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    • 1. 发明授权
    • 박리 장치의 레시피 작성 방법
    • 用于拆卸装置的装配准备方法
    • KR101702808B1
    • 2017-02-03
    • KR1020160028918
    • 2016-03-10
    • 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
    • 다나카데츠오
    • H01L21/78H01L21/677B65H41/00
    • 본발명은, 서로밀착한 2장의판상체를박리시키는박리장치의레시피작성방법에관한것이다. 복수의박리수단이, 제2 판상체를유지하면서박리방향을따른순서로제1 판상체로부터멀어지는이격방향으로이격이동함으로써제1 판상체로부터박리시킨다. 박리수단중, 박리방향에있어서의최하류측의것을주박리주체로했을때, 박리수단의각각에대해서, 상기박리수단이주박리주체가되어있는기간을특정하고, 상기기간에있어서의상기박리수단의이격방향으로의이동속도를구하는제1 공정(단계 S205~S207)과, 박리수단의각각에대해서, 상기박리수단이주박리주체가아니게된 후의기간에있어서의상기박리수단의이격방향으로의이동속도를, 상기기간에주박리주체인다른박리수단의이동속도에의거하여구하는제2 공정(단계 S209~S215)을구비한다.
    • 本发明涉及一种形成用于剥离彼此紧密接触的两个板状构件的剥离装置的方法。 通过在保持第二板状体的同时沿着远离第一板状体的方向分离运动,将多个剥离器与第一板状体分离,从而剥离第一板状体。 在汽提器中作为主汽提主体的脱汽方向最下游侧的汽提器为止,所述方法包括:对于每个汽提器确定汽提器为一个时间段的第一步骤(步骤S205至S207) 主剥离主体,并在该期间确定剥离器在分离方向上的移动速度; 在第二步骤(步骤S209〜S215)中,对于每个剥离器,基于剥离器不是主剥离主体之后的其他剥离器的移动速度,剥离器的移动速度不是主剥离主体 计算期间的分离方向。
    • 2. 发明公开
    • 박리 장치의 레시피 작성 방법
    • 用于拆卸装置的装配准备方法
    • KR1020160114505A
    • 2016-10-05
    • KR1020160028918
    • 2016-03-10
    • 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
    • 다나카데츠오
    • H01L21/78H01L21/677B65H41/00
    • 본발명은, 서로밀착한 2장의판상체를박리시키는박리장치의레시피작성방법에관한것이다. 복수의박리수단이, 제2 판상체를유지하면서박리방향을따른순서로제1 판상체로부터멀어지는이격방향으로이격이동함으로써제1 판상체로부터박리시킨다. 박리수단중, 박리방향에있어서의최하류측의것을주박리주체로했을때, 박리수단의각각에대해서, 상기박리수단이주박리주체가되어있는기간을특정하고, 상기기간에있어서의상기박리수단의이격방향으로의이동속도를구하는제1 공정(단계 S205~S207)과, 박리수단의각각에대해서, 상기박리수단이주박리주체가아니게된 후의기간에있어서의상기박리수단의이격방향으로의이동속도를, 상기기간에주박리주체인다른박리수단의이동속도에의거하여구하는제2 공정(단계 S209~S215)을구비한다.
    • 本发明涉及一种形成用于剥离彼此紧密接触的两个板状构件的剥离装置的方法。 通过在保持第二板状体的同时沿着远离第一板状体的方向分离运动,将多个剥离器与第一板状体分离,从而剥离第一板状体。 在汽提器中作为主汽提主体的脱汽方向最下游侧的汽提器为止,所述方法包括:对于每个汽提器确定汽提器为一个时间段的第一步(步骤S205至S207) 主剥离主体,并在该期间确定剥离器在分离方向上的移动速度; 在第二步骤(步骤S209〜S215)中,对于每个剥离器,基于剥离器不是主剥离主体之后的其他剥离器的移动速度,剥离器的移动速度不是主剥离主体 计算期间的分离方向。