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1. 发明公开

KR1020150037502A 도포 장치 有权
标题翻译：涂装装置
公开(公告)号：KR1020150037502A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020140097378
申请日：2014-07-30
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 사가라슈이치 , 우에노마사토시 , 다카무라유키히로 , 오에무네아키
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/02
CPC分类号： H01L51/56
摘要： (과제) 폐기되는도포액의양을저감하면서, 도포효율을향상하는기술을제공한다. (해결수단) 복수의노즐(31)은, 주주사방향으로소정의간격을두고배열된제1 노즐군(31A)과, 상기제1 노즐군(31A)에대해, 기판(9)의주면에평행하고, 부주사방향으로간격을두고배열된제2 노즐군(31B)을포함한다. 피치조정기구(3)는, 제1 노즐군(31A)의노즐(31)을유지하는슬라이드피스(32A), 제2 노즐군(31B)의노즐군의노즐(31)을유지하는슬라이드피스(32B), 부주사방향의일방측으로부터슬라이드피스(32A, 32B)에맞닿는로드(352)와, 부주사방향의타방측으로부터슬라이드피스(32A, 32B)를로드(352)로탄성가압하는노즐탄성가압기구(34) 및로드(352)의부주사방향의위치를조정하는구동기구(351)를구비하고있다.
摘要翻译：（问题）提供了能够减少浪费的涂布溶液量并提高涂布效率的技术。（解决方案）多个喷嘴（31）包括以预设间隔沿主扫描方向布置的第一喷嘴组（31A）和以预设间隔沿副扫描方向布置的第二喷嘴组（31B）并且相对于第一喷嘴组（31A）平行于基板（9）的主表面。变桨控制装置（3）包括保持第一喷嘴组（31A）的喷嘴（31）的滑动片（32A），保持第二喷嘴组（31B）的喷嘴（31）的滑动片（22B）），从副扫描方向一侧与滑动片（32A，32B）接触的杆（352），弹性地按压滑动片（32A，32B）的喷嘴用弹性按压装置（34）从副扫描方向的另一侧到杆（352），以及驱动装置（351），其控制杆（352）的副扫描方向的位置。

2. 发明公开

KR1020130028852A 기판 처리 장치 및 처리액 부여 방법 有权
标题翻译：基板加工装置及其处理方法
公开(公告)号：KR1020130028852A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：KR1020120079235
申请日：2012-07-20
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 오에무네아키 , 다카무라유키히로 , 사가라슈이치 , 이토류스케
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/0273 , B05C11/1005 , B05D1/26 , H01L21/02628
摘要： PURPOSE: A substrate processing apparatus and a method for providing processing solution are provided to prevent the fluctuation of process liquid by using a movable pipe supporting part. CONSTITUTION: A substrate holding unit(30) horizontally maintains a substrate(200). A guide unit(42) is extended in a main injection direction. A main injection unit(40) includes a movable part which moves in the main injection direction. A pipe guides process liquid to a discharge unit(50). A movable pipe supporting part(100) is periodically moved according to the movement of the movable part.
摘要翻译：目的：提供一种基板处理装置和提供处理液的方法，以通过使用可动管支撑部件来防止处理液体的波动。构成：基板保持单元（30）水平地保持基板（200）。引导单元（42）沿主喷射方向延伸。主喷射单元（40）包括沿主喷射方向移动的可动部。管道将处理液体引导到排出单元（50）。可移动管支撑部（100）根据可动部的移动而周期性地移动。

3. 发明公开

KR1020100108212A 도포 장치 및 도포 방법 失效
标题翻译：液体材料应用装置和液体材料应用方法
公开(公告)号：KR1020100108212A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：KR1020100022211
申请日：2010-03-12
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 마츠카츠요시 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 가와고에마사후미 , 사가라슈이치 , 이토류스케 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C5/02 , B05C11/10 , H01L21/027 , G03F7/16
CPC分类号： G03F7/16 , B05C5/02 , B05C11/1002 , G03F7/168 , H01L21/67017 , H01L21/6715
摘要： PURPOSE: A coating device and a method of controlling the discharge of inert gas are provided to reduce the usage amount of the inert gas for controlling the adsorption of the moisture and the oxidation of flowable materials. CONSTITUTION: A coating device(1) comprises the following: a substrate holding unit holding a substrate(9); an extruding unit extruding flowable materials to the main surface of a substrate(91); a moving unit moving the extruding unit to the horizontal main scanning direction; a cover unit including an inert gas ejection unit spraying inert gas to the flowable materials, and a jet surface(211) covering the main surface; and an ejection range controller.
摘要翻译：目的：提供一种涂覆装置和控制惰性气体排放的方法，以减少用于控制水分吸附和可流动材料氧化的惰性气体的使用量。构成：涂覆装置（1）包括：保持基板（9）的基板保持单元; 挤出单元将可流动材料挤出到基材（91）的主表面; 移动单元将挤出单元移动到水平主扫描方向; 包括向所述可流动材料喷射惰性气体的惰性气体喷射单元和覆盖所述主表面的喷射表面（211）的盖单元; 和喷射范围控制器。

4. 发明公开

KR1020140040618A 도포 장치 및 액받이 세정 장치 有权
标题翻译：涂装装置和液体接收清洁装置
公开(公告)号：KR1020140040618A
公开(公告)日：2014-04-03
申请号：KR1020130068275
申请日：2013-06-14
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 이토류스케 , 사가라슈이치 , 다카무라유키히로 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C11/10 , B05C5/02
CPC分类号： B05C11/11 , B05C5/0225 , B05C11/1002 , H01L21/0271
摘要： Provided is a coating apparatus capable of preventing the attachment of mist formed by a cleaning treatment to a nozzle while the cleaning treatment jetting a coating solution is conducted. In the coating apparatus, an inner space (L2) attached to the lower side of a contact solution unit (42) is in negative pressure and air current (6) toward the inner space (L2) is formed near the upper side of the contact solution unit (42). Therefore, in case of the collision of coating solution discharged from spraying nozzles (52a-52c) between cleaning nozzles (45a-45c), the degree of mist generation is within the range of a descending air current region(D), in which a descending air current is generated in the air current (6) and the mist is inhaled into the inner space (L2) together with surrounding gas through the descending air current. The mist is also inhaled by the inhaling treatment of the cleaning nozzles (45a-45c). As a result, the attachment of the mist to the surroundings of the spray nozzles is prevented.
摘要翻译：提供一种涂布装置，其能够防止在进行喷射了涂布液的清洗处理时将通过清洗处理形成的雾附着在喷嘴上。在涂布装置中，安装在接触溶液单元（42）的下侧的内部空间（L2）处于负压，并且在接触的上侧附近形成朝向内部空间（L2）的气流（6）溶液单元（42）。因此，在清洗喷嘴（45a-45c）之间从喷嘴（52a-52c）排出的涂布溶液发生碰撞的情况下，雾化程度在下降的气流区域（D）的范围内，其中在气流（6）中产生下降的气流，并且雾通过下降的气流与周围的气体一起吸入内部空间（L2）。通过清洗喷嘴（45a-45c）的吸入处理也吸入雾气。结果，防止了雾到雾化喷嘴周围的附着。

5. 发明授权

KR101233932B1 도포 장치 有权
标题翻译：涂装装置
公开(公告)号：KR101233932B1
公开(公告)日：2013-02-15
申请号：KR1020110014131
申请日：2011-02-17
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 이토류스케 , 다카무라유키히로 , 사가라슈이치 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C5/00 , B05C11/02 , B05C11/10
摘要： (과제) 왕복 이동하는 노즐에 대해서 가요성의 도포액 공급관에 의해 도포액 저류부로부터 도포액을 송액한 경우에 있어서도, 도포액의 유량을 일정하게 유지하여 도포액을 균일하게 도포하는 것이 가능한 도포 장치를 제공하는 것이다.
(해결수단) 유리 기판에 대해서 도포액을 토출하는 복수의 노즐(23)과, 이 노즐(23)을 유리 기판의 표면에 대해서 평행한 주주사 방향으로 왕복 이동시키는 주주사 방향 이동 기구와, 도포액 저류부(24)로부터 복수의 노즐(23)에 대해서 도포액을 송액하기 위한 가요성의 도포액 공급관(64)과, 각 노즐(23)과 도포액 공급관(64)의 사이에 설치되고, 노즐(23)과 일체로 되어 이동함과 더불어, 거기를 통과하는 도포액의 압력 변동을 흡수하는 압력 변동 흡수 기구(70)를 구비한다.

6. 发明授权

KR100980183B1 노즐 보관 장치 및 도포 장치 有权
标题翻译：喷嘴储存装置和涂装装置
公开(公告)号：KR100980183B1
公开(公告)日：2010-09-03
申请号：KR1020080068997
申请日：2008-07-16
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 사가라슈이치 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 가와고에마사후미 , 마쯔카쯔요시
IPC分类号： B41F35/02 , B05C11/10 , H05B33/00 , H01L51/50
摘要： 노즐 보관 장치는, 토출구로부터 토출액을 아래쪽으로 토출하는 노즐을 보관한다. 노즐 보관 장치는, 돌기 부재와 공급 배관과 저류 기구와 세정액 공급 수단을 구비하고 있다. 돌기 부재는, 공급구가 설치되는 상면이 노즐의 토출구에 대향하는 위치에 배치된다. 공급 배관은, 세정액을 공급하는 공급원으로부터 공급구까지를 연통한다. 저류 기구는, 공급 배관에 접속되고, 돌기 부재의 상면보다도 위쪽에서 세정액을 저류 가능하다. 세정액 공급 수단은, 돌기 부재의 상면 상에 세정액이 액돌출된 상태로, 또한, 저류 기구에 세정액이 저류된 상태가 되도록 공급원으로부터 세정액을 공급한다.

7. 发明公开

KR1020080102943A 도포 장치 失效
标题翻译：沉积装置
公开(公告)号：KR1020080102943A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：KR1020080001704
申请日：2008-01-07
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 사가라슈이치 , 마스이치미키오 , 다카무라유키히로 , 가와고에마사후미 , 마츠카츠요시
IPC分类号： H05B33/10 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/0003 , H01L51/56 , H01L2924/12044
摘要： A deposition apparatus including a nozzle transfer device and a liquid receiver is provided to cleanly maintain a substrate by depositing coating solutions of a liquid pillar state. A deposition apparatus comprises the followings: a nozzle(52a~52c) discharging coating solutions from a tip-end part; a stage(21) mounting a substrate(P) in an upper side; a nozzle transfer device(51) reciprocating the nozzle to a direction crossing a stage surface in a stage space; and a liquid receiver(53L,53R) receiving the coating solutions discharged from the nozzle to a stage outside.
摘要翻译：提供一种包括喷嘴传送装置和液体接收器的沉积装置，通过沉积液柱状的涂布液来清洁地维持基板。沉积装置包括：从顶端部排出涂布溶液的喷嘴（52a〜52c）; 将基板（P）安装在上侧的载物台（21）喷嘴传送装置（51）使喷嘴往复移动到与舞台空间中的舞台表面相交叉的方向; 以及将从喷嘴排出的涂布液接收到外侧的液体接收器（53L，53R）。

8. 发明授权

KR102219719B1 도공 장치 및 도공 방법 有权
公开(公告)号：KR102219719B1
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：KR1020190007350
申请日：2019-01-21
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 사가라슈이치
IPC分类号： B05C11/10 , B05C9/04 , B05C13/02 , B05C9/14 , B05D3/02
摘要： (과제) 장척띠상의기재의제 1 주면에형성된제 1 도공막에대응하여기재의제 2 주면에제 2 도공막을형성하는도공기술에있어서, 제 2 도공막의도공폭을제 1 도공막의도공폭에고정밀도로일치시킨다. (해결수단) 장척방향에있어서제 2 주면측도포부의상류측에서기재의제 1 주면에있어서의제 1 도공막의위치를취득하는위치취득부와, 장척방향과직교하는폭 방향에있어서의제 2 주면측웨트막의폭 치수에대한제 2 도공막의폭 치수의변화량을제 2 주면측변화정보로서취득하는변화정보취득부와, 제 1 도공막의위치및 제 2 주면측변화정보에기초하여제 2 주면측노즐로부터의도공액의공급을조정하는공급조정부를구비하고있다.

9. 发明授权

KR101597042B1 도포 장치 有权
公开(公告)号：KR101597042B1
公开(公告)日：2016-02-23
申请号：KR1020140097378
申请日：2014-07-30
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 사가라슈이치 , 우에노마사토시 , 다카무라유키히로 , 오에무네아키
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/02
摘要： (과제) 폐기되는도포액의양을저감하면서, 도포효율을향상하는기술을제공한다. (해결수단) 복수의노즐(31)은, 주주사방향으로소정의간격을두고배열된제1 노즐군(31A)과, 상기제1 노즐군(31A)에대해, 기판(9)의주면에평행하고, 부주사방향으로간격을두고배열된제2 노즐군(31B)을포함한다. 피치조정기구(3)는, 제1 노즐군(31A)의노즐(31)을유지하는슬라이드피스(32A), 제2 노즐군(31B)의노즐군의노즐(31)을유지하는슬라이드피스(32B), 부주사방향의일방측으로부터슬라이드피스(32A, 32B)에맞닿는로드(352)와, 부주사방향의타방측으로부터슬라이드피스(32A, 32B)를로드(352)로탄성가압하는노즐탄성가압기구(34) 및로드(352)의부주사방향의위치를조정하는구동기구(351)를구비하고있다.

10. 发明公开

KR1020130023055A 도포 장치 有权
标题翻译：涂装装置
公开(公告)号：KR1020130023055A
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：KR1020120061535
申请日：2012-06-08
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 사가라슈이치 , 다카무라유키히로 , 이토류스케 , 오에무네아키
IPC分类号： B05C11/10 , B05C5/02 , B05B12/00 , B05C11/00
CPC分类号： B05B12/00 , B05C5/02 , B05C9/00 , B05C11/10 , H01L51/50
摘要： PURPOSE: An application apparatus is provided to change the length of a tube and a hard tube and to easily control pressure fluctuation. CONSTITUTION: An application apparatus comprises: a substrate maintaining unit, a nozzle(23), a main injection direction change device, a sub injection direction change device, a flexible coating solution supply pipe(64), a pressure absorbing unit(71), a flux resistance part(72), and a pressure fluctuation absorbing device(70). The pressure absorbing unit changes the volume of a receiving part of a coating solution.
摘要翻译：目的：提供一种改变管和硬管的长度并容易控制压力波动的应用装置。构成：应用装置包括：基板保持单元，喷嘴（23），主喷射方向改变装置，副喷射方向改变装置，柔性涂布液供给管（64），压力吸收单元（71）磁通电阻部分（72）和压力波动吸收装置（70）。压力吸收单元改变涂布溶液的接收部分的体积。

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