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    • 21. 发明授权
    • ORVIS/VISAR 장치 및 그 정렬 방법
    • ORVIS / VISAR设备及其对齐方法
    • KR101816584B1
    • 2018-02-21
    • KR1020160082813
    • 2016-06-30
    • 한국원자력연구원
    • 임창환한재민남성모하성용김민석
    • G02B27/09G01J1/04
    • G02B27/0905G01J1/0414
    • 본발명에따른 ORVIS/VISAR 장치는, 입사광의진행경로에배치되고, 상기입사광을투과광및 반사광으로분할시키는광 분할기; 상기투과광이진행되는방향으로상기광 분할기로부터이격되어배치되고, 상기투과광의적어도일부를반사시키는반사경; 및상기광 분할기와상기반사경사이에배치되어상기투과광의경로또는위상을변화시키는광 지연기를포함하며, 상기광 분할기는기설정된두께로형성되어상기투과광을상기입사광으로부터수평이동시킨다. 이에따르면, 상기광 지연기를통과한투과광과상기반사광을합성시킬때 발생되는간섭신호는상기수평이동된수평이동거리로부터계산되는광 경로차이에의하여결정되고, 구성요소의정렬이정확하고간편하게이루어질수 있다.
    • 根据本发明的ORVIS / VISAR设备包括:分光器,其设置在入射光的行进路径中并将入射光分成透射光和反射光; 一个反射镜,沿着透射光前进的方向与分光器分开设置并反射至少一部分透射光; 并设置在分束器之间,并且所述反射器包括改变所述路径,或透射的光的相位的光延迟,分束器被形成为预定的厚度,以从入射光水平移动到透射光。 因此,合成的透射光及反射光通过光学延迟时产生的干扰信号是由从水平移动距离移动计算出的光程差确定的水平,用于对准被精确地实现,并容易地,元件 。