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：KR1020120084201
申请日：2012-07-31
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 차유민 , 박석환
IPC分类号： H01L51/56

2. 发明公开

KR1020160101263A 표시 장치 제조 장치 및 표시 장치 제조 방법 审中-实审
标题翻译：装置和制造显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020160101263A
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：KR1020150023148
申请日：2015-02-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 차유민 , 윤상호 , 주성중
IPC分类号： H01L51/56 , H01L27/32
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/042 , C23C14/566 , C23C14/568 , H01L21/67161 , H01L21/67196 , H01L21/67207 , H01L27/3244 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H01L27/32 , H01L2251/56
摘要： 본발명은표시장치의제조장치및 표시장치의제조방법을개시한다. 본발명은, 외부로부터기판이공급되는로딩챔버와, 상기로딩챔버와연결되며, 로봇암이설치되어기판을이송시키는트랜스퍼챔버와, 상기트랜스퍼챔버와연결되어상기트랜스퍼챔버로부터이송된상기기판상에증착물질을증착하는증착챔버와, 상기증착챔버에연결되며, 마스크가다단으로적층되고, 상기증착챔버에다단으로적층된상기마스크중 하나를공급하는마스크공급챔버와, 상기마스크공급챔버와연결되며, 상기마스크를상기마스크공급챔버로하나씩공급하는스테이션을포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于制造显示装置的装置和方法。用于制造显示装置的装置包括：从外部供应基板的装载室; 传送室，其连接到所述装载室，并且其中安装有机械手来传送所述基板; 沉积室，其连接到所述传送室并将沉积材料沉积在从所述传送室转移的所述衬底上; 掩模供给室，其连接到沉积室，掩模在多层中堆叠，并且将多层堆叠的掩模中的一个供给到沉积室; 以及与掩模供给室连接并将掩模逐个供给到掩模供给室的站。

3. 发明公开

KR1020140128078A 증착 챔버, 이를 포함하는 증착 시스템 및 유기 발광 표시장치 제조방법 审中-实审
标题翻译：沉积室，包含该沉积室的沉积系统和用于制造有机发光二极管显示器的方法
公开(公告)号：KR1020140128078A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：KR1020130046775
申请日：2013-04-26
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 차유민 , 박석환
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/568 , C23C14/50 , H01L51/0011 , H01L51/56
摘要： 본 기재의 증착 챔버는, 내부에 공간을 구비하는 챔버 본체와, 상기 챔버 본체의 내부 공간에 제1 방향을 따라 배열되며 복수의 기판 각각을 고정하는 복수개의 기판 고정부와, 상기 기판에 대향 배치되어 상기 기판에 증착 물질을 분사하는 증착원과, 상기 증착원을 지지하며 상기 증착원을 상기 기판 중 어느 하나에 대향하도록 이동시키는 증착원 이송부를 포함한다.
摘要翻译：根据本发明，沉积室包括：室主体，其中包括内部空间; 基板固定部件，其在第一方向上对齐并且固定多个基板中的每一个; 沉积源，其布置成面对基板并将沉积材料喷射在基板上; 以及沉积源传送部件，其支撑沉积源并传送沉积源，以使得沉积源面向其中一个基板。

4. 发明公开

KR1020140081314A 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：发光显示装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140081314A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020120150924
申请日：2012-12-21
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 차유민
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： H01L51/5036 , H01L27/3211 , H01L27/3283 , H01L51/56 , H01L2227/323 , H01L2251/55
摘要： Provided is a light emitting display device and a manufacturing method thereof. According to an embodiment, the light emitting display device comprises: a substrate; a first electrode formed on the substrate; a first insulating layer which is formed on the substrate and has an opening to expose the first electrode; a second insulating layer which is formed on the first insulating layer and has a second opening to expose the first opening; a light emitting layer which is formed on the first electrode exposed through the first opening, touches the first insulating layer, and includes a light emitting material; and a second electrode formed on the light emitting layer. The difference between the wetting of the first electrode and the first insulating layer on the light emitting material is lower than the difference between the wetting of the first electrode and the second insulating layer on the light emitting material.
摘要翻译：提供一种发光显示装置及其制造方法。根据实施例，发光显示装置包括：基板; 形成在所述基板上的第一电极; 第一绝缘层，其形成在所述基板上并具有用于露出所述第一电极的开口; 第二绝缘层，其形成在所述第一绝缘层上并且具有第二开口以暴露所述第一开口; 形成在通过第一开口露出的第一电极上的发光层接触第一绝缘层，并且包括发光材料; 以及形成在发光层上的第二电极。发光材料上的第一电极和第一绝缘层的润湿之间的差异低于发光材料上的第一电极和第二绝缘层的润湿之差。

5. 发明公开

KR1020140070254A 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020140070254A
公开(公告)日：2014-06-10
申请号：KR1020120138520
申请日：2012-11-30
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 백석순
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： H01L51/0005 , H01L27/3211 , H01L51/5088 , H01L51/56
摘要： An aspect of the present invention provides a method for manufacturing an organic emitting display apparatus. The method comprises the steps of: preparing a substrate in which a pixel electrode and a pixel defining film exposing the pixel electrode are formed ; forming a hole injecting layer on the substrate so as to cover the pixel electrode and the pixel defining film; forming a primer layer on the hole injecting layer; patterning the primer layer so as to remain a region corresponding to the pixel electrode; removing a portion of the hole injecting layer so as to expose an edge portion of the substrate; forming a hole carrying layer on the patterned primer layer; forming a light emitting layer on the hole carrying layer on the substrate; forming an electron carrying layer so as to cover the light emitting layer; forming an electron injecting layer on the electron carrying layer; and forming an opposite electrode so as to cover the electron injecting layer and the edge portion of the substrate.
摘要翻译：本发明的一个方面提供一种制造有机发光显示装置的方法。该方法包括以下步骤：制备其中形成有像素电极和形成有像素电极的像素限定膜的衬底; 在所述基板上形成空穴注入层，以覆盖所述像素电极和所述像素限定膜; 在空穴注入层上形成底漆层; 图案化底漆层以保留对应于像素电极的区域; 去除所述空穴注入层的一部分以暴露所述衬底的边缘部分; 在图案化的底漆层上形成空穴载体层; 在所述基板上的所述承载层上形成发光层; 形成电子载体层以覆盖发光层; 在电子载体层上形成电子注入层; 并形成相对的电极以覆盖基板的电子注入层和边缘部分。

6. 发明公开

KR1020140061142A 박막 형성 장치 및 그것을 이용한 박막 형성 방법 审中-实审
标题翻译：薄膜成型装置和薄膜成型方法使用该方法
公开(公告)号：KR1020140061142A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：KR1020120128373
申请日：2012-11-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 차유민
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： H01J37/32366 , H01J37/3244
摘要： A thin film forming apparatus and a thin film forming method using the same are disclosed. The thin film forming apparatus comprises a mask in which a blocking portion and an opening are formed, and an etching source which sprays an etching gate through the opening of the mask to etch a thin film according to a pattern. The mask includes a gas blower for blowing a gas around the opening so that the etching gas does not penetrate into a thin film area corresponding to the block portion. When the thin film forming apparatus is used, a normal residual area of the thin film can be safely preserved and patterning can be accurately formed. Thus, the quality of a product manufactured by using the thin film forming apparatus can be improved.
摘要翻译：公开了一种薄膜形成装置和使用该薄膜形成装置的薄膜形成方法。薄膜形成装置包括其中形成有阻挡部分和开口的掩模，以及蚀刻源，其通过掩模的开口喷射蚀刻栅，以根据图案蚀刻薄膜。掩模包括用于在开口周围吹送气体的气体鼓风机，使得蚀刻气体不会渗透到对应于块部分的薄膜区域中。当使用薄膜形成装置时，可以安全地保留薄膜的正常残留区域，并且可以精确地形成图案化。因此，可以提高通过使用薄膜形成装置制造的产品的质量。

7. 发明授权

KR101996433B1 박막 형성 장치 및 그것을 이용한 박막 형성 방법 有权
公开(公告)号：KR101996433B1
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：KR1020120128373
申请日：2012-11-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 차유민
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10

8. 发明公开

KR1020150084297A OLED 제조용 인라인 증착장치 有权
标题翻译：用于制造OLED的在线沉积装置
公开(公告)号：KR1020150084297A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：KR1020140004156
申请日：2014-01-13
申请人： 주식회사 에스에프에이 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 강창호 , 정주영 , 주성중 , 최교원
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24
摘要： OLED 제조용인라인증착장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른 OLED 제조용인라인증착장치는, 기판에대한증착공정이진행되는챔버내의상부영역에서이격공간을사이에두고배치되는격벽; 챔버내의하부영역에배치되며, 이격공간쪽으로증발물질을제공하여기판을증착시키는증발소스; 격벽에이웃하게배치되고이격공간을선택적으로개폐하는셔터; 및챔버내에마련되며, 증발소스를제외한챔버내의다른영역에서기판으로전달되는열을차단하는열 차단부를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于制造OLED的在线沉积装置。根据本发明的用于制造OLED的在线沉积装置包括：分隔壁，其与用于处理基板上的沉积工艺的室中的上部区域隔开; 蒸发源，其布置在所述室中的下部区域中，并将蒸发材料提供给所述分离空间以将其沉积在所述基板上; 与所述分隔壁相邻并且选择性地打开/关闭所述分离空间的快门; 以及在室中制备的热阻部分，并且遮蔽除了蒸发源之外的室中的其它区域传递到基板的热量。

9. 发明公开

KR1020150006605A 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：有机发光显示装置及制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020150006605A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：KR1020130080188
申请日：2013-07-09
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 차유민
IPC分类号： H01L51/52 , H01L51/56
CPC分类号： H01L27/3211 , H01L27/3209 , H01L27/3258 , H01L51/0005 , H01L51/5036 , H01L51/5256 , H01L51/5265 , H01L2251/558 , H01L51/5203 , H01L27/322 , H01L27/3244
摘要： 유기 발광 표시 장치는, 제1 기판 상에 형성된 적색, 녹색 및 청색 화소들에 각각 상응하도록 배치되는 제1 전극들, 제1 전극들 상부에 배치되어 백색 광을 방출하는 복수의 유기 발광 구조물들, 유기 발광 구조물들 상에 배치되는 제2 전극들 및 백색광이 제1 전극들과 제2 전극들 사이에서 공진하여 광, 녹색 광 및 청색 광으로 방출되도록 제1 전극들과 유기 발광 구조물들 사이에 서로 다른 두께로 프린팅되어 형성된 복수의 보조 투명전극들을 포함할 수 있다.
摘要翻译：为了简化处理，有机发光显示装置可以包括分别对应于形成在第一基板上的红色，绿色和蓝色像素的第一电极，分别布置在第一电极的上部并发出白色的有机发光结构布置在有机发光结构上的光，第二电极和在第一电极和有机发光结构之间印刷不同厚度的子透明电极，以允许白光在第一电极和第二电极之间谐振发出绿色和红色的光。

10. 发明授权

KR101996434B1 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101996434B1
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：KR1020120138520
申请日：2012-11-30
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 백석순
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10

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