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41. 发明公开

KR1020140115967A 판형상 피반송물의 수도 방법, 수도 장치 및 패턴 형성 장치 有权
标题翻译：输送类似物体的传送方法，其传送装置和图案形成装置
公开(公告)号：KR1020140115967A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：KR1020140024280
申请日：2014-02-28
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노히로유키 , 마스이치미키오 , 가와고에마사후미 , 시바후지야요이 , 쇼지가즈히로 , 우에노미요시
IPC分类号： B41M1/02
CPC分类号： B41M1/02 , B41F17/14 , B65H5/08 , B65H5/10
摘要： The present invention relates to a delivery method of a plate-like object to be carried which excellently delivers the plate-like object in a state that a lower peripheral portion is supported by a first holding unit to a second holding unit to absorb a top surface of the plate-like object to be carried in the upward direction of the first holding unit. The delivery method of a plate-like object to be carried includes: a first absorbing step of absorbing a first absorbing position of a top surface of a plate-like object to be processed held by the first holding unit by descending a first absorbing member from a first through hole formed through the second holding unit upward and downward; a second absorbing step of absorbing a second absorbing position other than the first absorbing position among the top surface of the plate-like object to be carried by descending a second absorbing member from a second through hole formed through the second holding unit at a position other than the first through hole; and a moving step of descending the first absorbing member and the second absorbing member holding the plate-like object to be carried and retreating the first absorbing member and the second absorbing member in the first through hole and the second through hole to move the plate-like object to be carried from the first holding unit to the second holding unit.
摘要翻译：本发明涉及一种在下部周边部分被第一保持单元支撑到第二保持单元以吸收顶表面的状态下良好地输送板状物体的被承载板状物体的传送方法的板状物体沿第一保持单元的向上方向承载。待运送的板状物体的传送方法包括：第一吸收步骤，通过使第一吸收构件从第一吸收构件下降而吸收由第一保持单元保持的待处理的板状物体的顶表面的第一吸收位置第一通孔，其通过第二保持单元向上和向下形成; 第二吸收步骤，通过从形成在第二保持单元上的第二通孔的另一个位置吸收待承载的板状物体的顶表面中除了第一吸收位置之外的第二吸收位置; 比第一个通孔; 以及使第一吸收构件和第二吸收构件下降的移动步骤，该第一吸收构件和第二吸收构件保持待承载的板状物体，并且将第一吸收构件和第二吸收构件缩回到第一通孔和第二通孔中，从第一保持单元传送到第二保持单元。

42. 发明公开

KR1020140106419A 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 및 얼라이먼트 장치 및 얼라이먼트 방법 有权
标题翻译：图案形成装置，图案形成方法，对准装置和对准方法
公开(公告)号：KR1020140106419A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：KR1020140020434
申请日：2014-02-21
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 우에노미요시 , 다니구치가즈타카 , 쇼지가즈히로 , 시바후지야요이 , 다나카데츠오 , 스야마다케시
IPC分类号： B41F17/14 , B41F33/00 , G03G15/16
CPC分类号： B41F17/14 , B41F33/00 , B41P2233/00 , G03G15/1605
摘要： A carrier BL for supporting a pattern, and a transcribed body SB on which a pattern is transcribed are arranged to face each other. The carrier BL is located on a first target location by moving a first maintaining means (61) based on the result of photographing at least a part of the outer circumference of the carrier BL. The transcribed body SB is located on a fixed second target location by moving a second maintaining means (41) based on the result of photographing at least a part of the outer circumference of the transcribed body SB. A first alignment mark formed on the carrier BL and a second alignment mark formed on the transcribed body are photographed, and at least one between the first maintaining means (61) and the second maintaining means (41) is moved based on the photographing result, so the locations of the carrier BL and the transcribed body SB are adjusted.
摘要翻译：用于支撑图案的载体BL和其上转印了图案的转录体SB被布置成彼此面对。通过基于载体BL的外周的至少一部分的拍摄结果移动第一保持装置（61），载体BL位于第一目标位置。基于拍摄转录体SB的外周的至少一部分的结果，通过移动第二保持装置（41），将转录体SB位于固定的第二目标位置上。在载体BL上形成的第一对准标记和形成在转录体上的第二对准标记被拍摄，并且基于拍摄结果移动第一保持装置（61）和第二保持装置（41）之间的至少一个，因此调整载体BL和转录体SB的位置。

43. 发明公开

KR1020130126461A 패턴 형성 장치 有权
标题翻译：图案形成装置
公开(公告)号：KR1020130126461A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：KR1020130022753
申请日：2013-03-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 나카지마미요시 , 마스이치미키오 , 가와고에마사후미 , 우에노히로유키
IPC分类号： B41F17/14 , B41M1/02
摘要： The present invention relates to a pattern forming apparatus which forms patterns as a pattern forming area (A1) of a carrier (BL) is in contact with a plate shaped material (PP). The apparatus sucks the material (PP) from the outside of an area (A2) facing the pattern forming area (A1). A suction plate (34) has a grooved opening (351) which is formed outside the area (A3) facing the pattern forming area (A2), and supplied with negative pressure during pattern forming. Suction pads (352), each of which sucks the material (PP) partially, are installed outside the grooved opening. [Reference numerals] (AA) Up (+Z);(BB) Left (+X);(CC) Front (+Y);(DD) Down (��);(EE) Right (��);(FF) Back (��)
摘要翻译：图案形成装置技术领域本发明涉及一种形成图案的图案形成装置，其形成为载体（BL）的图案形成区域（A1）与板状材料（PP）接触。该装置从面向图案形成区域（A1）的区域（A2）的外侧吸收材料（PP）。吸盘（34）具有形成在与图案形成区域（A2）相对的区域（A3）的外侧的带槽开口（351），并且在图案形成期间被供给负压。吸引板（352），其中的每一个部分地吸收材料（PP），安装在带槽开口的外部。（）;（EE）右（）;（）（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（（ FF）返回（）

44. 发明授权

KR101290007B1 도포 장치 및 도포 방법 失效
标题翻译：涂装和涂装方法
公开(公告)号：KR101290007B1
公开(公告)日：2013-07-30
申请号：KR1020100019496
申请日：2010-03-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 다카무라유키히로 , 마스이치미키오 , 마츠카츠요시 , 가와고에마사후미 , 사가라수이치 , 이토류스케 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C5/02 , B05C11/10 , H01L21/027 , G03F7/16
摘要： 해결해야 할 과제는, 비접촉 지지 장치를 이용하면서도, 안정된 유효한 노즐 프린팅법에 의해 도포를 행하는 장치를 제공하는 것이다. 그 해결 수단으로서 기판에 유동성 재료를 도포하기 위한 도포 장치로서, 노즐, 액받이부, 부상 지지 유닛, 노즐 이동 기구, 기판 이동 기구, 제어부를 구비하고, 그 부상 지지 유닛 및 액받이부의 배치가, 노즐이 피도포 기판에 대해서 액기둥을 형성하고 있는 경우에 부상 지지 유닛이 상기 노즐의 직하가 되도록, 또는 상술의 노즐이 피도포 기판의 범위 외에서 액기둥을 형성하고 있는 경우에 액받이부 중 어느 하나가 노즐의 직하가 되도록 행해지는, 도포 장치가 제공된다.

45. 发明授权

KR101046861B1 테이프 부착 장치, 도포 시스템 및 마스킹 테이프 失效
标题翻译：磁带附件设备，应用系统和遮蔽胶带
公开(公告)号：KR101046861B1
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090030284
申请日：2009-04-08
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 , 닛토덴코 가부시키가이샤
发明人： 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 마츠카츠요시 , 야마모토미츠시 , 오쿠무라가즈히토
IPC分类号： B05B15/04 , B05B13/00 , B05D1/02
摘要： 테이프 부착 장치에 의해 기판 상에 부착된 마스킹 테이프에서는, 제1 마스킹 테이프의 제1 하면 엣지가 비도포 영역과 도포 영역의 사이의 경계보다 비도포 영역의 내측에 위치하고 있고, 제2 마스킹 테이프의 제1 마스킹 테이프로부터 외측으로 돌출하는 보호부가 비도포 영역의 노출 영역을 덮는다. 이로 인해, 기판 상에 토출된 유기 EL액이 노출 영역에 부착하는 것이 방지되고, 또, 유기 EL액이 제1 마스킹 테이프의 측면에 부착하여 메니스커스를 형성하는 것도 방지된다. 그 결과, 비도포 영역과 도포 영역의 사이의 경계에 있어서의 메니스커스의 발생을 용이하게 방지할 수 있다.
摘要翻译：在通过胶带粘贴装置附着到基板上的遮蔽胶带中，第一遮蔽胶带的第一下边缘位于非应用区域内部而非非应用区域和应用区域之间的边界处， 1从遮蔽胶带向外突出的保护部分覆盖未应用区域的暴露区域。这防止了喷射在基板上的有机EL液体附着到暴露区域并防止有机EL液体粘附到第一遮蔽胶带的侧表面以形成弯月面。结果，可以容易地防止在非施加区域和施加区域之间的边界处发生弯月面。

46. 发明公开

KR1020100105361A 도포 장치 및 도포 방법 失效
标题翻译：应用装置和方法
公开(公告)号：KR1020100105361A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：KR1020100011591
申请日：2010-02-08
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 오에무네아키 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 가와고에마사후미 , 마츠카츠요시 , 사가라슈이치 , 이토류스케
IPC分类号： H01L21/208 , H01L51/50
CPC分类号： H01L51/0003 , B05C11/06 , B05C11/10 , H01L51/56 , H05B33/10 , H05B33/20
摘要： PURPOSE: A coating apparatus and a coating method are provided to form a coating solution in a stripe shape on a substrate by discharging the coating solution including an organic electroluminescence in a column state. CONSTITUTION: Nozzles(52a to 52c) discharge a coating solution from tip-end parts. A substrate(P) is placed on the upper side of a stage(21). A nozzle moving unit(51) moves the nozzles to a transversal direction over the stage. Liquid receiving parts(53L, 53R) receive the coating solution which is discharged on the outside of the stage. A gas supplying unit supplies a pre-set gas to the rear space of the nozzles.
摘要翻译：目的：提供一种涂布装置和涂布方法，通过在柱状态下排出包含有机电致发光的涂布溶液，在基板上形成条纹状的涂布液。构成：喷嘴（52a至52c）从顶端部分排出涂布溶液。衬底（P）被放置在平台（21）的上侧。喷嘴移动单元（51）使喷嘴沿台阶的横向方向移动。液体接收部分（53L，53R）接收在舞台外部排放的涂布溶液。气体供给单元将预设气体供给到喷嘴的后部空间。

47. 发明授权

KR100787674B1 유기ＥＬ 표시장치를 제조하기 위한 도포장치 失效
标题翻译：一种用于制造有机电致发光显示器的应用装置
公开(公告)号：KR100787674B1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：KR1020050110695
申请日：2005-11-18
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 요시다쥰이치
IPC分类号： H05B33/10
摘要： 본 발명은, 유기EL 재료 또는 정공 수송 재료의 처리액을 기판(7)에 도포하는 도포장치이다. 도포장치는, 기판(7)을 재치하는 스테이지(4)와, 스테이지 내에 설치되어 상기 스테이지를 가열하는 히터(41)와, 스테이지(4)에 재치된 기판(7)이 도포후의 반송에 적합한 온도로 가열되도록 히터(41)를 제어하는 제어수단과, 스테이지(4)에 재치된 기판(7)에 대하여 처리액을 흘려보내는 노즐유닛(2)을 구비하고 있다.
유기EL 재료, 정공 수송 재료, 처리액, 도포장치

48. 发明公开

KR1020070035416A 도포 장치 失效
标题翻译：液体材料应用系统
公开(公告)号：KR1020070035416A
公开(公告)日：2007-03-30
申请号：KR1020060083469
申请日：2006-08-31
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 요시다준이치 , 마츠카츠요시 , 다카무라유키히로 , 우에노히로유키
IPC分类号： H01L21/31 , H05B33/10 , H01L51/56
CPC分类号： H01L21/67132 , H01L21/67092 , H01L51/0002
摘要： 도포 시스템(1)은, 처리 유닛군(2), 인덱서(3) 및 멀티 반송 로봇(4)을 구비하고, 처리 유닛군(2)은, 유기 EL 테이프 유닛(26), 유기 EL 도포 유닛(24), 및, 유기 EL 베이크 유닛(25)을 포함한다. 도포 시스템(1)에서는, 처리 유닛군(2)에서, 유기 EL 테이프 유닛(26)에 의해 기판의 도포 금지 영역에 제2 마스킹 테이프가 접착되고, 유기 EL 도포 유닛(24)에 의해 도포 금지 영역을 포함하는 기판상의 영역에 유기 EL액이 도포된다. 그리고, 유동성 재료 제거 유닛인 유기 EL 테이프 유닛(26)에 의해 제2 마스킹 테이프가 박리(剝離)됨으로써, 도포 영역에만 유기 EL액이 도포된 기판을 용이하게 얻을 수 있다. 그 후, 유기 EL 베이크 유닛(25)에 의해 기판에 대한 가열 처리가 행해짐으로써, 유기 EL액이 기판상에 정착하여 유기 EL층이 형성된다.

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