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1. 发明授权

KR101717326B1 전사 장치 및 전사 방법 有权
标题翻译：转印装置和转印方法
公开(公告)号：KR101717326B1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020140034029
申请日：2014-03-24
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 시바후지야요이 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 쇼지가즈히로 , 우에노미요시
IPC分类号： B41F16/00 , B41F1/28 , B41F17/14 , H05B33/10 , H01L51/50 , B41M5/035
CPC分类号： B32B37/0053 , B32B37/025 , B32B38/1858 , B41F16/0053 , B41F16/006 , B41F16/008 , Y10T156/1705
摘要： 패턴을담지하는블랭킷(BL)을, 서로독립적으로승강가능한복수의핸드쌍(301~306)에의해지지한다. 패턴이전사되는기판(SB)은상측스테이지(71)의하면에흡착유지된다. 전사롤러(501)에의해블랭킷(BL)을밀어올려기판(SB)에맞닿게하면서, 전사롤러(501)가 Y방향으로이동한다. 전사롤러(501)의전방측(진행방향하류측)에서는전사롤러(501)의접근에수반하여핸드쌍이차례로하강하고, 전사롤러(501)와의간섭이회피된다. 전사롤러(501)의후방측(진행방향상류측)에서는핸드쌍이블랭킷(BL)에다시맞닿은후, 블랭킷(BL)을흡착유지하면서하강함으로써, 블랭킷(BL)을기판(SB)으로부터박리시킨다.
摘要翻译：承载图案的橡皮布（BL）由可彼此独立地升高和降低的多对手（301至306）保持。其上转印有图案的基板SB被吸附并保持在上台71的表面上。转印辊501在Y方向上移动，同时橡皮布BL被转印辊501向上推动以到达基板SB。在转印辊501的前侧（行进方向的下游侧），随着转印辊501接近并且避免了与转印辊501的干涉，成对的手依次下降。在转印辊501的后侧（上游侧行进方向）的手对在EDA毯（BL）抵接，通过下降，同时保持吸入毯（BL），由此剥离从衬底（SB）橡皮布（BL）的后。

2. 发明授权

KR101489055B1 패턴 형성 장치 有权
标题翻译：图案形成装置
公开(公告)号：KR101489055B1
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：KR1020130022753
申请日：2013-03-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 나카지마미요시 , 마스이치미키오 , 가와고에마사후미 , 우에노히로유키
IPC分类号： B41F17/14 , B41M1/02
摘要： 판형상의 물체(PP)에 대하여 담지체(BL) 상의 패턴 형성 영역(A1)을 맞닿게 하여 패턴 형성을 행하는 패턴 형성 장치는, 패턴 형성시에 패턴 형성 영역(A1)과 대향하는 영역(A2)의 외측에서 물체(PP)를 흡착한다. 구체적으로는, 흡착 플레이트(34) 중 패턴 형성시에 판(PP)의 영역(A2)과 대향하는 영역(A3)의 외측에 부압이 공급되는 홈형상의 개구(351)가 형성되고, 또한 그 외측에, 각각이 물체(PP)를 국소적으로 흡착하는 국소 흡착부(352)가 설치된다.

3. 发明授权

KR101485654B1 패턴 형성 방법 및 패턴 형성 장치 有权
标题翻译：图案形成方法和图案形成装置
公开(公告)号：KR101485654B1
公开(公告)日：2015-01-22
申请号：KR1020130022748
申请日：2013-03-04
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 우에노히로유키 , 나카지마미요시 , 마스이치미키오
IPC分类号： B41M1/02
摘要： 블랭킷 등의 담지체에 담지되는 도포층을 판에 의해서 패터닝하여 패턴층을 형성하는 패턴 형성 기술에 있어서, 도포층이 형성된 담지체를 판에 의해 패터닝할 때까지의 시간을 단축하여 뛰어난 성능으로 패턴층을 형성하는 것으로서, 판이 상측 스테이지부에 반입된(단계 S3) 후에, 하측 스테이지부에 대하여, 도포층을 담지하는 블랭킷이 반입된다(단계 S4). 그리고, 당해 판에 의해 도포층이 패터닝되어 패턴층이 형성된다. 이와 같이 블랭킷을 하측 스테이지부에 반입하기 전에, 판을 상측 스테이지부에 반입하여 흡착 플레이트에 흡착 유지시키고 있다. 이 때문에, 블랭킷의 반입 직후부터 패터닝 처리(단계 S5)를 개시하고 있어, 도포층 형성으로부터 패터닝까지의 시간 경과를 억제할 수 있고, 그 결과, 패터닝 처리가 양호하게 실행된다.

4. 发明公开

KR1020140105392A 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 有权
标题翻译：图案形成装置和图案形成方法
公开(公告)号：KR1020140105392A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：KR1020140019047
申请日：2014-02-19
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 쇼지가즈히로 , 가와고에마사후미 , 우에노히로유키 , 시바후지야요이 , 마스이치미키오 , 우에노미요시
IPC分类号： B41F17/14 , B41F33/00 , B29C59/02
CPC分类号： B41F17/14 , B29C59/02 , B41F33/00 , B41P2213/734
摘要： According to the present invention, a blanket is absorbed and maintained by a lower stage (61) in the shape of a frame. The center of the blanket is locally supported by a plurality of hands (625) which can individually move upward. A transfer roller unit (64) is driven along a lower surface of the blanket so as to partially push up the blanket, thereby allowing the blanket to contact a plate or a substrate arranged above the blanket. Hands (625) move down in order according to movements of the transfer roller unit (64) and move away from the transfer roller unit (64). Consequently, the hands (625) are not interrupted by the transfer roller unit (64).
摘要翻译：根据本发明，毯子被框架形状的下层（61）吸收并保持。毯子的中心由多个可以单独向上移动的手（625）局部地支撑。转印辊单元（64）沿着橡皮布的下表面被驱动以部分地向上推动橡皮布，从而允许橡皮布接触布置在橡皮布上方的板或基底。手（625）根据转印辊单元（64）的移动顺序向下移动并远离转印辊单元（64）移动。因此，手（625）不被转印辊单元（64）中断。

5. 发明授权

KR100816694B1 기판용 마스킹 테이프 有权
标题翻译：用于衬底的屏蔽胶带
公开(公告)号：KR100816694B1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：KR1020070019621
申请日：2007-02-27
申请人： 닛토덴코 가부시키가이샤 , 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 야마모토미츠시 , 오쿠무라가즈히토 , 마스이치미키오 , 가와고에마사후미 , 마츠카츠요시
IPC分类号： B05B15/04 , B05C11/00 , B05C5/00
摘要： 본 발명의 목적은, 유동성 재료로 이루어지는 도포액을 기판 상에 도포하여 박막을 형성할 때에, 테이프 주위에서 박막 (도막) 의 도포 형상의 원하지 않은 확대에 의한 박막 (도막) 의 원하지 않은 두께의 증대가 발생하는 것을 방지할 수 있는 마스킹 테이프를 제공하는 것이다.
본 발명의 기판용 마스킹 테이프 (10) 는, 기재 (1) 와, 그 기재 (1) 의 일방의 면에 형성된 점착층 (3) 을 구비하는 것으로, 기재 (1) 의 타방의 면 (A) 에서의 물의 접촉각이 65°미만이고, 또한 점착층 (3) 의 측면 (B) 에서의 물의 접촉각이 100°미만인 것을 특징으로 한다. 이 테이프 (10) 에 의해, 물분산성 도전 재료 등의 유동성 재료의 박막 (도막) 형성시에 있어서, 점착층 (3) 의 측부에서의 메니스커스의 형성이나, 기재 (1) 의 타방의 면 (A) 으로부터의 유동성 재료의 탈락이 억제되어, 박막을 균일한 막 두께로 형성하는 것이 가능해진다.

6. 发明授权

KR100784026B1 도포 장치 失效
标题翻译：液体材料应用设备
公开(公告)号：KR100784026B1
公开(公告)日：2007-12-10
申请号：KR1020060083469
申请日：2006-08-31
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 요시다준이치 , 마츠카츠요시 , 다카무라유키히로 , 우에노히로유키
IPC分类号： H01L21/31 , H05B33/10 , H01L51/56
摘要： 도포 시스템(1)은, 처리 유닛군(2), 인덱서(3) 및 멀티 반송 로봇(4)을 구비하고, 처리 유닛군(2)은, 유기 EL 테이프 유닛(26), 유기 EL 도포 유닛(24), 및, 유기 EL 베이크 유닛(25)을 포함한다. 도포 시스템(1)에서는, 처리 유닛군(2)에서, 유기 EL 테이프 유닛(26)에 의해 기판의 도포 금지 영역에 제2 마스킹 테이프가 접착되고, 유기 EL 도포 유닛(24)에 의해 도포 금지 영역을 포함하는 기판상의 영역에 유기 EL액이 도포된다. 그리고, 유동성 재료 제거 유닛인 유기 EL 테이프 유닛(26)에 의해 제2 마스킹 테이프가 박리(剝離)됨으로써, 도포 영역에만 유기 EL액이 도포된 기판을 용이하게 얻을 수 있다. 그 후, 유기 EL 베이크 유닛(25)에 의해 기판에 대한 가열 처리가 행해짐으로써, 유기 EL액이 기판상에 정착하여 유기 EL층이 형성된다.

7. 发明授权

KR101588979B1 박리 장치 및 박리 방법 有权
标题翻译：拆卸装置和拆卸方法
公开(公告)号：KR101588979B1
公开(公告)日：2016-01-26
申请号：KR1020140165216
申请日：2014-11-25
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노히로유키 , 가와고에마사후미 , 야나기다다카아키 , 쇼지가즈히로 , 마스이치미키오
IPC分类号： B65H41/00
摘要： 서로밀착된 2매의판상체를양호하게또한안정되게박리하여이격시킨다. 상류측흡착부에서제2 판상체의피흡착부위를제1 판상체로부터박리시켜제2 판상체의박리를박리진행방향으로진행시키는공정과, 박리진행방향에있어서의피흡착부위의하류측에서, 제2 판상체중 상류측박리수단에의해박리된박리부위의반밀착면을향해서하류측흡착부를이동시키는공정과, 박리부위의반밀착면을향해서이동중에제2 판상체의반밀착면에대한하류측흡착부의상대위치를모니터하는공정과, 상대위치에관한위치정보에의거하여하류측흡착부에의한제2 판상체의흡착을개시하는타이밍을조정하는공정과, 하류측흡착부에의한제2 판상체의흡착개시와동시또는흡착개시후에, 박리부위의반밀착면을하류측흡착부에서흡착한채로하류측흡착부를유지수단으로부터이격시켜제2 판상체의박리를박리진행방향으로진행시키는공정을구비하고있다.

8. 发明授权

KR101541643B1 박리 장치 有权
标题翻译：拆卸设备
公开(公告)号：KR101541643B1
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：KR1020140020538
申请日：2014-02-21
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노미요시 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키
IPC分类号： H01L21/20
摘要： 평면형상의수평스테이지부(31)의상면에리프터핀(361)을돌출시켜외부로부터반입되는워크 WK를수취한다. 리프터핀(361)은, 기판 SB와블랭킷 BL이패턴을통하여밀착된워크 WK 중, 기판 SB와블랭킷 BL이겹치고, 또한유효한패턴이형성된유효영역 AR보다외측의접촉가능영역 TR에있어서블랭킷 BL의하면에맞닿는다. 기판 SB와블랭킷 BL이겹쳐진영역을지지함으로써워크 WK의휨을억제하고, 또유효영역 AR 내의패턴에응력이집중하는것이방지된다.

9. 发明公开

KR1020140098008A 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 有权
标题翻译：图案形成装置和图案形成方法
公开(公告)号：KR1020140098008A
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：KR1020140010839
申请日：2014-01-28
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 쇼지가즈히로 , 시바후지야요이 , 우에노미요시
IPC分类号： B41F17/14 , B41F16/00 , B29C59/02 , B41M5/035
CPC分类号： B29C59/02 , B29C59/026 , B41F17/14 , B41F16/00 , B41M5/0358
摘要： According to the present invention, an apparatus for forming a pattern includes: a first maintaining means (61) which supports a blanket (BL), carrying a pattern forming material (PT) on one side thereof, to maintain a surface carrying the pattern forming material to be up and to be in a horizontal position; a second maintaining means (41) that makes an to-be-processed object, which is a plate for patterning the pattern forming material or a substrate board (SB) on which a pattern is transferred, be located close to an upper side of the blanket (BL) maintained by the first maintaining means (61) and face the upper side of the blanket (BL); and a pushing and lifting means (641) that pushes and lifts an effective portion of the center of the blanket from a lower side of the blanket to make the blanket (BL) contact with the to-be-processed object maintained by the second maintaining means (41), and also moves along the lower side of the blanket (BL) to changes a location of pushing and lifting the blanket (BL).
摘要翻译：根据本发明，用于形成图案的装置包括：第一保持装置（61），其支撑毯子（BL），在其一侧上承载图案形成材料（PT），以保持承载图案形成的表面材料要起来并处于水平位置; 作为用于图案化图案形成材料的板的待处理对象或其上传输图案的衬底板（SB）的第二保持装置（41）位于靠近图案形成材料的上侧毯子（BL）由第一保持装置（61）保持并且面向毯子（BL）的上侧; 和推动提升装置（641），其从橡皮布的下侧推动和提升橡皮布的中心的有效部分，以使橡皮布（BL）与被第二维持保持的待处理物体接触装置（41），并且还沿着毯子（BL）的下侧移动以改变推动和提升毯子（BL）的位置。

10. 发明公开

KR1020140098007A 박리 장치 및 박리 방법 有权
标题翻译：拆卸装置和拆卸方法
公开(公告)号：KR1020140098007A
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：KR1020140010837
申请日：2014-01-28
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 쇼지가즈히로 , 시바후지야요이 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 우에노미요시 , 다니구치가즈타카
IPC分类号： B65H29/56 , B65H41/00 , B65H3/08 , B65H5/06
CPC分类号： B32B43/006 , Y10T156/11 , Y10T156/1978
摘要： The present invention relates to a scaling apparatus and a scaling method. The scaling apparatus is prepared with: a first supporting instrument (310) for supporting a first platelet (BL); a scaling initiation instrument (321) for forming a single or a linear border line on a border between an attaching zone and a scaling zone, after converting a portion of the attaching zone, among a second platelet (SB), attached to the first platelet (BL) into the scaling zone where the first platelet (BL) is scaled off, by bending one end of the first platelet (BL) to an opposite direction from the second platelet (SB) in a cylindrical surface shape; a second supporting instrument (122) for supporting the second platelet (SB) having the scaling zone; and a separation instrument for increasing the interval between the first supporting instrument (310) and second supporting instrument (122), while separating the first platelet (BL) from the second platelet (SB).
摘要翻译：本发明涉及一种缩放装置和缩放方法。缩放装置由以下部件制成：用于支撑第一血小板（BL）的第一支持装置（310）用于在附接到第一血小板（SB）上的第二血小板（SB）中转换附接区的一部分之后，在附着区和缩放区之间的边界上形成单线或线性边界线的缩放启动器（321）（BL）通过将所述第一血小板（BL）的一端以与所述第二血小板（SB）相反的方向成圆柱形的形状，将第一血小板（BL）的比例缩放到所述缩放区域中; 用于支撑具有缩放区域的第二血小板（SB）的第二支撑仪器（122）以及用于在将第一血小板（BL）与第二血小板（SB）分离的同时增加第一支撑器具（310）和第二支撑器（122）之间的间隔的分离器械。

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