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1. 发明授权

KR101636119B1 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 有权
标题翻译：图案形成装置和图案形成方法
公开(公告)号：KR101636119B1
公开(公告)日：2016-07-04
申请号：KR1020140019047
申请日：2014-02-19
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 쇼지가즈히로 , 가와고에마사후미 , 우에노히로유키 , 시바후지야요이 , 마스이치미키오 , 우에노미요시
IPC分类号： B41F17/14 , B41F33/00 , B29C59/02
摘要： 액자형상의하측스테이지(61)에의해블랭킷을흡착유지함과더불어, 블랭킷의중앙부에대해서는개별적으로승강가능한복수의핸드(625)에의해국소적으로지지한다. 블랭킷의하면을따라전사롤러유닛(64)을주행시켜블랭킷을부분적으로밀어올림으로써, 블랭킷의상방에배치된판 또는기판에블랭킷을맞닿게한다. 전사롤러유닛(64)의이동에수반하여핸드(625)가차례로하강하여하방으로퇴피함으로써전사롤러유닛(64)과의간섭이회피된다.
摘要翻译：橡皮布被框架状的下层61吸引并保持，并且被多个指针625局部地支撑，这些指针可以单独地升高到橡皮布的中心部分。转印辊单元64沿着橡皮布延伸以部分地推动橡皮布，以使橡皮布抵靠布置在橡皮布上方的板或衬底。当转印辊单元64移动时，手625向下下降，从而避免与转印辊单元64的干涉。

2. 发明授权

KR101512590B1 박리 장치 및 박리 방법 有权
标题翻译：拆卸装置和拆卸方法
公开(公告)号：KR101512590B1
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020140010837
申请日：2014-01-28
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 쇼지가즈히로 , 시바후지야요이 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 우에노미요시 , 다니구치가즈타카
IPC分类号： B65H29/56 , B65H41/00 , B65H3/08 , B65H5/06
CPC分类号： B32B43/006 , Y10T156/11 , Y10T156/1978
摘要： 제1 판상체(BL)를유지하는제1 유지수단(310)과, 제1 판상체(BL)의일단부를제2 판상체(SB)와는반대방향으로기둥면형상으로굴곡시킴으로써, 제2 판상체(SB) 중제1 판상체(BL)에밀착되는밀착영역의일부를제1 판상체(BL)가박리된박리영역으로전환시켜, 밀착영역과박리영역의경계에단일또한직선상의경계선을형성하는박리개시수단(321)과, 박리영역이형성된제2 판상체(SB)를유지하는제2 유지수단(122)과, 제1 유지수단(310)과제2 유지수단(122)의간격을증대시키고, 제1 판상체(BL)와제2 판상체(SB)를이격시키는이격수단을구비하는박리장치이다.

3. 发明公开

KR1020140117253A 박리 장치 및 박리 방법 有权
标题翻译：拆卸装置和拆卸方法
公开(公告)号：KR1020140117253A
公开(公告)日：2014-10-07
申请号：KR1020130161417
申请日：2013-12-23
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노미요시 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키
IPC分类号： B65H3/64
CPC分类号： B65H29/56 , B65H2301/51122 , B65H2701/1726
摘要： A plurality of absorption units (51-54) are arranged in a peeling process direction (+Y). A first absorption unit (51) on the top is attached to an end of a substrate (SB) and maintains the attachment to lift the substrate up while a peeling roller (340) comes in contact with the substrate and moves in the peeling process direction to control the peeling process. When the peeling roller (340) passes right below the second to fourth absorption unit (52-54), each absorption unit is lifted down to be attached to the peeled substrate to lift the substrate up to move the absorption units functioning as the subject of the peeling process in a downstream direction sequentially.
摘要翻译：多个吸收单元（51-54）沿剥离处理方向（+ Y）排列。顶部的第一吸收单元（51）附接到基板（SB）的端部并且保持附件以在剥离辊（340）与基板接触并且沿剥离处理方向移动时提升基板以控制剥离过程。当剥离辊（340）在第二至第四吸收单元（52-54）的正下方通过时，将每个吸收单元提升到附着到剥离的基板上以将基板向上提起，以移动用作主体的吸收单元顺序地在下游方向进行剥离处理。

4. 发明授权

KR101717326B1 전사 장치 및 전사 방법 有权
标题翻译：转印装置和转印方法
公开(公告)号：KR101717326B1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020140034029
申请日：2014-03-24
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 시바후지야요이 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 쇼지가즈히로 , 우에노미요시
IPC分类号： B41F16/00 , B41F1/28 , B41F17/14 , H05B33/10 , H01L51/50 , B41M5/035
CPC分类号： B32B37/0053 , B32B37/025 , B32B38/1858 , B41F16/0053 , B41F16/006 , B41F16/008 , Y10T156/1705
摘要： 패턴을담지하는블랭킷(BL)을, 서로독립적으로승강가능한복수의핸드쌍(301~306)에의해지지한다. 패턴이전사되는기판(SB)은상측스테이지(71)의하면에흡착유지된다. 전사롤러(501)에의해블랭킷(BL)을밀어올려기판(SB)에맞닿게하면서, 전사롤러(501)가 Y방향으로이동한다. 전사롤러(501)의전방측(진행방향하류측)에서는전사롤러(501)의접근에수반하여핸드쌍이차례로하강하고, 전사롤러(501)와의간섭이회피된다. 전사롤러(501)의후방측(진행방향상류측)에서는핸드쌍이블랭킷(BL)에다시맞닿은후, 블랭킷(BL)을흡착유지하면서하강함으로써, 블랭킷(BL)을기판(SB)으로부터박리시킨다.
摘要翻译：承载图案的橡皮布（BL）由可彼此独立地升高和降低的多对手（301至306）保持。其上转印有图案的基板SB被吸附并保持在上台71的表面上。转印辊501在Y方向上移动，同时橡皮布BL被转印辊501向上推动以到达基板SB。在转印辊501的前侧（行进方向的下游侧），随着转印辊501接近并且避免了与转印辊501的干涉，成对的手依次下降。在转印辊501的后侧（上游侧行进方向）的手对在EDA毯（BL）抵接，通过下降，同时保持吸入毯（BL），由此剥离从衬底（SB）橡皮布（BL）的后。

5. 发明公开

KR1020160117174A 박리 장치 有权
标题翻译：拆卸设备
公开(公告)号：KR1020160117174A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020160020611
申请日：2016-02-22
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노미요시 , 시바후지야요이 , 야나기다다카아키 , 쇼지가즈히로
IPC分类号： H01L21/78 , B65H41/00
摘要： 본발명은, 서로접합된 2장의판상체를박리시키는박리장치에관한것이다. 유지수단(30)의유지면(310)에개구부(314)가설치되고, 개구부(314)에대해제1 판상체를지지하는지지부재가설치된다. 박리의진행을규제하는롤러어셈블리(40)는, 축방향으로이격되어복수설치되어있다. 롤러어셈블리(40)의각각이형성하는접촉닙이축방향에있어서서로이격되고, 접촉닙의박리방향에있어서의후단부의위치가박리방향에있어서동일하고, 유지면(310)의개구부(314)는, 축방향에있어서서로이웃하는 2개의접촉닙간의갭부에대응하는위치에설치된다.

6. 发明公开

KR1020140105392A 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 有权
标题翻译：图案形成装置和图案形成方法
公开(公告)号：KR1020140105392A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：KR1020140019047
申请日：2014-02-19
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 쇼지가즈히로 , 가와고에마사후미 , 우에노히로유키 , 시바후지야요이 , 마스이치미키오 , 우에노미요시
IPC分类号： B41F17/14 , B41F33/00 , B29C59/02
CPC分类号： B41F17/14 , B29C59/02 , B41F33/00 , B41P2213/734
摘要： According to the present invention, a blanket is absorbed and maintained by a lower stage (61) in the shape of a frame. The center of the blanket is locally supported by a plurality of hands (625) which can individually move upward. A transfer roller unit (64) is driven along a lower surface of the blanket so as to partially push up the blanket, thereby allowing the blanket to contact a plate or a substrate arranged above the blanket. Hands (625) move down in order according to movements of the transfer roller unit (64) and move away from the transfer roller unit (64). Consequently, the hands (625) are not interrupted by the transfer roller unit (64).
摘要翻译：根据本发明，毯子被框架形状的下层（61）吸收并保持。毯子的中心由多个可以单独向上移动的手（625）局部地支撑。转印辊单元（64）沿着橡皮布的下表面被驱动以部分地向上推动橡皮布，从而允许橡皮布接触布置在橡皮布上方的板或基底。手（625）根据转印辊单元（64）的移动顺序向下移动并远离转印辊单元（64）移动。因此，手（625）不被转印辊单元（64）中断。

7. 发明授权

KR101707278B1 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법 및 얼라이먼트 장치 및 얼라이먼트 방법 有权
标题翻译：图案形成装置图案形成方法对齐装置和对准方法
公开(公告)号：KR101707278B1
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020140020434
申请日：2014-02-21
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키 , 우에노미요시 , 다니구치가즈타카 , 쇼지가즈히로 , 시바후지야요이 , 다나카데츠오 , 스야마다케시
IPC分类号： B41F17/14 , B41F33/00 , G03G15/16
摘要： 패턴을담지하는담지체 BL과, 패턴이전사되는피전사체 SB를대향시켜배치한다. 담지체 BL의외연의적어도일부를촬상한결과에의거하여제1 유지수단(61)을이동시켜담지체 BL을제1 목표위치에위치결정한다. 피전사체 SB의외연의적어도일부를촬상한결과에의거하여제2 유지수단(41)를이동시켜피전사체 SB를소정의제2 목표위치에위치결정한다. 담지체 BL에형성된제1 얼라이먼트마크와피전사체에형성된제2 얼라이먼트마크를촬상하고, 그촬상결과에의거하여제1 유지수단(61) 및제2 유지수단(41) 중적어도한쪽을이동시켜, 담지체 BL과피전사체 SB의위치맞춤을행한다.
摘要翻译：本发明提供了图案形成装置，图案形成方法，对准装置和对准方法。在图案形成装置中，用于轴承图案的轴承体（BL）和转印图案的转印体（SB）相对地布置。基于通过拍摄轴承体（BL）的外缘的至少一部分获得的结果，移动第一保持装置（61）以将轴承体（BL）定位在第一目标位置。基于通过拍摄转印体（SB）的外缘的至少一部分获得的结果，移动第二保持装置（41）以将转印体（SB）定位在第二目标位置。拍摄转印体的轴承体（BL）和第二对准标记的第一对准标记; 基于拍摄结果，第一保持装置（61）和第二保持装置（41）中的至少一个被移动以使轴承体（BL）与转印体（SB）对齐。

8. 发明授权

KR101574877B1 판형상 피반송물의 수도 방법, 수도 장치 및 패턴 형성 장치 有权
标题翻译：输送类似物体的输送方法及其形成装置的运输装置
公开(公告)号：KR101574877B1
公开(公告)日：2015-12-04
申请号：KR1020140024280
申请日：2014-02-28
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노히로유키 , 마스이치미키오 , 가와고에마사후미 , 시바후지야요이 , 쇼지가즈히로 , 우에노미요시
IPC分类号： B41M1/02
摘要： 제1 유지수단에의해하면주연부가지지된상태로유지되는판형상피반송물을, 제1 유지수단의상방에서판형상피반송물의상면을흡착유지하는제2 유지수단에양호하게수도한다. 제2 유지수단에대해상하방향으로관통해서설치되는제1 관통구멍으로부터제1 흡착부재를하강시켜제1 유지수단에의해유지된판형상피반송물의상면의제1 흡착위치를흡착유지하는제1 흡착공정과, 제2 유지수단에대해제1 관통구멍과상이한위치에서상하방향으로관통해서설치되는제2 관통구멍으로부터제2 흡착부재를하강시켜, 판형상피반송물의상면중 제1 흡착위치와상이한제2 흡착위치를흡착유지하는제2 흡착공정과, 판형상피반송물을유지한제1 흡착부재및 제2 흡착부재를끌어올리고, 각각제1 관통구멍내 및제2 관통구멍내로후퇴시켜판형상피반송물을제1 유지수단으로부터제2 유지수단으로이동시키는이동공정을구비하고있다.

9. 发明授权

KR101489094B1 박리 장치 및 박리 방법 有权
公开(公告)号：KR101489094B1
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：KR1020130161417
申请日：2013-12-23
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노미요시 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키
IPC分类号： B65H3/64
摘要： 박리 진행 방향, 즉 (+Y)방향을 따라서, 복수의 흡착 유닛(51~54)을 배치한다. 최상류측의 제1 흡착 유닛(51)에 의해 기판(SB)의 단부를 흡착 유지하여 끌어올림과 더불어, 박리 롤러(340)를 기판(SB)에 접촉시키면서 박리 진행 방향으로 이동시킴으로써 박리의 진행을 제어한다. 제2 내지 제4 흡착 유닛(52~54)의 바로 아래 위치를 박리 롤러(340)가 통과했을 때에 각 흡착 유닛(52~54)을 하강시켜 박리 후의 기판을 포착하고 끌어올림으로써, 박리의 주체로서 기능하는 흡착 유닛을 순차적으로 하류측으로 이행시켜 나간다.

10. 发明公开

KR1020140118732A 박리 장치 有权
标题翻译：拆卸设备
公开(公告)号：KR1020140118732A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020140020538
申请日：2014-02-21
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 우에노미요시 , 가와고에마사후미 , 마스이치미키오 , 우에노히로유키
IPC分类号： H01L21/20
摘要： A work WK transferred from the outside is received by making a lift pin (361) protrude from the upper surface of a horizontal stage part (31) of a flat shape. The lift pin (361) is overlapped with a substrate SB and a blanket BL among the work WK adhered to the substrate SB and the blanket BL by a pattern, and also touches the lower surface of the blanket BL in the touchable region TR of an outside instead of an effective region AR having an effective pattern. The warpage of the work WK can be prevented by supporting the overlapping region of the substrate SB and the blanket BL. The concentration of a stress on a pattern in the effective region AR can be prevented.
摘要翻译：通过使升降销（361）从平坦形状的水平台部（31）的上表面突出而从外部转移的作业WK被接收。提升销（361）与衬底SB和毯子BL重叠，工件WK通过图案粘附到衬底SB和毯子BL上，并且还接触到可触及区域TR中的毯子BL的下表面而不是具有有效图案的有效区域AR。可以通过支撑衬底SB和毯子BL的重叠区域来防止工件WK的翘曲。可以防止有效区域AR中的图案上的应力集中。

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