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    • 58. 发明授权
    • 멤스 콤 디바이스
    • MEMS梳状器件
    • KR100837405B1
    • 2008-06-12
    • KR1020060108538
    • 2006-11-03
    • 삼성전자주식회사
    • 박용화
    • B81B7/00B81B5/00
    • H02N1/008
    • 멤스 콤 디바이스가 개시된다. 개시된 콤 디바이스는, 기판상에 고정된 고정 콤과, 기판으로부터 분리된 가동 콤과, 가동 콤을 이동가능하게 지지하는 스프링을 포함한다. 상기 고정 콤은, 고정 스테이지와, 고정 스테이지로부터 돌출 형성된 다수의 고정 핑거를 구비하되, 다수의 고정 핑거는 고정 스테이지로부터 서로 다른 간격을 가진 복수의 레이어로 배열되고, 상기 가동 콤은, 가동 스테이지와, 가동 스테이지로부터 돌출 형성된 다수의 가동 핑거를 구비하되, 다수의 가동 핑거는 가동 스테이지로부터 서로 다른 간격을 가진 복수의 레이어로 배열된다. 상기 다수의 고정 핑거와 다수의 가동 핑거는 서로 역순의 레이어에 배열된 것끼리 서로 대응되며, 서로 대응되는 다수의 고정 핑거와 다수의 가동 핑거는 서로 교번되도록 배치된다. 이러한 구성에 의하면, 구동력과 센싱 감도가 향상될 수 있다.
    • 59. 发明授权
    • 2축 구동형 맴스 디바이스
    • 用于双轴驱动的MEMS装置
    • KR100837399B1
    • 2008-06-12
    • KR1020060056549
    • 2006-06-22
    • 삼성전자주식회사
    • 고영철조진우박용화정희문
    • B81B7/02B81B7/00G02B26/08G02B26/00
    • B81B3/0062B81B2201/042B81B2203/058G02B26/085H02K33/18
    • 본 발명에 의하면 2축 구동형 맴스 디바이스가 개시된다. 개시된 맴스 디바이스는 제1 축과 동축으로 지지되어, 제1 축 및 수직한 제2 축에 대해 요동 구동되는 가동판, 가동판의 내측 영역에서 제2 축과 동축으로 지지된 스테이지, 가동판의 제1 축 선상을 따라 배치되고 중앙의 스테이지 영역을 사이에 두고 양분된 동축 코일부와, 각각 동축 코일부의 좌측 및 우측 단부를 서로 반대 위치에서 상호 연결하는 제1, 제2 연결 코일부를 구비하는 구동코일, 구동코일을 가로지르는 자기장을 형성하도록 각각 제1, 제2 연결 코일부에 근접하게 배치된 서로 반대 극성의 마그네트 쌍 및 마그네트 쌍에 의한 자기장이 마그네트와의 거리에 따라 급격히 변화되는 자속 밀도를 형성하도록 마그네트 쌍 사이의 상방 또는 하방 영역에 배치되고, 마그네트에 의해 자화될 수 있는 자성물질로 이루어진 요크 자성체를 포함한다. 본 발명에 따르면, 안정적으로 2축 구동이 가능하면서도 그 회전 구동력이 배가되는 맴스 디바이스가 제공된다.
    • 60. 发明公开
    • 멤스 콤 디바이스
    • MEMS组合设备
    • KR1020080040498A
    • 2008-05-08
    • KR1020060108538
    • 2006-11-03
    • 삼성전자주식회사
    • 박용화
    • B81B7/00B81B5/00
    • H02N1/008
    • A MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) comb device is provided to improve driving force and sensitivity by improving comb structure. A MEMS comb device comprises a stationary comb(120), a movable comb(130), and a spring(140). The stationary comb is fixed to a substrate. The movable comb is separated from the substrate. The spring supports the operating comb to be movable. The stationary comb includes a stationary stage(122) and a plurality of stationary fingers(124a,124b,125) protruded on the stage. The stationary fingers are disposed as multiple layers different in distance from the stationary stages. The movable comb includes an movable stage(132) and a plurality of movable fingers(134a,134b,135) protruded on the stage. The movable fingers are disposed as multiple layers different in distance from the movable stages.
    • 提供了一种通过改善梳状结构来提高驱动力和灵敏度的MEMS(微机电系统)梳状装置。 MEMS梳状装置包括固定梳(120),可动梳(130)和弹簧(140)。 固定梳被固定在基底上。 活动梳子与衬底分离。 弹簧支撑操作梳可移动。 固定梳子包括固定台(122)和突出在台上的多个固定指状物(124a,124b,125)。 固定指状物被设置为与静止阶段不同的多个层。 可动梳子包括可移动台(132)和突出在台架上的多个活动指状物(134a,134b,135)。 活动指状物被设置为与可移动台的距离不同的多个层。