专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

81. 发明公开

KR1020140028530A 초음파 변환기 및 그 제조방법 审中-实审
标题翻译：超声波传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020140028530A
公开(公告)日：2014-03-10
申请号：KR1020120095002
申请日：2012-08-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 홍석우 , 김동균 , 정병길 , 정석환
IPC分类号： H04R19/00 , H01L29/84 , G01N29/24
CPC分类号： B81B3/0027 , A61B8/4483 , B06B1/0292 , B06B2201/76 , B81C1/00158
摘要： Disclosed are an ultrasonic converter and a manufacturing method for the same. The disclosed ultrasonic converter includes a first electrode layer covering an inner wall and the upper part of a via hole penetrating a conductive substrate and a membrane and forming the same plane as the upper surface of the membrane; a second electrode layer formed on the lower surface of the conductive substrate to be separated from the first electrode layer; and an upper electrode arranged on the upper surface of the membrane to be in contact with the upper surface of the first electrode layer.
摘要翻译：公开了一种超声波转换器及其制造方法。所公开的超声波转换器包括覆盖内壁的第一电极层和贯穿导电基板和膜的通孔的上部，并形成与膜的上表面相同的平面; 形成在所述导电基板的下表面上以与所述第一电极层分离的第二电极层; 以及布置在膜的上表面上以与第一电极层的上表面接触的上电极。

82. 发明公开

KR1020130112795A MEMS 디바이스 및 MEMS 디바이스를 제조하는 방법 有权
标题翻译： MEMS器件及制造MEMS器件的方法
公开(公告)号：KR1020130112795A
公开(公告)日：2013-10-14
申请号：KR1020130036386
申请日：2013-04-03
申请人： 인피니언 테크놀로지스 아게
发明人： 데헤알폰스 , 헤르줌크리스티안 , 우르제르마틴
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/007 , B81B3/0018 , B81B3/0035 , B81B3/0051 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , H04R7/06 , H04R19/005 , H04R19/04
摘要： PURPOSE: A micro-electro mechanical system (MEMS) device and a manufacturing method thereof are provided to increase the sensitivity and electrostatic capacitance variation of the MEMS device. CONSTITUTION: An MEMS device (200) comprises a substrate (210), a movable electrode (230), and a penetrated counter electrode (250). The movable electrode and the penetrated counter electrode are mechanically connected to the substrate. The movable electrode comprises radial corrugation lines in an internal space and circumferential corrugation lines in an external space. The penetrated counter electrode comprises ridges.
摘要翻译：目的：提供微机电系统（MEMS）装置及其制造方法，以增加MEMS装置的灵敏度和静电容量变化。构成：MEMS器件（200）包括衬底（210），可动电极（230）和穿透的对电极（250）。可移动电极和穿透的对电极机械地连接到基板。可动电极包括内部空间中的径向波纹线和外部空间中的圆周波纹线。穿透的对电极包括脊。

83. 发明公开

KR1020130097209A 미세기계화 모노리식 6축 관성 센서 审中-实审
标题翻译：微型单声道六轴惯性传感器
公开(公告)号：KR1020130097209A
公开(公告)日：2013-09-02
申请号：KR1020137009787
申请日：2011-09-18
申请人： 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션
发明人： 아카르센크
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , G01C19/5621
CPC分类号： B81B3/0018 , B81C1/00158 , G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082 , G01P2015/084
摘要： 6 자유도(6-DOF) 관성 측정 시스템의 디바이스 층은 xy 평면에 형성된 단일 프루프 매스 6축 관성 센서를 포함하며, 관성 센서는 단일의 중앙 앵커의 주위에 현가된 메인 프루프 매스 부분을 포함하고, 메인 프루프 매스 부분은 관성 센서의 에지부를 향해 바깥쪽으로 연장된 방사형 부분을 포함하며, 관성 센서는 또한 단일의 중앙 앵커로부터 6축 관성 센서를 현가하도록 구성된 중앙 서스펜션 시스템과 가동 부분 및 정지 부분을 구비하는 구동 전극을 포함하며, 가동 부분은 방사형 부분에 결합되고, 구동 전극과 중앙 서스펜션 시스템은 6축 관성 센서를 xy 평면에 대해 법선 방향인 z축을 중심으로 구동 주파수로 진동시키도록 구성된다.

84. 发明公开

KR1020120131788A 관성센서 및 그 제조방법 无效
标题翻译：惯性传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120131788A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：KR1020110050200
申请日：2011-05-26
申请人： 삼성전기주식회사
发明人： 김종운 , 정원규
IPC分类号： G01P15/08 , H01L49/00
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B3/0062 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2203/053 , B81C1/00484 , B81C1/00531 , B81C1/00539 , B81C1/00571 , B81C2201/01 , B81C2201/0132 , B81C2201/0133 , B81C2201/014 , C09K13/00 , C09K13/08 , G01C19/56 , G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0871
摘要： PURPOSE: An inertia sensor and manufacturing method thereof are provided to promote sensitivity by reducing a spring constant of a membrane. CONSTITUTION: An inertia sensor(100) includes a membrane(110) of a plate, an adhesion unit(123), a mass(120), and a first adhesive layer(130). The adhesive unit is arranged at a center lower unit(113) of the membrane. The mass is arranged outside the adhesion unit and is passed through an upper and lower direction. The mass includes a patterning unit(125). The first adhesive layer is formed between the membrane and the adhesion unit.
摘要翻译：目的：提供惯性传感器及其制造方法，以通过降低膜的弹簧常数来提高灵敏度。构成：惯性传感器（100）包括板的膜（110），粘附单元（123），质量块（120）和第一粘合剂层（130）。粘合单元布置在膜的中心下部单元（113）处。该质量体布置在粘合单元的外部并通过上下方向。质量包括图案形成单元（125）。第一粘合剂层形成在膜和粘附单元之间。

85. 发明公开

KR1020110025754A 기판 뒷면으로부터의 접근부를 구비한 마이크로메카닉 박막 구조의 제조 방법 无效
标题翻译：用于生产从基板后面进入的微细膜结构的方法
公开(公告)号：KR1020110025754A
公开(公告)日：2011-03-11
申请号：KR1020107027656
申请日：2009-04-21
申请人： 로베르트 보쉬 게엠베하
发明人： 크라머토르스텐 , 아알레스마르쿠스 , 그룬트만아르민 , 크네제카트린 , 벤첼후버트 , 슈에르만그레고르 , 아름브루스터지몬
IPC分类号： B81C1/00 , B81B3/00 , H01L21/02
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81C2201/0115 , B81C2201/0136 , G01L9/0042
摘要： 본 발명은 기판 뒷면으로부터의 접근부를 구비한 마이크로메카닉 박막 구조를 제조하기 위한 특히 간단하고 비용면에서 유리한 방법에 관한 것이다. 이러한 방법은 p 도핑된 Si 기판(1)에 기초하며, 기판 표면의 하나 이상의 연속된 격자형 영역(2)을 n 도핑하는 단계, n 도핑된 격자 구조(2) 하부의 기판 영역(5)을 다공질 에칭하는 단계, n 도핑된 격자 구조(2) 하부의 상기 기판 영역(5)에 공동(7)을 생성하는 단계, n 도핑된 격자 구조(2) 상에 제1 단결정질 실리콘 에피택시층(8)을 성장시키는 단계를 포함한다. 상기 방법은, n 도핑된 격자 구조(2)의 하나 이상의 개구(6)는 성장하는 제1 에피택시층(8)을 통해 개구가 폐쇄되지 않고 공동(7)으로의 접근부 개구(9)를 형성하도록 설계되며, 공동 벽부에 산화물층(10)이 생성되며, 공동(7)으로의 뒷면 접근부(13)가 생성되면서 공동 벽부의 산화물층(10)은 에칭 중지층으로서 사용되며, 이러한 산화물층(10)은 공동(7)의 영역에서 제거되므로 공동(7) 위에 형성되는 박막 구조(14)로의 뒷면 접근부(13)가 생성되는 것을 특징으로 한다.

86. 发明公开

KR1020100127850A 지지 부재상에 매달린 초박형 시이트의 형성 방법 有权
标题翻译：形成支撑构件上的超薄薄片的方法
公开(公告)号：KR1020100127850A
公开(公告)日：2010-12-06
申请号：KR1020107023824
申请日：2009-03-26
申请人： 그래핀 인더스트리즈 리미티드
发明人： 블레이크피터 , 부쓰티모씨존
IPC分类号： B81C99/00 , B81B1/00
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2203/0127 , B81C99/008
摘要： 측부 영역들에서 지지 부재에 고정된 재료의 초박형 시이트(26)를 포함하는 제품(2)의 제조 방법으로서, 그 방법은 초박형 시이트를 기판(20)상에 두는 단계, 초박형 시이트의 측부 영역들이 지지 부재와 기판 사이에 개재되고 지지 부재에 부착되도록 초박형 시이트의 측부 영역들 상에 지지 부재를 형성하는 단계 및, 용매를 이용하는 용해 단계 또는 증발에 의해서 기판을 제거하여, 제품을 남기는 단계를 포함한다. 초박형 시이트는 그 주위 둘레에서 지지되고, 초박형 시이트가 임의의 다른 재료와 접촉하지 않는 중앙 영역을 가진다.

87. 发明公开

KR1020090064844A 레이저 디스플레이용 박막형 2축 구동거울 및 그 제조방법 失效
标题翻译：具有薄膜类型的第二轴用于激光显示的镜子及其制造方法
公开(公告)号：KR1020090064844A
公开(公告)日：2009-06-22
申请号：KR1020070132199
申请日：2007-12-17
申请人： 한국알엠아이(주)
发明人： 임용근
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/085 , B81B2201/042 , B81C1/00015 , B81C1/00158 , B81C1/00547 , H04N9/3161
摘要： A thin film type dual axis driving mirror for a laser display and a manufacturing method thereof are provided to improve light efficiency by enhancing a fill factor through increase of reflection efficiency. A thin film type dual axis driving mirror includes a cantilever beam, a first torsion bar, a second torsion bar, a coil wire, a printed circuit board or a ceramic board, a magnetic flux inducing frame, and a magnet. The cantilever beam(30) of a vertical axis drive is formed inside a chip for the driving mirror. The first torsion bar(31) is positioned on a rotary axis of the cantilever beam of the vertical axis drive. A cantilever beam(32) of a horizontal axis drive is formed in outer part of the cantilever beam of the vertical axis drive. The chip for the driving mirror is mounted on the printed circuit board or the ceramic board, and is fixed by a fixing member(51). The magnetic flux inducing frame(60) is supported by the printed circuit board or the ceramic board. The magnet(70) is mounted inside the magnetic flux inducing frame.
摘要翻译：提供了用于激光显示器的薄膜型双轴驱动镜及其制造方法，以通过增加反射效率来提高填充因数来提高光效率。薄膜型双轴驱动反射镜包括悬臂梁，第一扭杆，第二扭杆，线圈线，印刷电路板或陶瓷板，磁通引导框架和磁铁。垂直轴驱动器的悬臂梁（30）形成在驱动镜的芯片的内部。第一扭杆（31）位于垂直轴驱动器的悬臂梁的旋转轴上。水平轴驱动器的悬臂梁（32）形成在垂直轴驱动器的悬臂梁的外部。用于驱动反射镜的芯片安装在印刷电路板或陶瓷板上，并由固定部件（51）固定。磁通引导框架60由印刷电路板或陶瓷板支撑。磁体（70）安装在磁通引导框架内部。

88. 发明公开

KR1020080090262A 압력 분포 센서 시스템 无效
标题翻译：感应压力分配系统
公开(公告)号：KR1020080090262A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：KR1020080004764
申请日：2008-01-16
申请人： 니타 가부시키가이샤
发明人： 하츠다마사히로
IPC分类号： G01L9/06 , G01L9/16 , G01L9/00 , G01L25/00
CPC分类号： G01L1/18 , A61C19/04 , B25J13/08 , B81C1/00158
摘要： A system for sensing pressure distribution is provided to optimize a plane shape of a film base and adjustably position an attenuated conductive element in the film base. A system for sensing pressure distribution comprises a pressure distribution sensor(S), a process circuit, and software. The pressure distribution sensor has an attenuated conductive element(4) at the intersection of one line electrode and two to eight thermal electrodes inside a film base(1). The process circuit includes an amplifier connected to each terminal(3) to measure the electrical resistance variation of the attenuated conductive element. The software is for display, record, and interpretation of an operation and a measurement result of a signal received from the process circuit. The plane shape of the film base is optimized and the attenuated conductive element in the film base is adjustably positioned.
摘要翻译：提供用于感测压力分布的系统以优化膜基底的平面形状并且可调节地将衰减的导电元件定位在膜基底中。用于感测压力分布的系统包括压力分布传感器（S），处理电路和软件。压力分布传感器在一个线电极和一个薄膜基底（1）内的两个至八个热电极的交点处具有一个衰减的导电元件（4）。处理电路包括连接到每个端子（3）的放大器以测量衰减的导电元件的电阻变化。该软件用于显示，记录和解释从处理电路接收的信号的操作和测量结果。膜基底的平面形状被优化，并且膜基底中的衰减的导电元件可调节地定位。

89. 发明授权

KR100809674B1 박막 센서를 제조하는 방법 有权
标题翻译：制造薄膜传感器的方法
公开(公告)号：KR100809674B1
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：KR1020027012486
申请日：2001-03-20
申请人： 노키아 코포레이션 , 무라타 일렉트로닉스 오와이
发明人： 토켈리알티
IPC分类号： G01L13/00
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , G01L9/0073 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00 , Y10T29/49 , Y10T29/49005
摘要： 본 발명은 차동 압력센서에 관한 것으로, 그의 일 실시예가 마이크로폰이다. 차동 압력센서는 차동 압력센서의 제 1 전극을 형성하는 전도성 재료의 유연한 박막(7)과, 전도성 재료의 천공 플레이트(6, 6', 6")를 포함하며, 상기 천공 플레이트는 상기 박막보다 견고하고, 상기 박막으로부터 거리를 두고 배치되며, 상기 차동 압력센서의 제 2 전극을 형성한다. 가능한 한 양호한 특성을 갖는 차동 압력센서를 제공하기 위해, 차동 압력센서는 기판(4)을 포함하며, 공동(10)이 상기 기판을 통해 연장되고 상기 공동의 벽이 상기 기판(4)으로 형성된다. 유연한 박막(7)은 공동(10)의 벽에 가깝게 연결되어, 박막이 상기 공동에 조밀한 벽을 형성하고, 상기 천공 플레이트(6, 6')는 절연층(5)과 함께 기판에 부착된다.

90. 发明公开

KR1020060019053A 압력 센서 失效
标题翻译：用于测量多压力的压力传感器
公开(公告)号：KR1020060019053A
公开(公告)日：2006-03-03
申请号：KR1020040067506
申请日：2004-08-26
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 오동환
IPC分类号： G01L9/04 , G01L9/06
CPC分类号： G01L9/06 , B81C1/00158 , G01L9/0042 , G01L9/0092
摘要： 본 발명은 압력 센서에 관한 것으로서, 해결하고자 하는 기술적 과제는 다이아프레임에 다수의 압저항 및 메탈 라인을 형성하고, 트리밍을 통하여 압력 범위를 조절할 수 있는 압력 센서를 제공하는데 있다.
이를 해결하기 위해 본 발명에 의한 해결 방법의 요지는 하면에 이방성 에칭에 의해 요홈이 형성된 반도체 기판과, 반도체 기판의 상면에 일정 두께로 형성된 다이아프레임과, 다이아프레임의 네방향에 각각 일렬로 배열되어 형성된 다수의 압저항과, 각 압저항의 양단에 연결되어 외측 방향으로 일정길이 연장된 제1배선 라인과, 다수의 제1배선 라인에 공통으로 연결되어 외측 방향으로 일정 길이 연장된 제2배선 라인으로 이루어진 압력센서가 개시된다.
압력센서, 다이아프레임, 압저항, 메탈 라인, 반도체 기판

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式