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1. 发明授权

KR102466199B1 비-평면형 기판의 코팅 및 그의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102466199B1
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：KR1020197003621
申请日：2017-07-10
IPC分类号： G02B1/14 , B29D11/00 , C03C17/34 , C03C21/00 , C23C14/00 , C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/22 , G02B1/115 , G02B5/28
摘要： 코팅물품은기판및 광학코팅을포함할수 있다. 기판은제1 부분및 제2 부분을포함하는주 표면을가질수 있다. 주표면의제1 부분에대해수직인제1 방향은주 표면의제2 부분에대해수직인제2 방향과동일하지않을수 있다. 광학코팅은주 표면의적어도제1 부분및 제2 부분상에배치될수 있다. 코팅물품은기판의제1 부분및 기판의제2 부분에서베르코비치압입자경도시험에의해반사방지표면상에서측정시약 50 nm 이상의압입깊이에서약 8 GPa 이상의경도를나타낼수 있다.

2. 发明授权

KR102464340B1 개인정보 보호필름. 有权
公开(公告)号：KR102464340B1
公开(公告)日：2022-11-09
申请号：KR1020220013521
申请日：2022-01-28
IPC分类号： G02B5/22 , G02B5/28 , C09D5/33 , C09D17/00
摘要： 본발명은기재와, 상기기재의일면에형성된패턴으로형성된광 지향요소및 상기패턴의오목부에주입되어채워짐으로써형성되는광 반사요소로이루어지는개인정보보호필름에관한것으로서, 상기광 지향요소는비스페놀-A 에틸렌옥사이드디아크릴레이트(bisphenol-A ethylene oxide diacrylate), 테트라하이드로퍼퓨릴아크릴레이트(tetrahydrofurfuryl acrylate, THFA), 트리시클로데칸디메탄올디아크릴레이트(tricyclodecane dimethanol diacrylate, TCDDA), 및 N-비닐피롤리돈(N-vinyl-2-pyrrolidone), 1-하이드록시사이클로헥실페닐케톤(1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone), 2,4,6-트리메틸벤조일-1,4-디페틸포스핀옥사이드(2,4,6-Trimethylbenzoyl-1.4-diphenyl phosphine oxide) 및실리콘아크릴레이트(silicone acrylate)로이루어진제1 광경화성수지조성물을사용하여형성되며, 상기광 반사요소는비스페놀-A 에틸렌옥사이드디아크릴레이트, 테트라하이드로퍼퓨릴아크릴레이트, N-비닐피롤리돈, 이소보르닐아크릴레이트(isobornyl acrylate), 4급암모늄화합물(quaternary ammonium compounds, QAC), 블랙안료, 및분산제로이루어진제2 광경화성수지조성물을사용하여형성되는것을특징으로한다.

3. 发明授权

KR102464660B1 고체 촬상 장치 및 광학 필터 有权
公开(公告)号：KR102464660B1
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：KR1020160009942
申请日：2016-01-27
IPC分类号： H01L27/146 , C09B57/08 , C09B62/012 , G02B5/20 , G02B5/28
摘要： [과제] 제조비용을억제하면서검출정밀도가높은고체촬상장치를제공하는것이다. [해결수단] 가시광및 근적외광의적어도일부를투과하는제1 광학층과, 가시광의적어도일부를흡수하고, 근적외광의적어도일부를투과하는근적외광통과필터와, 제1 광학층을투과한가시광을검출하는제1 수광소자그리고제1 광학층및 근적외광통과필터를투과한근적외광을검출하는제2 수광소자를포함하는화소어레이를구비하고, 근적외광통과필터는제2 수광소자에대응하는부분에설치되고, 제1 광학층에있어서의근적외광의투과율이수직방향으로부터측정한경우에 30% 이상이되는가장짧은파장 (X1)부터당해투과율이 30% 이하가되는가장긴 파장 (X2)까지의파장대역을 X로할 때, 파장대역 (X)에있어서, 수직방향에있어서의제1 광학층의평균투과율과근적외광통과필터의평균투과율의곱이 30% 이상인고체촬상장치이다.

4. 发明授权

KR102438548B1 파장 선택 필터 및 광조사 장치 有权
公开(公告)号：KR102438548B1
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：KR1020150142871
申请日：2015-10-13
IPC分类号： G02B5/28 , G02F1/1335
摘要： 막수의대폭적인증가를억제하면서, 막면에의광의경사입사시에도분광투과특성의파장시프트량을작게하는것이가능한파장선택필터및 광조사장치를제공한다. 파장선택필터(4)는투명기판(21) 상에제1 유전체다층막 G1 및제2 유전체다층막 G2를포함하는제1 적층체와, 제3 유전체다층막및 제4 유전체다층막을포함하는제2 적층체를구비하고, 제1 및제3 유전체다층막 G1, G3은, 제1 굴절률을가진제1 굴절률재(22)와, 제1 굴절률보다작은제2 굴절률을가진제2 굴절률재(23)를교대로적층하여구성되고, 제2 및제4 유전체다층막 G1, G4는, 제3 굴절률을가진제3 굴절률재(24)와, 제3 굴절률보다작은제4 굴절률을가진제4 굴절률재(25)를교대로적층하여구성되고, 제1 굴절률및 제3 굴절률이상이하고, 제2 굴절률및 제4 굴절률이상이한구성으로한다.

5. 发明授权

KR102419708B1 광학 디바이스, 표시체, 표시체 부착 디바이스, 광학 필터, 및 광학 디바이스의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102419708B1
公开(公告)日：2022-07-11
申请号：KR1020187036539
申请日：2017-06-23
IPC分类号： G02B5/28 , G02B5/18 , G09F19/12
摘要： 광학디바이스는, 기준면을갖는지지부와, 기준면에있어서서브파장주기를가진이차원격자상으로늘어서는복수의주기요소로서, 기준면으로부터돌출되는볼록부, 혹은, 기준면으로부터오목하게들어가는오목부중 어느것인주기요소를구비하는유전체인주기구조체를구비한다. 또한, 광학디바이스는, 기준면중 주기요소를둘러싸는영역과주기요소의표면을포함하는면인주기구조체의표면에위치하고, 주기구조체의표면형상에추종하는형상을가진금속층을구비한다.

6. 发明公开

KR1020220038327A 금속 미러 기반 다중스펙트럼 필터 어레이 및 다중스펙트럼 필터 어레이를 가진 센서 디바이스의 제조방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220038327A
公开(公告)日：2022-03-28
申请号：KR1020220032590
申请日：2022-03-16
IPC分类号： G01J3/12 , G01J3/02 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/36 , G02B5/20 , G02B5/28 , H01L27/146
摘要： 디바이스는기판상에배치된다중스펙트럼필터어레이를포함할수 있다. 다중스펙트럼필터어레이는기판상에배치된제1 금속미러를포함할수 있다. 다중스펙트럼필터는제1 금속미러상에배치된스페이서를포함할수 있다. 스페이서는층들의세트를포함할수 있다. 스페이서는스페이서상에배치된제2 금속미러를포함할수 있다. 제2 금속미러는센서요소들의세트중 둘이상의센서요소와정렬될수 있다.

7. 发明授权

KR102373366B1 스마트 칼라필터 有权
公开(公告)号：KR102373366B1
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：KR1020200057988
申请日：2020-05-14
IPC分类号： G02B5/28 , G02B5/26
摘要： 본발명은스마트칼라필터에관한것이다. 한구체예에서상기스마트칼라필터는투명기판; 상기투명기판의하나이상의표면에형성되며, 유전체광학스페이서및 상변이물질층이순차적으로형성된단위시트층; 및상기단위시트층상부에형성되고, 상변이물질층과접하는유전체비반사보호층;을포함한다.

8. 发明授权

KR102351001B1 광학 필터 및 분광계 有权
公开(公告)号：KR102351001B1
公开(公告)日：2022-01-12
申请号：KR1020207037231
申请日：2015-01-29
IPC分类号： G01J3/02 , G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/12
摘要： 상류필터가하류필터에대한공간필터로서기능하도록서로로부터고정거리에스택되는 2개의측면적가변밴드패스필터들을포함하는광학필터가개시된다. 이것은하류필터에충돌하는경우상류필터에의해송신되는경사빔이측면적으로배치되기때문에발생한다. 측면적배치는상류필터및 하류필터로의경사빔의충돌위치들에서의송신패스밴드들이오버랩하지않는경우경사빔의억제를야기한다.

9. 发明授权

KR102294187B1 마스크 블랭크용 기판, 다층 반사막 부착 기판, 반사형 마스크 블랭크, 반사형 마스크 및 반도체 장치의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102294187B1
公开(公告)日：2021-08-26
申请号：KR1020217014307
申请日：2014-09-25
IPC分类号： G02B5/28 , G02B5/26 , G03F1/24
摘要： 본발명은고감도의결함검사장치를이용한결함검사에있어서, 기판또는막의표면거칠기에기인하는유사결함검출을억제하고, 이물및 흠집등의치명결함의발견을용이하게하는것이가능한다층반사막부착기판, 반사형마스크블랭크및 반도체장치의제조방법을제공한다. 또본 발명은리소그래피에사용되는마스크블랭크용기판의주표면상에, 고굴절률층과저굴절률층을교대로적층한다층반사막을갖는다층반사막부착기판으로서, 상기다층반사막부착기판의표면은, 3㎛×3㎛의영역을원자간력현미경으로측정하여얻어지는공간주파수 1㎛-1 이상 10㎛-1 이하의파워스펙트럼밀도(PSD)의적분값(I)이 180×10-3nm3 이하이고, 또한공간주파수 1㎛-1 이상 10㎛-1 이하의파워스펙트럼밀도(PSD)의최대값이 50nm4 이하인것을특징으로하는다층반사막부착기판이다.

10. 发明公开

KR1020210103444A 유도형 투과 필터 审中-实审
公开(公告)号：KR1020210103444A
公开(公告)日：2021-08-23
申请号：KR1020210107312
申请日：2021-08-13
IPC分类号： G02B5/28 , H01B3/10 , H01B3/02 , C23C28/00
摘要： 광학필터는제1 층그룹을포함할수 있다. 제1 층그룹은유전체재료그룹의제1 유전체재료및 유전체재료그룹의제2 유전체재료의교호층을포함할수 있다. 광학필터는제2 층그룹을포함할수 있다. 제2 층그룹은유전체재료그룹의제3 유전체재료및 유전체재료그룹의제4 유전체재료의교호층을포함할수 있다. 광학필터는제3 층그룹(third group of layers)을포함할수 있다. 제3 층그룹은유전체재료그룹의제5 유전체재료, 유전체재료그룹의제6 유전체재료, 및금속재료의교호층을포함할수 있다. 제3 층그룹은제1 층그룹과제2 층그룹사이에배치될수 있다.

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